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芯片拋光車間供液系統(tǒng)管路及其成套系統(tǒng)設(shè)計(jì)__畢設(shè)終稿(完整版)

  

【正文】 第 14 頁(yè) 共 33 頁(yè) 形成連續(xù)焊縫,不必考慮快卡連接的密封墊錯(cuò)位、縫隙及其老化更換問(wèn)題。 應(yīng)用變頻器來(lái)實(shí)現(xiàn)變頻節(jié)能供液,可以采用恒壓變量或變壓變量?jī)煞N方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。變頻調(diào)速控制技術(shù),是指以變頻調(diào)整原理為基 礎(chǔ),在保證供液可靠性的前提下,根據(jù)供液系統(tǒng)用水量的變化情況,自動(dòng)調(diào)整水泵工況,使之始終盡可能地在高效區(qū)間內(nèi)運(yùn)行,以達(dá)到降低能耗、提高效率的目的。 若是循環(huán)泵運(yùn)行不夠匹配 , 其結(jié)果要么是電能無(wú)故浪費(fèi) ,要么就是達(dá)不到外網(wǎng)所需壓頭 , 致使水力調(diào)節(jié)很難達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài) [26]。 圖 SIMOVERT MV交流 調(diào)速柜 ④ 壓力變送器( PT)參數(shù) 用于測(cè)量送水管網(wǎng)壓力,提供 DC4— 20mA 標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出。 ⑩ 補(bǔ)液槽與儲(chǔ)液槽間各安裝一個(gè)水泵。 圖 儲(chǔ)液槽 ③ 變頻調(diào)速自動(dòng)控制柜 1 臺(tái),用于系統(tǒng)全程的自動(dòng)控制。 芯片拋光車間供液系統(tǒng)管路的空間布局 設(shè)計(jì) 在當(dāng)今社會(huì)講求節(jié)能高效,而節(jié)約能源與環(huán)境保護(hù)是永遠(yuǎn)的主題,所以我將在更加節(jié)能和環(huán)保方面進(jìn)一步研究改進(jìn)已有的技術(shù)模式。 沈陽(yáng)化工學(xué)院介紹了分支管路的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。 Hirokazu Hamada 應(yīng)用模糊控制方法在變頻恒壓供液系統(tǒng)中 ,通過(guò)對(duì) PID 參數(shù)進(jìn)行在線自動(dòng)調(diào)整 ,實(shí)現(xiàn)供水系統(tǒng)水壓調(diào)節(jié)的有效控制及節(jié)能 .仿真結(jié)果和實(shí)際應(yīng)用表明 :采用模糊 PID 控制后 ,控制系統(tǒng)的響應(yīng)速度加快 ,超調(diào)量減小 ,過(guò)渡過(guò)程時(shí)間大大縮短 [20]。 在供水系統(tǒng)的材料選擇上,外國(guó)研究人員進(jìn)行了一些研究探索。并編制了供熱管網(wǎng)水力平衡調(diào)節(jié)的應(yīng)用程序,使得供熱管網(wǎng)的水力平衡調(diào)節(jié)實(shí)用、經(jīng)濟(jì)、快 捷、方便 [11]。 陜西科技大學(xué)的研究人員 陳景文 根據(jù)管網(wǎng)和水泵的運(yùn)行特性曲線 ,闡明了供水系統(tǒng)的變頻調(diào)速節(jié)能原理 ,分析了變頻恒壓供液的原理及系統(tǒng)的 組成結(jié)構(gòu) .通過(guò)研究和比較 ,可采用變頻器和 PLC 實(shí)現(xiàn)高層建筑的恒壓供液 .對(duì)系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)進(jìn)行了詳細(xì)介紹 [6]。