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led檢測技術(shù)1緒論及第一講(更新版)

2025-06-09 18:23上一頁面

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【正文】 on Veeco Thomas Swan 反應腔( Reactor Chamber) 加熱系統(tǒng) 石墨盤 參加反應的三 /五族氣體 反應腔 尾氣 Pockets 旋轉(zhuǎn) 原材料的檢測技術(shù) 1. H N NH SiH4等高純氣體,純度要求達到 6個 9以上,即 %以上 2. TMGa、 TEGa、 TMAl、 TMIn、 Cp2Mg等金屬有機源,純度要求達到 6個 9以上,即 %以上(江蘇南大光電材料股份有限公司(股票代碼: 300346)) 3. 基片(藍寶石、 SiC 、 Si)對晶體質(zhì)量、表面光潔度、表面缺陷等也有很高的要求 巧婦難為無米之炊,好的原材料是生長出好產(chǎn)品的必要條件! 怎么檢測?檢測非常困難,不檢測!相信你的供應商吧! 生長過程檢(監(jiān))測技術(shù) 1 各種氣體的流量變化、調(diào)節(jié)都由主控計算機按照預設(shè)程序完成 2 反應溫度(石墨盤)的溫度除了利用設(shè)備自帶的熱電偶之外,還可以附加紅外熱像儀進行實時監(jiān)測 紅外熱像儀是被動紅外成像。 逐點掃描檢測計算機分析計算外延片的積分光強,主波長,峰值波長,光譜半寬等參數(shù)以繪圖形式顯示分布,顯示單點光譜;顯示各個參數(shù)的統(tǒng)計結(jié)果;顯示選擇范圍的各項統(tǒng)計參數(shù);可進行局部掃描,并對掃描結(jié)果進行去孤立點和去邊處理。平行電場和電流強度之比就是電阻率。 六 其他測量技術(shù) 6. 電致發(fā)光量測( EL) 電致發(fā)光分析參數(shù):亮度 (mcd) 、正向偏壓(Vf)、波長 (nm)、半峰寬、反向電流、波長漂移、反向電壓、抗 ESD能力等等 7. 掃描電鏡測量表面形貌 8. 金相顯微鏡測量表面形貌
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