【正文】 進(jìn)電子通信技術(shù)，電子通訊技術(shù)和過(guò)濾技術(shù)提出了更高的發(fā)展要求。為了保證基板上布線正確，必須對(duì)基板上每個(gè)網(wǎng)絡(luò)中的所有焊區(qū)進(jìn)行導(dǎo)通 測(cè)試和對(duì)不同的網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行隔離測(cè)試。 (7)切割 切 割是指將燒結(jié)前 ，在考慮收縮率的問(wèn)題下將經(jīng)過(guò)熱壓后的 疊層瓷片 按事先設(shè)計(jì)好的切割尺寸依次切割成單個(gè)元器件的過(guò)程。絲網(wǎng)印刷圖形和打印孔， 生瓷帶通過(guò)多孔石的真空吸氣達(dá)到固定目的，可以采用影像或機(jī)械方式對(duì)其進(jìn)行對(duì)位。導(dǎo)體生片填充法是將厚度略大于陶瓷生帶的導(dǎo)體生片 沖成通孔以達(dá)到金屬化 的目的 。50um，最小的孔直徑一般 高于 ， 在 鉆更小通孔時(shí)，鉆頭 極 易折 損 ，鉆孔成本昂貴；沖孔的速度大于鉆孔 的 速度， 可 根據(jù)沖床的不同和所沖孔的復(fù)雜程度而有所變化， 所沖出的 孔徑小于鉆孔 孔徑 并且精度很高， 可謂是 很好的打孔方法；激光法打孔精度和孔徑都介于鉆孔和沖孔之間，但其打孔速度為最高，且所打孔易于形成盲孔，故是最理 想的打孔方法。這 樣就能 獲得致密 、 均勻且韌性 十足的流延 膜帶。 LTCC 技術(shù)不僅是新的 EMI / EMC（電磁干擾） 組件 的主流制造技術(shù) 。射頻和微波的無(wú)線通信領(lǐng)域是 LTCC 組件的應(yīng)用，包括以下幾個(gè)方面 [6]： (1) LTCC 基本元器件 ：如 LTCC 電感 、 電阻 、 電容等， 可實(shí)現(xiàn)在不同場(chǎng)合的單獨(dú)使用和作為 LTCC 技術(shù)應(yīng)用于電路基本元件。 (4) LTCC 技術(shù)具有良好的熱導(dǎo)率和溫度特性， 有較小的共振頻率溫度系 和數(shù)較小的熱膨脹系數(shù)。 LTCC 具有最大限度的密度增加 和互連布線長(zhǎng)度盡可能短的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了小型化，高密度電路理想基片布線，它 提供了比傳統(tǒng) 厚膜 、 薄膜混合集成技術(shù)更靈活的設(shè)計(jì)方式 [5] 。 第 2 頁(yè) 共 25 頁(yè) 2 低通濾波器已被廣泛應(yīng)用到各種類(lèi) 型的通信系統(tǒng)，諸如個(gè)人無(wú)線通信，汽車(chē)電子，衛(wèi)星導(dǎo)航，彈道指導(dǎo)等 ， 它 是現(xiàn)代射頻系統(tǒng)中不可缺少的元器件， 其性能的好壞 對(duì)整個(gè)通信系統(tǒng)的質(zhì)量有著重要的影響。這就意味著 研制出具有體積小、可靠性高、高性能、延時(shí)小、低成本等微波濾波器具有重要的意義。絲網(wǎng)印刷在電子工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 LTCC 技術(shù)在微波濾波器設(shè)計(jì)中的應(yīng)用，加速了濾波器由平面電路向多層電路方向發(fā)展，這一技術(shù)的應(yīng)用極大地減小了器件體積。其發(fā)展趨勢(shì)由傳統(tǒng)的分立式、表面貼裝式轉(zhuǎn)化為現(xiàn)在的集成式模塊化。因此， LTCC 濾波器 的 研究是極 具 必要 性 和迫切 性 的。 