隨著變頻調(diào)速技術(shù)的發(fā)展和人們節(jié) 能意識(shí)的不斷增強(qiáng),變頻恒壓供液系統(tǒng)的節(jié)能特性使得其越來(lái)越廣泛用于工廠車間、住宅、高層建筑的生活及消防。經(jīng)研究,不同拋光工藝參數(shù) :如拋光速度、拋光液等對(duì)表面粗糙度和材料去除率的影響 ,以獲得芯片雙面拋光理想表面質(zhì)量。而廠礦企業(yè)對(duì)供水供液的要求也越來(lái)越大,在供液系統(tǒng)方面面臨的矛盾和問(wèn)題日益突出。現(xiàn)在,芯片拋光 車間主要采用雙面拋光工藝作為芯片加工的主要后續(xù)加工方法。特別是在石油化工、機(jī)械加工、電力、供熱供水等關(guān)乎國(guó)計(jì)民生的領(lǐng)域,對(duì)優(yōu)良供液管路系統(tǒng)的要求更加突出。 西安建筑科技大學(xué)的學(xué)者 王曉瑜 用三菱 FX2N PLC、變頻器和人機(jī)界面 ,設(shè)計(jì)恒壓供液控制系統(tǒng) .分析系統(tǒng)的控制原理 ,設(shè)計(jì)系統(tǒng)流程圖及軟件程序 .用 實(shí)踐結(jié)果證明 ,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定 ,可靠性好 ,實(shí)現(xiàn)住宅恒壓供液和節(jié)能環(huán)保 的 要求 [3]。 此外,在供熱管網(wǎng)水力平衡的研究方面成就也頗多。通過(guò)對(duì)內(nèi)冷卻平面磨削過(guò)程中切削液噴射過(guò)程進(jìn)行分析,為了簡(jiǎn)化計(jì)算,將徑向流道內(nèi)液體的流動(dòng)看做定常流動(dòng),其流速為徑向流道中點(diǎn)處的流速,利用牛頓定理可推導(dǎo)出液體在徑向流道中點(diǎn)處的流速計(jì)算公式,從而得到供液系統(tǒng)流量。 自來(lái)水廠同樣常用變頻供水 PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)。 鄭州大學(xué)介紹了利用組態(tài)王實(shí)現(xiàn)對(duì)獨(dú)立小規(guī)模供水系統(tǒng)中供水管道壓力的控制 。尤其是在供液方式上的研究和改進(jìn)。借助繪圖軟件和組態(tài)軟件,形象的將車間供液管路系統(tǒng)的空間布局圖和結(jié)構(gòu)安裝圖表達(dá)出來(lái),是本說(shuō)明書的一大任務(wù)之一。 ⑧ 中性液體出液口 7 個(gè),弱堿性液體出液口 7個(gè)。 ② 控制對(duì)象 參數(shù) 西門子電機(jī)功率 400kw,額定電流 ,額定電壓 6kv,額定轉(zhuǎn)數(shù) 990 轉(zhuǎn)/ min,水泵。 兩臺(tái)泵并聯(lián)運(yùn)行時(shí) , 效率總是大于單臺(tái)泵運(yùn)行;在不同性能循環(huán)泵并聯(lián)時(shí),一定要注意各自所提供的壓頭大小,以壓頭參數(shù)為主進(jìn)行調(diào)節(jié),流量和耗電量可作為參考數(shù)據(jù)。在低峰時(shí),如果水泵機(jī)組按高峰期的用水量運(yùn)行,雖可通過(guò)調(diào)節(jié)閥門來(lái)滿足用水需求,但供液能量損耗大,而且還會(huì)影響機(jī)組的正常運(yùn)行。 控制系統(tǒng)工作原理 應(yīng)用變頻器來(lái)實(shí)現(xiàn)變頻節(jié)能供液,可以采用恒壓變量或變壓變量?jī)煞N方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。 ③ 鋪設(shè) 管路時(shí)須 安裝上備用管路,同樣也是為了系統(tǒng)的安全工作和設(shè)備穩(wěn)定 行。 