電子顯微分析與電子探針(更新版)
【正文】 發(fā)射的 X射線光量子的收集率也就會(huì)很低，致使 X射線信號(hào)的利用率極低 。能譜儀的能量分辨率 (130eV)比波譜儀的能量分辨率 (5eV)低。 ? (2)靈敏度高 X射線收集立體角大。 1．二次電子像襯度及特點(diǎn) ? 二次電子信號(hào)主要來自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于50eV)。 4．圖像顯示和記錄系統(tǒng) ? 作用：將信號(hào)檢測放大系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào)轉(zhuǎn)換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。第二十三章 掃描電子顯微分析與電子探針 第一節(jié) 掃描電子顯微鏡工作原理及構(gòu)造 ? 一、工作原理 圖 221 掃描電子顯微鏡原理示意圖 二、構(gòu)造與主要性能 ? 掃描電子顯微鏡由 電子光學(xué)系統(tǒng) (鏡筒 )、 偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) 、 信號(hào)檢測放大系統(tǒng) 、 圖像顯示和記錄系統(tǒng) 、 電源系統(tǒng) 和 真空系統(tǒng) 等部分組成 1．電子光學(xué)系統(tǒng) ? 由電子搶、電磁聚光鏡、光欄、樣品室等部件組成。具有低噪聲、寬頻帶 (10Hz~1MHz)、 高增益 (106)等特點(diǎn)，可用來檢測二次電子、背散射電子等信號(hào)。 ? SEM可以通過樣品上方的電子檢測器檢測到具有不同能量的信號(hào)電子有背散射電子、二次電子、吸收電子、俄歇電子等。 圖 1019 Si(Li)X射線能譜儀 Si(Li)能譜儀的優(yōu)點(diǎn)： ? (1)分析速度快 能譜儀可以同時(shí)接受和檢測所有不同能量的 X射線光子信號(hào)，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素， 帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為 11Na~92U， 20世紀(jì) 80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析 Be以上的輕元素，探測元素的范圍為 4Be~92U。故儀器分辨不同能量特征 X射線的能力變差。如它可將波長十分接近的VK?()、 CrK?1()和 CrK?2()3根譜線清晰
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