mocvd知識大全ppt課件(完整版)
【正文】 、國內(nèi) LED主要應(yīng)用領(lǐng)域 ? 國內(nèi) LED產(chǎn)品除了大量用于各種電器及裝置、儀器儀表、設(shè)備的顯示外，主要集中在： 、中、小 LED顯示屏：室內(nèi)外廣告牌、體育場記分牌、信息顯示屏等。按照各廠商的擴(kuò)展計(jì)劃，2022年預(yù)計(jì)有 15臺 MOCVD陸續(xù)安裝投入使用，使國內(nèi)的 GaN MOCVD設(shè)備增加到 55臺。 三、奧運(yùn)后展望我國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè) ? LED總體情況 此次奧運(yùn)開創(chuàng)了奧運(yùn)歷史上大規(guī)模使用 LED照明技術(shù)的先河。半導(dǎo)體照明被 《 國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要 》 列為能源領(lǐng)域工業(yè)節(jié)能優(yōu)先主題，還是國家“十一五” 863計(jì)劃“半導(dǎo)體照明工程”重大項(xiàng)目的啟動，列入節(jié)能減排科技專項(xiàng)行動，這些都印證了半導(dǎo)體照明光輝的發(fā)展前景和深刻的社會經(jīng)濟(jì)影響。 LED的投資額比較小，初始投資 1億就可建廠，國內(nèi)企業(yè)進(jìn)入門檻低，容易實(shí)現(xiàn)滾動發(fā)展，這與集成電路制造及液晶面板制造動輒幾十億到上百億人民幣的投資而言顯得“微不足道”，國內(nèi)企業(yè)容易進(jìn)入形成產(chǎn)業(yè)集群 。據(jù)水立方業(yè)主和設(shè)計(jì)單位計(jì)算，僅水立方 5萬平方米的景觀照明工程全部采用 LED，與使用傳統(tǒng)熒光燈相比，全年預(yù)計(jì)可節(jié)電 ，節(jié)能達(dá) 70%以上。南昌大學(xué)近年來開展在硅襯底上生長 GaN外延材料研究，已研發(fā)的藍(lán)光芯片發(fā)射功率達(dá) 7mW～8mW，最好為 9mW～ 10mW，芯片成品率為 80%，功率 LED芯片在 350mA下發(fā)射功率為 100mW～ 150mW，最好可達(dá) 150mW。 ：室外景觀照明和室內(nèi)裝飾照明。 二 .反應(yīng)腔介紹 由于反應(yīng)腔對外延生長非常重要，所以目前市面上主要的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)為以下四種： （ AIXTRON TS系列） （AIXTRON G系列） （ Veeco） 注： 旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)腔 ,是一種帶有旋轉(zhuǎn)盤的立式反應(yīng)腔。 Metalanic Chemical Vapor Deposition 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀 原理 MOCVD是以 Ⅲ 族、 Ⅱ 族元素的有機(jī)化合物和 V、 Ⅵ 族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長各種 Ⅲ V族、 Ⅱ Ⅵ 族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶
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