【正文】 自然 方面進入一個新的層次。 1． 4． 3 激光束加工 由激光發(fā)生器將高能量密度的激光進一步聚焦后照．射到工件表面，光能被吸收瞬時轉化為熱能。最高精度的超精密研磨可加工出平面度為 λ／ 200 的零件。納米磨削技術對燃氣渦輪發(fā)動機，特別是對要求高疲勞強度材料 (如飛機的噴氣發(fā)動機渦輪用的陶瓷材料 )的加工，是重要而有效的加工技術。進行超精密切削加工的零件材料必須質地均勻，沒有缺陷。 超精密加工主要包括超精密切削 (車、銑 ) 超精密 磨削、超精密研磨 (機械研磨、機械化學研磨、研拋、非接觸式浮動研磨、彈性發(fā)射加工等 )以及超精密特種加工 (電子束、離子束以及激光束加工等 )?，F(xiàn)代超精密加工技術 字體 : 小 中 大 | 打印 發(fā)布 : 2020319 10:53 作者 : webmaster 來源 : 本站原創(chuàng) 查看 : 50次 機械制造技 術從提高精度與生產(chǎn)率兩個方面同時迅速發(fā)展起來。上述各種方法均能加工出普通精密加工所達不到的尺寸精度、形狀精度和表面質量。在這種情況下加工無氧銅，表面粗糙度可達到 Ba0． 005μm，加工 φ800mm的非球面透鏡，形狀精度可達 0． 2／ μm。 此外，砂輪的修整技術也相當關鍵。超精密研磨的的關鍵條件是幾乎無振動的研磨運動、精密的溫度控制、潔凈的環(huán)境以及細小而均勻的研磨劑。根據(jù)能量密度的高低，可實現(xiàn)打孔、精密切割、加工精微防偽標志等。它將開發(fā)物質潛在的信息和結構能力，使單位體積物質存儲和處理信息的能力實現(xiàn)質的飛躍，從而給國民經(jīng)濟和軍事能力帶來深遠的影響。如用靜電驅動的微型電機控制計算機及通訊系統(tǒng)。 2． 1． 3 材料工程及功能織物 在材料工程方面，已經(jīng)能夠做到設計與控制一種材料的微觀結構，從而獲得所要求的宏觀性能。筆者認為所謂納米加工技術是指零件加工的尺寸精度、形狀精度以及表面粗糙度均為納米級 (＜ 10 納米 )。 2． 2． 3 LIGA 技術 ( Lithographie， Galvanoformung， Abformung) LIGA工藝是由深層同步輻射 X射線光刻、電鑄成型、塑鑄成型等技術組合而成的綜合性技術，其最基本和最核心的工藝是深度同步輻射光刻，而電鑄和塑鑄工藝是 LIGA產(chǎn)品實用化的關按。 S T M將非常尖銳的金屬針接近試件表面至1nm左右，施加電壓時隧道電流產(chǎn)生，隧道電流每隔 0． 1nm變化一個數(shù)量級。 微鏡 (MFM) 掃描近場光學顯微鏡 (SNOM) 橫向力顯微鏡 (LFM)、彈導電子發(fā)射顯微鏡 (BEEM) 光于掃描隧道顯微鏡 (PSTM)、掃描離子電導顯微鏡 (SICM)等等。應用在光學系統(tǒng)中能夠很好的矯正多種象差，改善儀器成象質量，提高儀器鑒別能力，增大作用距，它能以一個或幾個少量的非球面零件代替較多的球面零件，從而簡化儀器結構，降低成本，并有效的減輕儀器重量，在航空、航天等領域，由于近年來非球面雷達天線、非球面透鏡、反射鏡的應用，使產(chǎn)品的性能得到了極大提高。 從上述的論述中我們可以看到無論在機載設備、衛(wèi)星、慣性制導及慣性導航系統(tǒng)、激光制導系統(tǒng)、紅外探測系統(tǒng)、激光核聚變等方面都離不開非球面零件，所以盡快提高我國非球面曲面的超精密加工技術成了當務之急，這有利于提高我國的航空、航天、武器系統(tǒng)等國防工業(yè)的水平。 CNC 超精密加工技術在美國、英國、荷蘭、日本等國得到了很大發(fā)展，主要都是基于航空、航天、軍事、能源等方面的應用，英國 Cranfield 大學的精密工程研究所 (CUPE)研制的大型超精密金剛石鏡面切削機床可以加工大型 X射線天體望遠鏡所用的非球面反射鏡 (最大直徑可達 1400mm，最大長度 600mm的圓錐鏡 )。 目前，國外許多公司己將超精密車削、磨削、研磨以及拋光加工集一體，開發(fā)研制出復合超精密加工機床。這些單位為我國超精密加工技術的發(fā)展做出了一定的 貢獻，但對于非球面加工來說，目前國內基本還是一片空白。 (8)進行非球面曲面加工工藝及相關技術的研究，其中包括金剛石刀 具研磨技術的研究，同時還將進行環(huán)境技術等方面的研究。目前利用超精密加工技術來解決精密偶件制造中的關鍵問題，尚處于起步階段，國內一些單位主要利用高精度磨床進行偶件磨別，也利用超精密技術改裝原有精密設備使之提高精度，國內尚無真正的超精密磨床、超精密研磨機等超精密加工設備。應達到的技術指標如下： 圓柱度： O． 1——O． 5μm 尺寸精度： 0． 3——0． 8μm 粗糙度： RaO． 01——0． 04μm 4． 2． 5 內、外徑高精度尺寸測量技術研究 研究一種內、外徑尺寸測量的方法及儀器。隨著現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，對超精密加工技術不斷提出了新的要求。 4． 2 研究內容 4． 內、外圓柱偶件及平面偶件超精密車削、 鏜削及磨削技術研究 該項技術可直接用于工廠生產(chǎn)，如陀螺儀零件、油泵轉子、配油盤、平面反射鏡等生產(chǎn)，解決有色金屬圓柱形偶件及平面偶件的加工。0． Ol℃ 機床位移測量裝置分辨率： O． O05μm—O． 01μm 型面精度在線測量裝置分辨率： O． 002μm 在該 CNC 超精密復合加工裝置上加工出的非球面曲面，達到： 加工型面精度： 0． 3——O． 5μm； 加工表面粗糙度： Ra0． 005—0． 020μm； 4 精密 偶件超精密加工技術 4． 1 概述 精密偶件技其形狀可分為圓柱面偶件、平面偶件、球面偶件和導形柱面偶件。所以國家必須投入充足的人力、物 力，才能使我國的超精密加工技術特別是非球