晶硅太陽(yáng)能電池工藝簡(jiǎn)介(完整版)
【正文】 區(qū)滲透擴(kuò)散，擴(kuò)散的結(jié)果是 N型區(qū)域中鄰近 P型區(qū)域一邊的薄層內(nèi)有一部分電子擴(kuò)散到 N型中去了。 其中 POCl3液態(tài)源擴(kuò)散方法具有生產(chǎn)效率較高，得到 PN結(jié)均勻、平整和擴(kuò)散層表面良好等優(yōu)點(diǎn)，這對(duì)于制作具有大面積結(jié)的太陽(yáng)電池是非常重要的。? Rs=ρ /t (其中 ρ 為塊材的電阻率 ,t為塊材厚度）方塊電阻的 大小直接反映了擴(kuò)散入硅內(nèi)部的凈雜質(zhì)總量? 對(duì)于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散工藝，可以認(rèn)為硅片周圍的雜質(zhì)濃度是恒定的，不隨時(shí)間而改變，硅片的表面濃度 Ns保持不變。等離子刻蝕機(jī)去磷硅玻璃硅片在經(jīng)過(guò)等離子體刻蝕后，在前表面尚存在一 層磷硅玻璃層（ PSG層，含 磷的二氧化硅 ）， PSG層具有親水性，易潮解，必須 在 PECVD鍍膜之前去掉 。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過(guò)程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，能顯著降低薄膜沉積的溫度范圍。? 噴墨打印法： 使用氣體帶動(dòng)金屬漿料從特制的噴嘴噴出，沉積到電池表面形成電極，這種方法制備的電極具有較好的高寬比，但目前設(shè)備尚不成熟，規(guī)?；瘧?yīng)用較少。 燒結(jié)的設(shè)備 —— 燒結(jié)爐 despatch燒結(jié)爐（ centrotherm）燒結(jié)爐內(nèi)部機(jī)構(gòu)及工藝圖測(cè)試分選 amp。晶硅太陽(yáng)能電池車間潔凈度制絨 萬(wàn)級(jí)（ ISO class7）擴(kuò) 散前清洗、 擴(kuò) 散 千 級(jí) （ ISO class6）刻 蝕 、去 PSG 萬(wàn) 級(jí) （ ISO class7）PECVD 、 絲 網(wǎng)印刷、 燒結(jié) 、 測(cè)試 分選十萬(wàn) 級(jí) （ ISO class8）車間潔凈度測(cè)試方法：激光粒子計(jì)數(shù)儀習(xí)題1. 制作晶硅太陽(yáng)能電池的主要 步驟有哪些？答：制絨，擴(kuò)散，刻蝕，去磷硅玻璃，鍍膜，印刷電極，燒結(jié)，測(cè)試。 PECVD方法的特點(diǎn)是等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過(guò)程所需的激活能。? 標(biāo)準(zhǔn)太陽(yáng)光功率密度： 1kW/m2 =100mW/m2 ，以此作為測(cè)試儀器的入射光的功率密度即： Pin= 1kW/m2 =100mW/m2 ? 測(cè)試環(huán)境溫度： 25 ℃電池參數(shù)的定義? 短路電流 Isc： 電池短路（ Uoc=0)時(shí)的電流，即最大電流；? 開(kāi)路電壓 Uoc： 電池開(kāi)路（ Isc=0）時(shí)的電壓，即最大電壓 。網(wǎng) 框 印 刷 網(wǎng) 粘著劑 刮 刀印 墨版 膜 印 刷基 材絲網(wǎng)印刷流程P型襯底背電極印刷 烘干背電場(chǎng)印刷 烘干正電極印刷烘干 +燒結(jié)測(cè)試分選電池的正背面電極圖形柵線（銀漿）背電場(chǎng)：鋁漿背電極：鋁漿或銀鋁漿電池片正面電池片反面絲網(wǎng)印刷的設(shè)備 (Baccini)絲網(wǎng)印刷檢測(cè)內(nèi)容? 副柵線寬度、高度（晶相顯微鏡）? 印刷濕重（電子天平）? 印刷圖形完整性（目測(cè)）燒結(jié)的目的? 燃盡金屬漿料中的有機(jī)成分；? 燒穿絕緣的氮化硅膜，使?jié){料中的金屬和硅熔融合金，形成歐姆接觸；? 對(duì)經(jīng)過(guò)等離子轟擊的硅片退火，激活摻雜的原子，消除晶格損傷；? 激活氮化硅膜 ( )中的氫離子，使之鈍化硅片內(nèi)部晶格缺陷。間接式 — 基片不接觸激發(fā)電極（如 45GHz微波激發(fā)等離子 ),在微波激 發(fā)等離子的設(shè)備里，等離子產(chǎn)生在反應(yīng)腔之外，然后由石英管
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