【正文】 菌室之維護管理 12 無塵無菌室內監(jiān)視 (MONITORING IN CLEAN ROOM) 121 氣流 (1)無塵無菌室內之氣流形式 (AIR FLOW PATTERN) 是否符合設計之要求，須做氣流測試確認。 註 (1)：全罩式 (Overall) = 連身式 (Coverall) +頭肩罩 +長鞋套。 (2)告示板、黑板類 普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內 (低一級之清淨室 )用白板 ， FELTPEN，清淨室專用之擦布。車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠 輪 胎。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。1 無塵無菌室之維護管理 無塵無菌室之維護管理 11 無塵無菌室之管理 111 一般注意事項 (1)普通注意事項 為保持無塵無菌室的清潔度，必須經常維持正常的氣流狀態(tài)。要用簡單的桌子 不能有抽屜、腳板，及側面板等。放置物品之表面材料特別採用耐磨性 高者。 筆記時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。 11 清淨室之穿著標準 ≦ 100 級 連身式 (coverall)無塵衣，頭肩罩 (hood) 、口罩、手套、長鞋套 (Boots) ≧ 1000 級 分離式 (Separate)或大衣式 (Coat 或 Frock) 無塵衣，帽子或 (頭 )髮罩、口罩、手套、 (短 )鞋套或布鞋。表 12 是典形的清淨室進出管理流程。 (3)原則上風速之測試應由該無塵無菌室之專業(yè)人員施行。 (5)該專業(yè)人員應由風速測試記錄算出之風量與設計值做比較並檢討現(xiàn)狀是 否符 合設計要求。 (3)溫濕度之測試應由專業(yè)人員施行，並由其人員決定測試之位置與高度。 (2)浮游微粒子濃度之測試儀器應採用光散亂式粒子計數器 或有同等性能之儀器。 127 有害瓦斯、微生物、其他 (1)考慮到對作業(yè)人員之健康及對製程 (PROCESS)之影響，視需要須做有害瓦斯、 浮游微生物、放射性元素，必要氧氣濃度等之測試，並檢查其數字是否符合 規(guī)定。 (b)有更衣室等次，無塵無菌室之清清時 (1)CLASS 100 及 CLASS 1000 之場所。 9 無塵無菌室之維護管理 133 清潔用工具 無塵無菌室內用之清掃工具為防止再污染，應依各室之清淨度級各使用專用之工具。 (c)使用中之擦拭用用具要隨時用目視檢查，污染時把它降格使用，或用在 準清淨室 (準備室 )等地方，污損很厲害時應廢棄。 每一次擦拭後用示於規(guī)格 134(1) (c)之水清洗，隨時或最少每水洗 5 次後，用示於規(guī)格 134 (2) (b)之清洗用水溶液，洗好後再用示於 134 (1) (c)之淨水洗清。 17 無塵室之管理、記錄項目 日報 月報 年 報 13 無塵無菌室之維護管理 無塵室之運轉、停止 開始時刻運轉者 停止時刻運轉者 壓力、清淨度、溫濕度 作業(yè)時間 運轉時間 次數 停機時間 (清淨度 ) 作業(yè)時間 總運轉時間 停機次數 停機時間 作業(yè)時間 監(jiān)視 空氣壓 溫濕度分佈 風速 風量 溫濕度分佈 浮遊微粒子濃度 氣流查漏試驗 人員 負責者 專門人員 進出人數 健康檢 局外人姓名 進出人數 局外人數 總進出人數 局外人總數 衣服 交換 檢查 交換 記錄 修理 洗衣 修理 洗衣 廢棄 (件數 ) 修理 次數 洗衣次數 廢棄數 檢查 修理 交換 時間 項目 內容 作業(yè)者 同左 件數 同左 清掃 時間 場所 作業(yè)者 月別認定 物品 搬入搬出 (清淨化 ) 時間 物品 數量 檢查清淨化 負責者 次數 次數 檢查 檢查 檢查 校正檢查 其他裝置、設備 安全設備之檢查試驗 測定器之檢驗 校正 機能檢查