LTCC低溫共燒陶瓷技術(shù)是將配已制好的低溫?zé)Y(jié)陶瓷粉通過(guò)流延工藝制成厚度精確且質(zhì)地致密的生瓷帶 ,然后以填充孔，孔平，精密印刷線，實(shí)時(shí)監(jiān)控過(guò)程的關(guān)鍵線，需精密電路圖案的系統(tǒng)，以及多個(gè)嵌在其中的無(wú)源元件，層疊在一起并燒結(jié)在約 850℃ ，制成三維無(wú)源集成電路網(wǎng)絡(luò)組件，或者它可以被 制作成 內(nèi)置到在其表面上的三維電路板的無(wú)源元件和有源器件 從而 制成無(wú)源 /有源集 成功能模塊。 此外， LTCC 技術(shù)在很多方面 與傳統(tǒng)的 集成電路 技術(shù)相比較 有著明顯的優(yōu)勢(shì) ，可歸 納 總 結(jié) 如下 [5,6]： (1) 不同的材料配比 ,可混合出多種介電常數(shù)的 LTCC 材料 ,使得電路設(shè)計(jì)具有一定的靈活性 。 LTCC 技術(shù)可以整合 組件 類(lèi)型之多、 參數(shù)范圍 之 大，從電感 、電容 、 電阻 ，對(duì)敏感元件 、 電磁干擾抑制器件 、 電路保護(hù)元件等 集成 在一起 ， 制作完成之后 可以直接作為 VLSI、 LSI、 IC 等的封裝基板。 目前中國(guó)大陸的 LTCC射頻元器件生產(chǎn)企業(yè)主要有順絡(luò)電子、磊德科片式、 麥捷科技和嘉興佳利等四家企業(yè)。 圖 LTCC工藝流程 (1) 流延 流 延 工藝包括配料 、 真空 除 氣 和流延三 個(gè)過(guò)程。 通孔質(zhì)量的好壞直接影響布線的密度和通孔金屬化的質(zhì)量，通孔過(guò)大或過(guò)小都不易形成盲孔 。 填孔是制造 LTCC 基板 中 的關(guān)鍵工藝之一，其方法有三種：厚膜印刷、絲網(wǎng)印刷（ Screen Printing）和導(dǎo)體生片填充法。采用 LTCC 基板技術(shù) 雖然 可以把線和 線 間距做 到 很細(xì)，但成本會(huì)增加，所以要加以考慮。 模具是最好用硬質(zhì)材料加工， 以 防止 在經(jīng)過(guò)多次使用后發(fā)生 變形。 b、檢查基板的電氣性能如電性能、電阻、特性阻抗等， 以驗(yàn)證基板布線的連接性 。過(guò)濾器具有廣泛的在電路中，它允許信號(hào)到一個(gè)或多個(gè)頻率和平穩(wěn)運(yùn)輸通過(guò)，也可以是一個(gè) 或多個(gè)有效衰減內(nèi)的信號(hào)的頻率，簡(jiǎn)單地說(shuō)應(yīng)用，是一種過(guò)濾器的頻率選擇性設(shè)備。 3）其它類(lèi)別包括：分類(lèi)根據(jù)工作（例如反射，吸收等等），根據(jù)負(fù)荷類(lèi)型（如單端雙終端等），根據(jù)帶尺寸類(lèi)別（如寬帶，窄帶等）。其次是預(yù)先合成傳遞函數(shù)電路。由于使用了不同的逼近函數(shù)，一般集成巴特沃斯，Chehyshev 全面，橢圓函數(shù)濾波器的設(shè)計(jì)和集成方法。其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作容易， 所需數(shù)據(jù) 有現(xiàn)成公式表格可查， 美中不足是 在微波低端體積大。 第 14 頁(yè) 共 25 頁(yè) 14 圖 LTCC濾波器的設(shè)計(jì)流程 第 15 頁(yè) 共 25 頁(yè) 15 電路設(shè)計(jì)與仿真 濾波器的主要設(shè)計(jì)指標(biāo)如下： 截止頻率： ；； 帶內(nèi)插損：小于 2dB； 回波損耗：小于 13dB； 帶外抑制： 30dB（ ）； 下圖 是本文中根據(jù)上述指標(biāo)設(shè)計(jì)的一款低通濾波器的電路圖，在構(gòu)建了電 路圖之后，要用相關(guān)的電路仿真軟 (ADS)件對(duì)其進(jìn)行仿真，并查看相關(guān)的參數(shù)是否滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求。