風險評估概論ppt課件(完整版)
【正文】 要次系統(tǒng)損失或設施損壞 化學物質(zhì)洩漏，具有暫時性對環(huán)境或大眾健康造成傷害 3 中度 醫(yī)療傷害或暫時失能 次要次系統(tǒng)損失或設施損壞 化學物質(zhì)洩漏，需對外界說明事故調(diào)查報告 4 低度 僅需一般性治療 非重要設備或設施損壞 化學物質(zhì)洩漏，僅需例行性的清除，未執(zhí)行事故調(diào)查報告 FTIS 可能性等級 可能性分類 預期發(fā)生頻率A 經(jīng)常的 每年超過 5 次B 可能的 每年超過 1 次 ，但未超過 5 次C 也許的 5 年內(nèi)超過 1 次 ，但未超過 1 年1 次D 稀少的 10 年內(nèi)超過 1 次 ，但 5 年內(nèi)未超過 1 次E 極不可能的 10 年內(nèi)未超過 1 次FTIS 作業(yè)流程 危害原因說明 嚴重性 曝露率 可能性 評分 等級 1. 開機 1. 2 20 V 電壓感電 重大災害 偶而作業(yè) 稀少的 63 . 9 3 2. 開氣瓶 1. 有毒氣體 / 腐蝕性氣體外洩 非常重大災害 偶而作業(yè) 稀少的 16 5 .7 3 3. 啟動分子渦輪幫浦 1. 真空幫浦噪音 輕度災害 偶而作業(yè) 可能的 19 . 2 4 4. 基板加熱 1. 手被燙傷 輕度災害 偶而作業(yè) 稀少的 5 以下 5 5. 送試片 1. 手被 c h am b er 蓋子夾傷 輕度災害 偶而作業(yè) 稀少的 5 以下 5 6. 選擇參數(shù) 1. 眼睛輻射傷害 虛驚事故 偶而作業(yè) 稀少的 5 以下 5 7. 開始蝕刻 1. 2 20 V 電壓感電 2. 電漿光害 3. 手被 C H AM B ER 外圍燙傷 4. 有毒氣體 / 腐蝕性氣體外洩 重大災害 虛驚事故 輕度災害 非常重大災害 偶而作業(yè) 稀少的 極不可能的 稀少的 稀少的 63 . 9 5 以下 5 以下 16 5 .7 3 5 5 3 8. 取出試片 1. 手被 c h am b er 蓋子夾傷 2. 殘餘有害氣體外洩 輕度災害 高度災害 偶而作業(yè) 稀少的 極不可能的 5 以下 9. 2 5 4 9. 關(guān)機 1. 2 20 V 電壓感電 重大災害 偶而作業(yè) 稀少的 63 . 9 3 風險評估表 FTIS 作業(yè)流程 危害原因說明 評分 等級 現(xiàn)有防護措施 改善建議 1. 開機 1 . 2 2 0 V 電壓感電 6 3 . 9 3 1. 設備接地 2. 配戴乳膠手套 2. 開氣瓶 1. 有毒氣體 / 腐蝕性氣體外洩 1 6 5 . 7 3 1. 抽氣氣瓶櫃 2. 週邊環(huán)境C l 2 偵測器 3. 抗腐蝕性氣體管路系統(tǒng) ( 單管 )4. 氯氣鋼瓶緊急遮斷按鈕 5. 每月定期由廠商檢測氣瓶櫃排氣管風速 1. 設置抗腐蝕性氣體管路雙套管系統(tǒng) 2. 設置低風量之警示系統(tǒng) 3. 使用更詳細之分析工具執(zhí)行製程危害評估 , 如 H a z O p , F M E A 等 3. 啟動分子渦輪幫浦 1. 真空幫浦噪音 1 9 . 2 4 4. 基板加熱 1. 手被燙傷 5 以下 5 1. 熱交換機 T m a x ~ 1 0 0 C 5. 送試片 1. 手被 c h a m b e r 蓋子夾傷 5 以下 5 6. 選擇參數(shù) 1. 眼睛輻射傷害 5 以下 5 7. 開始蝕刻 1 . 2 2 0 V 電壓感電 2. 電漿光害 3. 手被 C H A M B E R 外圍燙傷 4. 有毒氣體 / 腐蝕性氣體外洩 6 3 . 9 5 以下 5 以下 1 6 5 . 7 3 5 5 3 1. 抽氣氣瓶櫃 2. 週邊環(huán)境C l 2 偵測器 3. 抗腐蝕性氣體管路系統(tǒng) ( 單管 )4. 氯氣鋼瓶緊急遮斷按鈕 5. 機臺緊急停機按鈕 1. 設置抗腐蝕性氣體 管路雙套管系統(tǒng) 2. 設置低風量之警示系統(tǒng) 3. 使用更詳細之分析工具執(zhí)行製程危害評估 , 如 H a z O p , F M E A
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