【正文】 前置極間 采用雙層屏蔽電纜 。 這主要是 采用高質(zhì)量的絕緣材料及采用合理的結(jié)構(gòu)加以解決 。 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 為減小這種誤差 ① 一般盡量選取溫度系數(shù)小和溫度系數(shù)穩(wěn)定的材料。 可以實現(xiàn)非接觸測量 ,具有平均效應(yīng)：非接觸測量回轉(zhuǎn)工件的偏心、振動等參數(shù)時，由于電容具有平均效應(yīng)，可以減小表面粗糙度對測量的影響。 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 167。 、177。下面專門討論。 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 時，展開為級數(shù)形式 因 ，忽略高次項 上式表明，在 條件下，電容的變化與極板 間距變化量近似是線性關(guān)系。而圓柱形結(jié)構(gòu)受極板徑向變化的影響很小，成為實際中最常用的結(jié)構(gòu)。哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 第四章 電容式傳感器 電容式傳感器是將被測參數(shù)變換成電容量的測量裝置。 靈敏度： （主要用來測直線位移、角位移和尺寸等參數(shù)） 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 線位移 角位移 單組式 差動式 平板結(jié)構(gòu)對極距變化特別敏感，測量精度受到影響。 液面高度 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 類型 2： 第四章 電容式傳感器 δ d 面積 S 氣隙 當某種介質(zhì)在兩固定極板間運動時，電容輸出與介質(zhì)參數(shù)之間的關(guān)系為： d — 運動介質(zhì)的厚度（ m） 可見： ①若厚度 d 保持不變，介電常數(shù) εr 改變（如濕度變化），可做成濕度傳感器； ②若 εr不變，可做成測厚傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 三、變極板間距型電容傳感器 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) δ ε S 動極板 定極板 若極板間距減小 △ δ，則電容將增大 △ C。 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 電容傳感器等效電路 圖中 C為傳感器電容， RP為低頻損耗并聯(lián)電阻，它包含極板間漏電和介質(zhì)損耗， Rs為高頻、高溫、高頻激勵工作時的串聯(lián)損耗電阻，它包含導(dǎo)線、極板間和金屬支座等損耗電阻； L為電容器及引線電感； CP為寄生電容克服其影響是提高電容傳感器實用性能的關(guān)鍵之一。 90176。 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 反相放大電路 反饋元件是傳感器電容 Cx C是固定電容 電源電壓 u 理想運放 將 代入 輸出電壓與電容極板間距成線性關(guān)系，從原理上保證了變極距型電容傳感器的線性?？蓽y量振動、瞬時壓力等。溫度變化使各零件尺寸變化，可能導(dǎo)致對本來就很小的間隙產(chǎn)生很大的相對變化，從而 引起很大的特性溫度誤差 。 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 二、漏電阻的影響（絕緣性能） 電容變換器的容抗都很高，特別是在激勵電壓頻率較低時，在與測量線路配接時，當兩極板間總的漏電阻若與容抗相近，就必須考慮分路作用對系統(tǒng)總靈敏度的影響。 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 寄生參量 第四章 電容式傳感器 一般電容傳感器電容值很小，如果激勵頻率較低，則電容傳感器的容抗很大，因此對傳感器絕緣電阻要求很高；另一方面，變換器電容極板并聯(lián)的寄生電容也會帶來很大的影響。 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 三、電容式壓力傳感器 第四章 電容式傳感器 工作原理 將測量膜片與電容極板之間的電容差經(jīng)振蕩器振蕩、調(diào)制解調(diào)、放大器放大、電壓電流轉(zhuǎn)換成標準信號。 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 液位限位傳感器的設(shè)定 智能化液位傳感器的設(shè)定方法十分簡單： 用手指壓住設(shè)定按鈕，當液位達到設(shè)定值時，放開按鈕，智能儀器就記住該設(shè)定。 如果在殼體內(nèi)的三個相互垂直方向安裝三個加速度傳感器，就可以測量三維方向的振動或加速度。當油箱中的油位降低時 ， 電容傳感器的電容量 Cx減小 ， 電橋失去平衡 ， 伺服電動機反轉(zhuǎn) ， 指針逆時針偏轉(zhuǎn) （ 示值減小 ） ， 同時帶動 RP的滑動臂移動 。 45 容柵式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 閉環(huán)調(diào)幅式測量原理 第四章 電容式傳感器 A、 B —— 動尺上兩組電極片 P —— 定尺上一片電極片 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 結(jié)構(gòu)形式 反射式 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 透射式 第四章 電容式傳感器 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 數(shù)顯卡尺 公 /英制轉(zhuǎn)換 , 任意位置