無塵無菌室維護(hù)管理(完整版)
【正文】 室內(nèi)飄浮在空氣中之微粒子影響製程 (PROCESS)甚鉅，故必須按時測試 浮游微粒子，濃度以檢查是否符合規(guī)定。 (7)做查漏試驗(yàn)時應(yīng)拆除 ULPA、 HEPA FILTER 面上之整流格子 (GRILL)後，將 PARTICLE COUNTER (光散亂式粒子計數(shù)器 )之檢出端 (空氣進(jìn)口嘴管 )距離 ULPA – HEPA FILTER 面吹出口約 10 mm下流之位置，由 FILTER 之一端至 另一端以 6 cm／ sec 之速度平行移動測試，最少以 30 mm之間隔 (PITCH)移動 8 無塵無菌室之維護(hù)管理 測試做 FILTER 全面之檢查。 (a)辦公室等非清淨(jìng)區(qū)域之清掃時 一般之外出用衣服或外套、拖鞋或布鞋。 (3)清掃工作完成後要等到無塵無菌室之清淨(jìng)度達(dá)到規(guī)定後始能停止運(yùn)轉(zhuǎn)。 (b)為防止再污染，擦拭用用具應(yīng)依各清淨(jìng)度級 (CLASS)區(qū)域個別採用專用 之用具。 表 14 擦拭用用具清洗方法一例 擦拭用用具 清洗頻度 無塵無菌室 CLASS 1 CLASS 10 無塵無菌室 CLASS 100 CLASS 1000 無塵無菌室專用擦拭用具 每一次擦拭 後或隨時 每一次擦拭後用示於規(guī)格 134(1) (b)之水清洗，隨時或最少每水洗 3 次後，用示於規(guī)格 134 (2) (a)之清洗用水溶液，洗好後再用示於 134 (1) (b)之淨(jìng)水洗清。 ※ 異丙 (烷 )醇 = ISOPROPYL ALCOHOL：係洗劑之一種。 無塵無菌室專用抹布※ ※ 對 CLASS 1 及 CLASS 10 無塵無菌室不可使用。 10 無塵無菌室之維護(hù)管理 【 2】擦拭工作 (a)擦拭用工具在每次擦拭後應(yīng)清洗乾淨(jìng)。 134 清潔用液體 【 1】 水 (a)普通之自來水含有固體微粒子、有機(jī)物、礦物質(zhì)等故不能 用於無塵無菌室之清潔用。 無塵衣、無塵無菌室專用布鞋、或鞋套及戴帽子。測試對象物質(zhì)由該無塵室專業(yè)人員選定。 (3)浮游微粒子濃度測試應(yīng)由該無塵無菌室之專業(yè)人員在規(guī)定之位置及高度測試，另 者測試對象粒徑 也應(yīng)由該專業(yè)人員決定。 (4)溫濕度之測試應(yīng)於該無塵室在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài) 下而在作業(yè)開始前及作業(yè)終了後 施行並做記錄，但必要時須隨時測試並做記錄。 6 無塵無菌室之維護(hù)管理 124 空氣壓 (1)測試無塵無菌室之空氣壓其目的為高清淨(jìng)度無塵室與次清淨(jìng)度無塵室之間有無保 持規(guī)定之差壓，高清淨(jìng)度室空氣壓應(yīng)比次清淨(jìng)度室略高，以免污染之空氣侵 入高清淨(jìng)度室內(nèi)。 (4)風(fēng)速測試除了測試各 HEPA FILTER 之代表點(diǎn)之外，應(yīng)在專業(yè)人員決定之位置 及高度施行，而每個月 1 次以上之頻度行 之並做記錄。 4 無塵無菌室之維護(hù)管理 表 12 無塵無菌室進(jìn)出流程圖 (FLOW MODEL) 腳踏粘板 一次更衣 換 鞋 鞋 辦公室等 鞋 櫥 脫衣穿衣 一般衣服室 一般衣櫥 洗 手 間 穿衣脫衣 無塵衣用專櫃 (衣櫥 ) 穿衣臺、洗衣籃 鞋 一般衣櫥 洗 手 烘 乾 機(jī) 腳 踏 粘 板 空 氣 洗 塵 室 等 準(zhǔn) 備 室 無 塵 室 屋 外 換穿無塵衣 區(qū) 域 管理區(qū)域 赤腳或穿拖鞋 準(zhǔn) 清淨(jìng)區(qū)域 清淨(jìng)區(qū)域 5 無塵無
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