田口式品質(zhì)工程(更新版)
【正文】 間 5 min/10 min/15 min 電鍍槽溫度 a d b e c D B C A 晶圓面 內(nèi)位置 /C20? /C30? C40?Rene Kao 2020/7/7 29 步驟三：因子的配置 記號 1 2 3 A . . B C 10 20 30 D 5 min 10 min 15 min 行 A 1 B 2 C 3 D 4 S(晶圓面內(nèi)位置 ) 號 電鍍時間 電鍍槽溫度 氨水 還原劑量 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 數(shù) 據(jù) 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 步驟四：決定實(shí)驗(yàn)順序，進(jìn)度安排 因子與水準(zhǔn) 因子配置表 1A 2A 3A1B 2B 3B1C2D2C 3C1D 3DC20? C30? C40?? ?49 3LRene Kao 2020/7/7 30 步驟五：實(shí)驗(yàn)及收集數(shù)據(jù) 行 A B C D Ni膜厚數(shù)據(jù) (單位 :刻度 ) 號 1 2 3 4 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 實(shí)驗(yàn)的配置及數(shù)據(jù) Rene Kao 2020/7/7 31 步驟六：數(shù)據(jù)分析及決定最適條件 (1) SN比 之計(jì)算 (2) 靈敏度 S之計(jì)算 (3) 作出各個樣本 SN比 和靈敏度 S一覽表 樣本 NO. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ?)db(?)db(S?Rene Kao 2020/7/7 32 (4) 求各因子水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S之平均值 (5) 作出各因子和各水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S的一覽表 要因 1 2 3 Max Min A B C D 要因 1 2 3 Max Min A B C D SN比 之一覽表 (db) 靈敏度 S 之一覽表 (db) ???Rene Kao 2020/7/7 33 回 應(yīng) 圖 A B C D 24 2220 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 1 2 3 1 2 3 1 2 3 1 2 3 A : 電鍍時間 B : 電鍍槽溫 C : 氨水量 D : 還原劑量 )db(?比 SN靈敏度)db(SRene Kao 2020/7/7 34 (6) 決定各要因的最適條件 ? 減少變異 → 選擇 中最大水準(zhǔn) → ?符合目標(biāo)值 → 選擇對 不太發(fā)生效果並且大幅度改變膜厚值的要因 調(diào)整那一因子？ 調(diào)整因子 調(diào)整 B因子時品質(zhì)變動不大 調(diào)整多少 ？ 電鍍膜厚的目標(biāo)值 之最大水準(zhǔn)的靈敏度值 ?最適條件 → → 內(nèi)差法求 B因子的溫度 ?? 3211 DCBA ﹑﹑﹑1BS?S?S 0 ??△ ??)db(?nSl o g10ml o g10S? m20 ≒???S? ? ? ? ?SSSSS 1B1A ????? ? ? ?SSSS 3D2C ????32321 DCBBA ﹑之間﹑與﹑Rene Kao 2020/7/7 35 步驟七：最適條件之效果的推定 調(diào)整前 調(diào)整後 SN比 之估計(jì) 靈敏度 S之估計(jì) 的估計(jì) 的估計(jì) 與目標(biāo)值之比較 步驟八：確認(rèn)實(shí)驗(yàn) ?32321 DCBBA ﹑之間﹑與﹑3112 DCBA ﹑﹑﹑y??? 3y T3D1C1B2A ???????????? T3D2C1A ?????????? 3D1C1B2A ?????? ? ? 3D2C3B2B1A SSSS21SS? ?????8 6 ?? 20S? ?? ? 20 ??? ? ??)2 8 ,0 3 (3 7 ??? )66 ,25 (23 ???),( ??? ),( ???
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