本章小結(jié) 中北大學(xué) 20xx屆畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書 第 15 頁(yè) 共 33 頁(yè) 本章主要是系統(tǒng)的總體方案設(shè)計(jì),包括空間布局設(shè)計(jì)、系統(tǒng)主要參數(shù)的設(shè)計(jì) 和供液方式設(shè)計(jì);分析了變頻調(diào)速技術(shù)和控制系統(tǒng)的工作原理;分析了系統(tǒng)安裝 的一些特別需要注意的事項(xiàng),包括管道安裝和變頻器的安裝。 因此實(shí)際中很少這么算,基本上都是根據(jù)壓差的大小選不同的流速,按最前面的方法計(jì)算 [30]。 ③ 液體性質(zhì),包括液體介質(zhì)名稱,物理性質(zhì),化學(xué)性質(zhì)和其它性質(zhì),物理性質(zhì)有溫度 c 密度 d,粘度 u,介質(zhì)中固體顆粒直徑和氣體的含量等,這涉及到系統(tǒng)的揚(yáng)程,有效氣蝕余量計(jì)算和合適泵的類型:化學(xué)性質(zhì),主要指液體介質(zhì)的化學(xué)腐蝕性和毒性,是選用泵材料和選用那一種軸封型式的重要依據(jù)。 操作如下 , 利用泵特性曲線,在橫坐標(biāo)上找到所需流量值,在縱坐標(biāo)上找到所需揚(yáng)程值,從兩值分別向上和向右引垂線或水平線,兩線交點(diǎn)正好落在特性曲線上,則該泵就是要選的泵,但是這種理想情況一般很少,通常會(huì)碰上下列兩種情況: 第一種:交點(diǎn)在特性曲線上方,這說(shuō)明流量滿足要求,但揚(yáng)程不 夠,此時(shí),若揚(yáng)程相差不多,或相差 5%左右,仍可選用,若揚(yáng)程相差很多,則選揚(yáng)程較大的泵。對(duì)于需要有 50%的備用率大型泵,可改兩中北大學(xué) 20xx屆畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書 第 23 頁(yè) 共 33 頁(yè) 臺(tái)較小的泵工作,兩臺(tái)備用 (共三臺(tái) )對(duì)某些大型泵,可選用 70%流量要求的泵并聯(lián)操作,不用備用泵,在一臺(tái)泵檢修時(shí),另一臺(tái)泵仍然承擔(dān) 生產(chǎn)上 70%的輸送。如果在供水過(guò)程中保持管道特性不變,完全通過(guò)改變水泵的特性來(lái)實(shí)現(xiàn)工況點(diǎn)的改變.這是一種理想的情況.沒(méi)有任何多余能量浪費(fèi),但對(duì)于多出液的管網(wǎng),由于用液規(guī)律不同,閥 門的啟閉不可避免,因面無(wú)法實(shí)現(xiàn)。當(dāng)系統(tǒng)的工況點(diǎn)在 ABDC以外時(shí),調(diào)速水泵無(wú)法高效運(yùn)行。 閥門的 選型 閥門的分類 閥門種類繁多用途各異,按用途可分為:供水、化工、石油等;按介質(zhì)可劃分為煤氣閥、空氣閥、水蒸汽閥等;按材質(zhì)可劃分為鑄鐵、鑄鋼、鋼板焊接閥等;按溫度可劃分為低溫閥、高溫閥等;按壓力級(jí)別可劃分為低壓閥、高壓閥;按結(jié)構(gòu)種類可劃分為: A閘閥、截止閥、球閥 —— 用于啟閉管道介質(zhì)流動(dòng); B止回閥 —— 用于自動(dòng)防止管道內(nèi)的介質(zhì)倒流;蝶閥 —— 用于啟閉或調(diào)節(jié)管道內(nèi)介質(zhì)作用;排氣閥用于排除出管道內(nèi)的空氣,同時(shí)也起進(jìn)氣的作用 [31]。由于近年來(lái)企業(yè)生產(chǎn)供水量需要不斷增加,供液管道口徑也越來(lái)越大,原使用的閘閥從體積、重量、高度、扭矩均不能適應(yīng)現(xiàn)代管道的需要,所以大口徑閥門閘閥勢(shì)必要以蝶閥代替。 