電子顯微分析與電子探針(完整版)
【正文】 強(qiáng)度下使用 ，這是波譜儀的兩個缺點(diǎn)。 ? (2)工作條件要求嚴(yán)格 。由于能譜儀中 Si(Li)探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方 (10㎝左右 )，無需經(jīng)過晶體衍射，信號強(qiáng)度幾乎沒有損失，所以靈敏度高 (可達(dá) 104cps/nA， 入射電子束單位強(qiáng)度所產(chǎn)生的 X射線計(jì)數(shù)率 )。 ? 影響二次電子產(chǎn)額的因素主要 有： ? (1)二次電子能譜特性； ? (2)入射電子的能量； ? (3)材料的原子序數(shù)； ? (4)樣品傾斜角 ?。 5．電源系統(tǒng) ? 作用：為掃描電子顯做鏡各部分提供所需的電源。 ? 作用：獲得掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號的激發(fā)源。 ? 閃爍計(jì)數(shù)器是最常用的一種信號檢測器，它由閃爍體、光導(dǎo)管、光電倍增管組成。 表 222 掃描電子顯微鏡景深 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 就是像的各部分 (即各像元 )強(qiáng)度相對于其平均強(qiáng)度的變化。 圖 2218 Si(Li)檢測器探頭結(jié)構(gòu)示意圖 ? 以 Si(Li)檢測器為探頭的能譜儀實(shí)際上是一整套復(fù)雜的電子學(xué)裝置。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或 X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光 X射線信號也被同時檢測到，從而使得 Si(Li)檢測器檢測到的特征譜線在強(qiáng)度提高的同時，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴(yán)重。 波譜儀的特點(diǎn)： ? 波譜儀的突出優(yōu)點(diǎn)是 波長分辨率很高 。 ? ZnOBi2O3陶瓷燒結(jié)表面的面分布成分分析 (a)形貌像； (b)Bi元素的 X射線面分布像 Preparation of nanotubeshaped TiO2 powder 。 ? 但由于結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，譜儀要想有足夠的色散率，聚焦圓的半徑就要足夠大，這時彎晶離 X射線光源的距離就會變大，它對 X射線光源所張的立體角就會很小，因此對 X射線光源
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