之后就可以根據(jù)計(jì)算的尺寸建立大致的模型，并設(shè)計(jì)一些變量，便于再進(jìn)行反復(fù)微調(diào)，以獲得比較精準(zhǔn)的結(jié)果。 本文 正是基于這樣的一個(gè)背景下，開(kāi)始本次 LTCC 濾波器的設(shè)計(jì)工作。 第 21 頁(yè) 共 25 頁(yè) 21 參考文獻(xiàn) [1]. The Future of Integrated Electronics,Fairchild Semiconduetor. 1965. [2l 吳國(guó)安 ,徐勤芬 ,湯清華 ,劉浩斌 .基于 LTCC 技術(shù)的藍(lán)牙巴倫設(shè)計(jì) .微波學(xué)報(bào) , ,(s):5557. [3] 董兆文， LTCC 基板制造工藝研究 .[J].電子元件與材料， 1998， 17(5)： 2427。 第 20 頁(yè) 共 25 頁(yè) 20 致 謝 本論 文是 在 王靜導(dǎo)師的悉心指導(dǎo)下完成的， 從 論文的選題、框架的設(shè)計(jì)， 到最后的 修改定稿， 無(wú)一不傾注了 王老師 的 心血。圖中的電容的長(zhǎng)度和寬度以及電感的長(zhǎng)度都設(shè)為變量，以方便調(diào)整，最后得出最優(yōu)的結(jié)果。 第 16 頁(yè) 共 25 頁(yè) 16 m1f r e q =d B ( S ( 2 , 1 ) ) = 2 . 9 9 1 E 43 . 8 0 1 G H zm2f r e q =d B ( S ( 1 , 1 ) ) = 2 0 . 7 8 13 . 6 3 1 G H zm3f r e q =d B ( S ( 2 , 1 ) ) = 4 7 . 4 6 34 . 3 5 0 G H z2 3 4 5 6 7 8 91 10 1 5 0 1 0 0 5 00 2 0 050f r e q , G H zdB(S(1,1))3 . 6 3 1 G 2 0 . 7 8 m2dB(S(2,1))R e a d o u tm1m3 圖 低通濾波器幅頻特性 由上圖可以看出此款低通濾波器的截止頻率在 1GHZ 附近，通帶內(nèi)的插入損耗小于 ，回波損耗大于 20dB，阻帶內(nèi)信號(hào)大幅衰減分別在 和 附近出現(xiàn)一個(gè)衰減極點(diǎn)，在 頻段插損大于 22dB。 LTCC 微波濾波器的設(shè)計(jì)包括 諸多方面， 電磁性能設(shè)計(jì)、應(yīng)力設(shè)計(jì)和熱設(shè)計(jì)等 都在考慮范圍之內(nèi) ，其中 最為關(guān)鍵 的便是 電磁性能設(shè)計(jì) 。 原型濾波器的設(shè)計(jì)方法是微波濾波器的設(shè)計(jì)方法現(xiàn)在廣泛應(yīng)用，所謂原型濾波器的設(shè)計(jì)方法是一個(gè)低通濾波器作為原型，以獲得所需的濾波器由頻率轉(zhuǎn)換值的電抗元件，然后通過(guò)相應(yīng)的集總的或分布式實(shí)現(xiàn)元素。分布參數(shù)的方法是基于在插入衰減和插入相移函數(shù) ，直接應(yīng)用理論來(lái)確定傳輸線或波導(dǎo)結(jié)構(gòu)微波濾波器元件。已經(jīng)出現(xiàn)了各種結(jié)構(gòu)的多層介質(zhì)濾波