供供液管水壓傳感器也稱之為:水壓力傳感器, 水壓力變送器 ,管道油壓壓力傳感器, 油壓傳感器 ,氣壓傳感器 ,風(fēng)壓傳感器 ,恒壓供水壓力傳感器 ,通用壓力變送器,油壓變送器 ,氣壓變送器 ,風(fēng)壓變送器 ,液壓變送器 ,恒壓供水壓力變送器,水泵壓力測(cè)控儀器,管道水壓力傳感器 , 水泵壓力傳感器 ,液壓變送器,多用途壓力傳感器 。 由于變頻器的輸出波形并不是完全的正弦波,而是含有高次諧波成分,所以水泵的工作電流將有所增加。 根據(jù)芯片拋光車間的生產(chǎn)需要,這里 選用 SIMOVERT MV 交流調(diào)速柜, 輸入3AC, 2 X1200V, 170A, 50 60Hz,輸出 3AC, 06v, 65A, 2066Hz。 本課題的工作總結(jié)如下: ① 學(xué)習(xí)了供液管路系統(tǒng)的研究背景及相應(yīng)的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀。 中北大學(xué) 20xx屆畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書 第 30 頁(yè) 共 33 頁(yè) 參考文獻(xiàn) [1] 黃國(guó)濤,沈致和 . 芯片拋光生產(chǎn)車間循環(huán)給水系統(tǒng)的設(shè)計(jì) .山西建筑 , 20xx, 15(34): 14~15 [2]胡赤兵 ,桑瑞鵬 . 利用實(shí)現(xiàn)泵站變頻恒壓供液控制系統(tǒng) . 排灌機(jī)械 , 20xx, 23(3): 42~45 [3] 王曉瑜 . 基于 PLC 和 HMI 的變頻恒壓供液系統(tǒng)設(shè)計(jì) . 制造業(yè)自動(dòng)化 , 20xx, 33(5): 120~122 [4]李萬(wàn)軍 . 基于 S7200 的恒壓供液控制系統(tǒng) 中的應(yīng)用 . 工業(yè)控制計(jì)算機(jī) , 20xx, 23(10): 103~104 [5] 陳宏志 . 變頻恒壓供液應(yīng)用效果分析 .中國(guó)農(nóng)村水利水電 , 20xx, 12(1): 53~54 [6] 陳景文 . 高層建筑變頻恒壓供液控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) .中國(guó)給水排水 , 20xx, 23(24): 30~34 [7] 周力 . 基于 PLC 的變頻恒壓供液模糊控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) .機(jī)電工程 , 20xx, 22(3): 14~17 [8] 劉大銘,沈暉 . 基于 PLC 變頻調(diào)速恒壓供液系統(tǒng)設(shè)計(jì) .寧夏工程技術(shù) , 20xx, 5(3): 252~257 [9] 太原理工大學(xué)建筑與環(huán)境工程學(xué)院 . 工業(yè)供水工程壓力管路的安全防護(hù)措施 .太原理工大學(xué)學(xué)報(bào) , 20xx, 35(3): 360~361 [10]高巍,蔣興旺 . 供熱管網(wǎng)水力平衡失調(diào)問(wèn)題 探討 .中國(guó)新技術(shù)新產(chǎn)品 , 20xx, 14(3): 48~49 [11] 孫偉 . 供熱管網(wǎng)水力平衡調(diào)節(jié)方法的研究 .林業(yè)科技情報(bào) , 20xx, 4(40): 252~257 [12]湯躍 ,尚亞波 ,吳徐 等 . 變頻調(diào)速恒壓與變壓供水的能耗分析 . 排灌機(jī)械 , 20xx, 25(1): 44~49 [13] 呂金波 . 北京燕山石化二供水車間自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)計(jì) . 