【正文】 380VAC380VAC380VAC外形尺寸 (mm)480x202x600（2）連續(xù)氪弧光燈泵浦系統(tǒng)。惰性氣體放電燈泵浦系統(tǒng)是常規(guī)固體激光器最為廣泛使用的泵浦光源，主要分為用于脈沖工作方式的氙（Xe）燈和用于連續(xù)工作方式的氪（Kr）燈，隨著二極管激光器（LD）技術(shù)和制造工藝的成熟，采用激光二極管做為泵浦源，正成為固體激光器泵浦系統(tǒng)的重要發(fā)展方向。但其熱導(dǎo)率較低，故只能在脈沖狀態(tài)下工作。固體激光器的這些優(yōu)越性使得其在激光打孔、焊接、表面工程和半導(dǎo)體加工技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。在此，對(duì)幾種主要激光器進(jìn)行介紹。泵浦源泵浦源的作用是對(duì)激光工作物質(zhì)進(jìn)行激勵(lì)，產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。這樣，在一個(gè)入射光子的作用下，可引起大量發(fā)光粒子產(chǎn)生受激輻射，并產(chǎn)生大量運(yùn)動(dòng)狀態(tài)相同的光子。其他激光加工激光加工在其他領(lǐng)域中的應(yīng)用有激光清洗、激光復(fù)合加工、激光拋光等?？梢酝高^透明介質(zhì)對(duì)密封容器內(nèi)的工件進(jìn)行加工。在實(shí)際熱處理、切割、焊接過程中，加工工件基本沒有變形。激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)材料進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔、增材加工及微加工等的一門加工技術(shù)。利用光的無慣性，在高速焊接或切割中可急停和快速啟動(dòng)。激光加工不受電磁干擾，可以在大氣環(huán)境中進(jìn)行加工。激光微細(xì)加工激光的微細(xì)加工起源于半導(dǎo)體制造工藝，是指加工尺寸約在微米級(jí)范圍的加工方式。受激輻射受激吸收躍遷的反過程就是受激輻射躍遷。它們可以是分子、原子或離子。[1] 激光器系統(tǒng)激光器按工作物質(zhì)的不同可以分為：固體，氣體，液體，光纖及半導(dǎo)體激光器等。2）固體激光器輸出較易使用普通光學(xué)元件傳遞。但其閾值較高，輸出性能受溫度變化明顯，不宜作連續(xù)及高重復(fù)率運(yùn)行，只能做低重復(fù)率脈沖器件。在固體激光器中，激光物質(zhì)內(nèi)的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)是通過光泵的抽運(yùn)實(shí)現(xiàn)的。表45 STX系列激光氙燈型號(hào)內(nèi)徑φ1(mm）弧長L2(mm)總長OVL(mm)外徑φ2(mm)電極φxL4(mm)STX5x75x14047514053x5STX7x70x15057015074x5STX7x100x210510021074x8STX7x100x186510018674x8STX8x90x22069022085x8STX8x100x230610023085x8STX8x100x250610025085x8STX8x100x288610028885x10STX8x120x240612024085x8STX8x120x260612026085x8STX8x140x280614028085x8STX8x150x297615029785x10STX9x130x264713026496x8STX9x280x390728039096x8STX10x45x12584512510脈沖固體激光器電源系統(tǒng)的主回路原理圖見圖42，電源電路包括充電電路、儲(chǔ)能網(wǎng)絡(luò)、放電電路、觸發(fā)及預(yù)燃電路、控制電路等。電源系統(tǒng)框圖見圖43。15%允許工作環(huán)境溫度0～50℃0～50℃0～50℃0～50℃0～50℃工作環(huán)境濕度范圍≦90%≦90%≦90%≦90%≦90%對(duì)交流電源要求380V，6KVA380V，9KVA380V，11KVA220V，6KVA220V，9KVA（3）激光二極管泵浦系統(tǒng)。目前，用作泵浦源的二極管的發(fā)射波長已從770～990nm向紅外900～1000nm和可見光630～680nm擴(kuò)展，多種固體激光工作物質(zhì)都可以用二極管泵浦。1）橢圓柱聚光腔。漫反射圓柱體 同軸閃光燈管 螺旋閃光燈 圖46 漫反射聚光腔4）旋轉(zhuǎn)對(duì)稱聚光腔。最常用的固體激光器的諧振腔是由相向放置的兩球面鏡或平面鏡組成，不同類型的腔型結(jié)構(gòu)，對(duì)激光輸出的功率、模式、光束發(fā)散角等都有直接的影響。