had2258c型多功能數(shù)字式四探針測試儀(完整版)
【正文】 92.597.603.608.6149009109209309409509609709809901000.614.619.625.630.635.640.645.650.655.660.665.615.620.625.630.636.641.646.651.656.660.615.621.626.631.636.641.646.651.656.661.616.621.626.631.637.642.647.652.657.661.616.622.627.632.637.642.647.652.657.662.617.622.627.633.638.643.648.653.658.662.617.623.628.633.638.643.648.653.658.663.618.623.628.634.639.644.649.654.658.663.618.624.629.634.639.644.649.654.658.664.619.624.629.635.640.645.650.655.659.664查表舉例：, 在第一列索引中查“”這行，向右查到第“6”列， 注意，表中查得為厚度修正值，以后還要乘以C0=(S=)（S=）將乘積作為修正系數(shù)F輸入儀表！ 以下查表后，修正系數(shù)計算同理，即 F=C0* 厚度修正系數(shù) * 位置修正系數(shù) * 形狀修正系數(shù)WS附錄1B 樣品厚度修正系數(shù)G（ ）WS樣品厚度較厚： ≥～ 見下表，W：樣品厚度（mm）；S：探針間距（mm）W/S dS附錄2 樣品形狀和測量位置的修正系數(shù)D（ ）（1）圓形薄片 表7直徑d（mm）探 針 位 置距圓心位置距邊緣位置0 mm1/4 d5 mm4 mm3 mm2 mm2023252730323538404245505557606365707580901002mm3mm4mm5mm0d/4邊緣圓心直徑（d）圓形薄片樣品厚度小于500μm圓形薄片測量位置示意圖（2）矩形薄片 表 8正方形矩 形d/sa/d=1a/d=2a/d=3a/d≥4100S1S3S2add：短邊長度a：長邊長度s：探針間距 矩形薄片形狀示意圖例 在探針平均間距為1mm時，測量矩形薄片樣品如下圖示4mm2mmd/s=2,a/d=2dS因此D( )= HADC型四探針測試臺 操作使用說明書一 、功能與結構特征概述 配HAD2553F01探頭測硅片 基本功能：HADC型四探針測試臺，是用來裝夾四探針探頭，連接四探針測試儀器，放置樣品，進行手動方式測試的機具。對于HAD2253F01鎢針探頭，探頭探針探針縮進量0～4mm,對應探頭壓力0～，對于HAD2558BF01薄膜方阻探頭，探頭探針探針縮進量0～4mm,對應探頭壓力0～400克！ 調(diào)好后，松開手，壓力會自動保持。本測試臺加配本公司探頭，可兼容國內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測試儀器。窗口左側“測量”模式燈亮，將探針與樣品良好接觸，注意壓力要適中；電阻測量,注意良好接觸，電壓測試端在內(nèi)側；由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值和分選結果。 窗口共顯示四位有效數(shù)字，閃爍提示當前等待輸入位，數(shù)字輸入后,閃爍提示自動移至低一位, 參數(shù)設定開始提示位為左第一位（最高位）,以后第一至第四位（最低位）循環(huán)提示．8“單位” 當前設定參數(shù)單位選擇鍵三者輪流選中 “mΩ”、“Ω”、 “kΩ”三者之一亮，指示當前選中單位。4“電流極性”電流“正向”、“反向”極性選擇鍵，兩者輪流選中?！灸JC】顯示窗口最左一位紅色位顯示當前設定參數(shù)類
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