電氣技術(shù) , 20xx, 4(30): 16~23 [14] 廖映華 . 內(nèi)冷卻平面磨削供液系統(tǒng)設(shè)計(jì) . 液壓與氣動(dòng) , 20xx, 8(11): 33~34 [15] 李浩情 . 坯線車間供水系統(tǒng)的技術(shù)改造 . 江蘇冶金 , 20xx, 36(6): 46~47 中北大學(xué) 20xx屆畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書 第 31 頁(yè) 共 33。 ③ 芯片拋光生產(chǎn)車間循環(huán)供液系統(tǒng)有出水點(diǎn)壓力要求嚴(yán)、用水點(diǎn)多、出水量少的特點(diǎn) ,經(jīng)研究分析本課題,采用同程系統(tǒng):經(jīng)過(guò)每一并聯(lián)環(huán)路的管長(zhǎng)基本相等;同時(shí),如果通過(guò)每米長(zhǎng)管路的阻 力損失接近相等,將采用管徑偏大的進(jìn)、出液管,則管網(wǎng)的阻力不需調(diào)節(jié)即可保持平衡。 提供輸入電源,型號(hào) ZTSGN 630/ 6,額定容量 630KVA。 在驅(qū)動(dòng)多臺(tái)水泵時(shí) ,一定要保證變頻器額定輸出電流大于所 有水泵實(shí)際工作電流的總和。 PY206 供液管水壓傳感器應(yīng)用 A、液壓及氣動(dòng)控制系統(tǒng); B、石化、環(huán)保、空氣壓縮; C、樓宇自動(dòng)化、恒壓供水系統(tǒng); 中北大學(xué) 20xx屆畢業(yè)設(shè)計(jì)說(shuō)明書 第 27 頁(yè) 共 33 頁(yè) D、工業(yè)過(guò)程檢測(cè)與控制;實(shí)驗(yàn)室壓力校驗(yàn) F、電站運(yùn)行巡檢、機(jī)車制動(dòng)系統(tǒng); E、城市管網(wǎng)、油田管道、大小型水電站壓力測(cè)控 PY206 供液管水壓傳感器主要參數(shù) 被測(cè)介質(zhì): 氣體、液體及蒸氣(弱腐蝕性) 壓力類型: 表壓 量 程: ~ 60 Mpa~ 120 Mpa 間任意可選(量小量程為,量大量程為 120MPa) 輸 出: 4~ 20mA(二線制)、 0~ 5VDC、 0~ 10VDC、 ~ (三線制) 綜合精度: 177。 ② 蝶閥啟閉的力矩小于閘閥,開(kāi)啟更簡(jiǎn)便容易。 另外,在閥門安裝時(shí)要考慮到電動(dòng)閥和手動(dòng)閥的配合使用,這樣更有利于供液系統(tǒng)安全穩(wěn)定的運(yùn)行。 ② 零流量附近存在水泵調(diào)速運(yùn)行的“低效區(qū)”,必須輔以其他措施才能達(dá)到節(jié)能目的。所以 . 目前在工程實(shí)際中大多采取水泵出口恒壓控制。 ⑧ 確定泵的臺(tái)數(shù)和備用率: 對(duì)正常運(yùn)轉(zhuǎn) 的泵,一般只用一臺(tái),因?yàn)橐慌_(tái)大泵與并聯(lián)工作的兩臺(tái)小泵相當(dāng),(指揚(yáng)程、流量相同 ),大泵效率高于小泵,故從節(jié)能角度講寧可選一臺(tái)大泵,而不用兩臺(tái)小泵,但遇有下列情況時(shí),可考慮兩臺(tái)泵并聯(lián)合作: 流量很大,一臺(tái)泵達(dá)不到此流量。 第二種:交點(diǎn)在特性曲線下方,在泵特性曲線扇狀梯形范圍內(nèi) ,就初步定下此型號(hào),然后根據(jù)揚(yáng)程相差多少,來(lái)決定是否切割葉輪直徑,若揚(yáng)程相差很小,就不切割,若揚(yáng)程相差很大,就按所需 Q、 H、根據(jù)其
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