【正文】 桿泵的泄漏增大。值得指出的是，為了減小泄漏三角形，就不可避免地會使型線具有封閉容積和較長的接觸線。d. 齒間面積齒間面積是齒間容積在轉子端面上的投影。如果轉子齒面間的接觸線不連續(xù)，則處于高壓力區(qū)的氣體將通過接觸線中斷缺口，向低壓力區(qū)泄露。轉子的齒面與轉子軸線垂直面的截交線稱為轉子型線。從適用性方面來講，多頭雙邊對稱圓弧型線適用面最廣。取而代之的是改進型的單頭等螺距梯形螺紋轉子，其截面形狀由矩形改為梯形，解決了干涉問題，且加工方便，故為很過廠家廣泛采用。這些改進可以使轉子齒面密封由“線”密封改進為“帶”密封，能夠明顯提高密封效果，還有利于形成潤滑油膜和減少齒面磨損。常用的組成齒曲線主要有點、直線、擺線、圓弧、橢圓及拋物線、漸開線等。所以轉子型線應該盡可能使形成的封閉容積小一些。由接觸線的定義及其對螺桿泵性能的影響可得，轉子型線的設計應該保證能形成連續(xù)的接觸線。而想要提高真空泵的轉速可以采用變頻器來改變電源的頻率或者改變齒輪箱的傳動比。目前由于各國多對自己的螺桿泵技術進行保密和競爭，而我國在螺桿泵的設計方面仍然有很多具體的細節(jié)和技術難題還沒有解決，在螺桿泵的設計方面沒有達到世界一流水平。普旭是全球最有影響力的真空設備制造商之一，為客戶提供了數(shù)量眾多的真空泵及真空系統(tǒng)。而德國Sterling SIHI公司在1997年研制成功的SIHIdry是世界上第一臺直正意義上的雙頭干式真空泵，它能滿足流程工業(yè)中最苛刻的要求，該產(chǎn)品榮獲德國“1998年年度技術革新獎”。如果螺桿泵內(nèi)兩個相鄰密封腔間沒有理論泄漏通道，則被稱為嚴格密封型螺桿泵。 螺桿泵的適用范圍被泛的應用于海上平臺工程、石油化工、航運、電力、機械、液壓系統(tǒng)、食品、造紙、制糖、軍廠、醫(yī)藥、造船、機床、采礦、環(huán)保和污水處理等各種工業(yè)部門當中，發(fā)揮了巨大作用，具有很高的使用價值。在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得。④適應性強。另一類是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。雙頭干式螺桿真空泵是雙頭干式泵家族中的一員。傳統(tǒng)的有油泵很難滿足這些要求，無油泵的概念便自然而然的在此基礎上提出。為了適應我國開發(fā)研究生產(chǎn)螺桿真空泵的需要，本文對雙螺桿真空泵的設計型線組成問題等內(nèi)容進行了的研究與探討。因此，自行研究經(jīng)濟可行、運轉可靠的無油真空泵意義可見一斑。隨著利學技術的發(fā)展，要求提供比較清潔真空環(huán)境的真空工藝越來越多，甚至近于達到苛刻的要求，如微電子、化學、冶金、醫(yī)療、核聚變領域以及宇航、[1]。所以可以這樣說，在當時能直接排入大氣和高真空機紹相連接的泵類各有其缺憾，因此導致了雙頭干式泵不適宜大工業(yè)的應用。①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣；②中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物；③惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。螺桿式雙頭干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩(wěn)地高速運行。在半導體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。本文所研究的雙螺桿泵屬于容積式泵，它與離心泵、往復泵、齒輪泵、滑片泵等相比較，在某些方面具有明顯的優(yōu)越性。無論是什么類型的螺桿泵，其輸液原理都是:利用螺桿泵的轉子與轉子之間的和轉子與定子之間形成的密封腔，在泵運轉時使密封腔連續(xù)不斷地由入口向出口移動，從而排出流體。美國Varian（瓦里奧)公司生產(chǎn)的DVP系列產(chǎn)品，其真空度可以達到Pa，這是目前報道的單級雙頭干式真空泵中真空度最高的產(chǎn)品之一。美國Tuthill真空設備有限公司手2002年推出一款用于氣體處理的新型Kinney雙頭干式螺桿真空泵，該KDPH120型螺桿泵采用可變嚙合設計，比其他類TJ的真空泵耗能減少約30%。目前國內(nèi)外關于雙螺桿雙頭干式真空泵轉子型線設計方面的報道很少，主要內(nèi)容集中于對螺桿真空泵性能的預測與配套裝置、材料、加工方法和設備、螺桿泵的配件、密封條件等等內(nèi)容的改進。為了使小尺寸的真空泵與大尺寸的真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高其轉速。 (2) 轉子型線應形成長度較短的連續(xù)接觸線。大多數(shù)轉子型線都會形成吸氣封閉容積，導致螺桿真空泵功耗增加，效率降低，運轉不平穩(wěn)，噪聲增大。鑒于要滿足以上種種要求，螺桿真空泵的轉子型線通常由多段曲線首尾相接而組成，這些曲線稱為組成齒曲線。螺桿真空泵型線由對稱型線發(fā)展為非對稱型線，而且非對稱型線由最初的點、直線和擺線進一步發(fā)展為不再包含有這些曲線，而是由圓弧、橢圓、拋物線等曲線組。 單頭等螺距矩形螺紋轉子型線是最早出現(xiàn)的型線，由于有可能發(fā)生根切，即二級轉子級間出現(xiàn)干涉現(xiàn)象，所以基本上已經(jīng)不再使用。上述各種型線各有優(yōu)缺點，要根據(jù)設計要求、加工制造能力、實際需求等多方面選擇。 多頭雙邊對稱圓弧型線螺桿式雙頭干式真空泵中最重要的部件就是陰、陽螺桿轉子。接觸線一側的氣體處于壓力較高的壓縮和排氣過程，另一側的氣體則處于壓力較低的吸氣過程。值得指出的是吸氣封閉容積存在于非對稱型線中，而本文所論述的雙邊對稱圓弧型線沒有吸氣封閉容積。為了盡可能減少氣體通過間隙帶的泄漏，要求設法縮短轉子間的接觸線長度。另外，從制造、運轉角度考慮，還要求轉子型線便于加工制造，具有良好的嚙合特性，較小的氣體動力損失，以及在高溫和受力的情況下，具有小的熱變形和彎曲變形等。圓弧齒曲線被限制在陰轉子節(jié)圓之內(nèi)，而陰轉子節(jié)圓之外的齒曲線IJ和KL卻是擺線。曲面的參數(shù)方程含有兩個參數(shù)(t, ),要確定該曲面的邊界，就必須知道這兩個參數(shù)(t,)的變化范圍。假定轉子的有效工作段長度為L，則，設計時取同理可得左旋螺旋面(陰轉子齒面)的方程為 ()