高頻振蕩電源連續(xù)電源YAG 介質(zhì)氪燈聲光調(diào)Q器件全反鏡半反鏡 圖48 調(diào)Q激光器示意圖調(diào)Q技術(shù)是一種基于激光諧振腔的品質(zhì)因數(shù)，Q值愈高，激光振蕩愈容易，Q值愈低，激光振蕩愈難的原理技術(shù)，即在光泵浦開始時(shí)，使諧振腔內(nèi)的損耗增大，降低腔內(nèi)Q值，以讓盡量多的低能態(tài)粒子抽運(yùn)到高能態(tài)去，達(dá)到粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。對(duì)Nd:YAG激光器進(jìn)行電光調(diào)Q，可獲得脈沖寬度小于10ns、106W以上的脈沖峰值功率。3）輸出激光功率功率大，既能連續(xù)又能脈沖工作，效率高。CO2激光器的輸出譜帶也相當(dāng)豐富，主要波長分布在9～11mm，正好處于大氣傳輸窗口，十分適宜于在制導(dǎo)、測(cè)距和通信上的應(yīng)用。 圖49 CO2分子振動(dòng)能級(jí)躍遷圖在常溫下，CO2分子大部分處于基態(tài)，在電激勵(lì)條件下，主要是通過電子碰撞直接激發(fā)和共振轉(zhuǎn)移激發(fā)。 (3)軸向流動(dòng)CO2激光器軸向流動(dòng)CO2激光器是工作氣體沿放電管軸向流動(dòng)實(shí)現(xiàn)冷卻，氣流方向同電場(chǎng)方向和激光方向一致，它包括慢速軸流(氣流速度在50m/s左右)和快速軸流(氣流速度大于100m/s，甚至可達(dá)亞音速)。圖412橫流CO2激光器橫流CO2激光器根據(jù)電極形狀的不同主要分為管板電極結(jié)構(gòu)CO2激光器和針板電極結(jié)構(gòu)CO2激光器。這種激光器的結(jié)構(gòu)原理圖見圖414激光束 光束整形 輸出鏡 冷卻水 RF激勵(lì)源 冷卻水末端鏡 RF激勵(lì)交換器 波導(dǎo)電極圖 414 Slab CO2激光器結(jié)構(gòu) 擴(kuò)散冷卻的Slab CO2激光器的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)緊湊，幾乎沒有摩擦損耗；輸出光束具有很高的質(zhì)量；不需對(duì)激光工作氣體進(jìn)行熱交換；光損耗較低；熱穩(wěn)定性非常高；低氣體損耗，外部不需配置氣體貯氣罐；沒有氣體流動(dòng)，不會(huì)污染諧振腔的光學(xué)元件；維護(hù)成本低。即由于準(zhǔn)分子激光能量比材料分子原子連接鍵能量大，材料吸收后(吸收率高)，光子能量耦合于連接鍵，就破壞了原有的鍵連接而形成微小碎片，碎片材料自行脫落，每個(gè)脈沖可去除亞微米深的材料，如此逐層剝離材料，達(dá)到加工目的。光學(xué)諧振腔由一對(duì)高反射率的多層介質(zhì)膜反射鏡組成，一般采用平凹腔形式，平面鏡為輸出鏡，透過率依賴于激光器長度，約為1～2%，凹面鏡為全反射鏡，反射率接近100%。近年來，放電管與反射鏡片、窗片的封接工藝技術(shù)取得顯著的進(jìn)展，目前，用玻璃粉加熱的“硬封接”工藝已替代以往的環(huán)氧樹脂封貼，提高了密封可靠性，進(jìn)而提高了HeNe激光器的工作和存放壽命。光纖激光器的激光介質(zhì)本身就是導(dǎo)波介質(zhì)，耦合效率高；光纖芯很細(xì)，纖內(nèi)易形成高功率密度，可方便地與目前的光纖傳輸系統(tǒng)高效連接。 圖417 高功率光纖激光器 YLRHP系列光纖激光器的主要參數(shù)如表413表413 IPG YLRHP高功率激光器主要參數(shù)型 號(hào)YLR1000YLR3000YLR5000YLR10000YLR20000輸出功率(kW)1351020光束參數(shù)乘積(mmmrad)＜＜＜＜5＜12傳輸光纖直徑(181。一般以GaAs為襯底，襯底上覆蓋其他化合物層，這些化合物是由III族（Al、Ga、In）元素和V族（As、P）元素組成的二元、三元或四元半導(dǎo)體類化合物。在紛雜的塵世里，為自己留下一片純靜的心靈空間，不管是潮起潮落，也不管是陰晴圓缺，你都可以免去浮躁，義無反顧，勇往直前，輕松自如地走好人生路上的每一步3. 花一些時(shí)間，總會(huì)看清一些事。只有你自己才能把歲月描畫成一幅難以忘懷的人生畫卷。有時(shí)候覺得自己像個(gè)神經(jīng)病。Rofin激光器公司的半導(dǎo)體激光器DL系列是基于半導(dǎo)體單元冷卻與堆棧技術(shù)的優(yōu)化，Rofin公司的DL系列半導(dǎo)體激光器可以達(dá)到與傳統(tǒng)氣體或固體激光器相競(jìng)爭(zhēng)的功率。隨著市場(chǎng)需求量的增長和生產(chǎn)工藝的流水線化，半導(dǎo)體泵浦激光器和光纖組件的生產(chǎn)成本將會(huì)顯著降低，光纖激光器的成本與等效的傳統(tǒng)激光系統(tǒng)成本