搬運(yùn)機(jī)器人外文翻譯(完整版)
【正文】 外文翻譯專 業(yè) 機(jī)械電子工程 學(xué) 生 姓 名 張 華 班 級 B機(jī)電092 學(xué) 號 0910106205 指 導(dǎo) 教 師 袁 健 外文資料名稱：Research，design and experiment of end effectorfor wafer transfer robot 外文資料出處：Industrail Robot：An International Journal 附 件： 指導(dǎo)教師評語： 簽名： 年 月 日晶片傳送機(jī)器人末端效應(yīng)器研究、設(shè)計和實驗劉延杰、徐夢、曹玉梅張華譯摘要：目的——晶片傳送機(jī)器人扮演一個重要角色I(xiàn)C制造行業(yè)并且末端執(zhí)行器是一個重要的組成部分的機(jī)器人。最后, 根據(jù)這些研究得到了一個新的種末端執(zhí)行器設(shè)計大氣機(jī)器人。隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展(比如晶圓的直徑增加到300毫米), 機(jī)械制造技術(shù)的更高的要求是為了提高生產(chǎn)力,因此，更高的晶片傳送效率是必要的。雖然大氣晶片傳送機(jī)器人是使用真空泵在晶片和機(jī)器人的末端執(zhí)行器之間產(chǎn)生真空。這里我們假設(shè)吸收毛孔的半徑3毫米均勻分布在一個圓半徑為100毫米。分析結(jié)果顯示在圖3(a)。結(jié)果表明,晶片變形和應(yīng)力作為接觸寬度的增加和減少的趨勢線圖7中所示。如果某個地點(diǎn)之間的距離和中心的接觸面積是r,然后上的壓力這個特定的點(diǎn)是:總體壓力接觸面積是:對于典型的晶片和機(jī)器人工作在大氣環(huán)境、材料參數(shù)是已知的。超細(xì)纖維數(shù)組是均勻分布的面具，總面積5X5毫米。它可以看到最大的附著力晶片和末端執(zhí)行器之間太小,阻礙了釋放晶片。這將導(dǎo)致末端執(zhí)行器之間的摩擦和晶片盒、甚至碰撞,這將損害晶片。當(dāng)前大氣晶片傳送機(jī)器人可以達(dá)到最大的傳輸加速度為1 g。所以設(shè)計的末端執(zhí)行器能夠為了避免共振與機(jī)器人的手臂,來滿足要求動態(tài)特性。對于末端執(zhí)行器大氣晶片傳送機(jī)器人,我們已經(jīng)分析了吸收毛孔的號碼, 位置,半徑和接觸寬度在晶片變形影響。hrung fester elastischerko168?；谶@些研究大氣機(jī)器人末端執(zhí)行器,一種新的末端執(zhí)行器滿足請求的動態(tài)提出了特征。超細(xì)纖維的研究數(shù)組用于晶片交通運(yùn)輸和關(guān)系在晶片傳送加速度、附著力和材料、尺寸參數(shù)的超細(xì)纖維數(shù)組建立了。它的接觸寬度與晶片是20毫米。表4 末端執(zhí)行器設(shè)計的普通頻率我們已經(jīng)知道通過實驗(不包括在這紙),機(jī)器人臂的振動頻率是23赫茲,雖然第一階固有頻率的末端執(zhí)行器是72赫茲,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過臂的振動頻率?；谡埱?我們最后決定我們的結(jié)束效應(yīng)是390毫米長,220毫米寬,4毫米厚度。表3 超細(xì)纖維數(shù)組和晶片材料參數(shù)和尺寸參數(shù)通過SEM照片我們可以看出,纖維的表面大約是一個圓形平面,所以真正的接觸面積在防顫晶片和一個單纖維之間，面積接近πr2。圖8 吸收面積壓力分布圖對于真空晶片傳送機(jī)器基于以上研究設(shè)計一種微陣列的腫塊,我們嘗試設(shè)計一種用于晶片傳送微陣列凹凸。根據(jù)赫茲(1882)理論,當(dāng)一個理想的球體接觸一個平面,真正的接觸面積可以拿到如下: F 吸收力。結(jié)果顯示在圖5和表2?？紤]技術(shù)和經(jīng)濟(jì)可行性,我們最后選擇四個吸收毛孔(圖2)。嚴(yán)重的晶片變形可能是由于大量吸收力,這是完全不可接受的。因此,它是非常必要的相關(guān)研究。還為進(jìn)一步改進(jìn)和研究末端執(zhí)行器打下堅實的基礎(chǔ),。對于在真空晶片傳送機(jī)器人工作,首先,作者運(yùn)用來自壁虎的超細(xì)纖維陣列的設(shè)計靈感研究機(jī)器人的末端執(zhí)行器,和現(xiàn)在之間方程機(jī)器人的交通加速度和參數(shù)的超細(xì)纖維數(shù)組?；谶@
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