液晶顯示器原理與制程概論-文庫吧在線文庫
【正文】 Module 製程 出貨檢查 ARRAY陳列 COG: Chip On Glass OLB : Outer Lead Bonding(外引腳接合 ) Array 製程 玻璃基板投入 清洗 薄膜沈積 塗布光阻 曝光 顯影 蝕刻 光阻剝離 測試 循環(huán) 利用電漿內(nèi)高能量的電子 ,撞擊製程之 氣體分子 ,於加熱的基板表面起化學(xué)反 應(yīng)並形成固態(tài)沈積 (PECVD) 以旋轉(zhuǎn)基板的方式 ,在基板上均勻塗 布光阻 基板分八次步進(jìn)式曝光 ,利用紫外光 照射 ,將光罩圖案複製在光阻基板上 用顯影液將曝光過的光阻去除 乾蝕刻 ,利用氣化的腐蝕劑或離子撞 擊來進(jìn)行蝕刻 用剝膜液將完成蝕刻基板上之光阻 去除 玻璃投入 玻璃清洗 噴灑管嘴 薄膜沈積 薄膜電晶體 塗布光阻 光罩 曝光 顯影 Spray Nozzle 蝕刻 光阻剝離 噴灑管嘴 Cell 製程 配向膜 (PI)印刷 定向 (Rubbing) 清洗 塗布銀膠點 基板組立 液晶注入 注入口封止 活化 (Anneal) Cell終檢 清洗 塗布框膠 間隙子散布 彩色濾光片 投入 Array基板 投入 運用滾輪及凸版將配向膜 PI轉(zhuǎn)印至基板設(shè)計之位置上 ,使液晶站立在固定位置 利用特定的配向布在 PI膜刮出一道道淺痕 ,以利液晶分子統(tǒng)一排列方向 粘接對位組立後之上下基板 ,及框出液晶注入之範(fàn)圍 導(dǎo)通 TFT基板 Gate側(cè)之 Common電極與 CF之Common電極 ,使兩者等電位 注入液晶於面板內(nèi)及將注入口以 UV膠 塗封 液晶再配向 ,使液晶晶格排列均一化 PI 膜印刷 Anylox Roller 印刷 Roller Glass 基板 基座 PI 噴嘴 Doctor Plate 基板行進(jìn)方向 印刷凸板 IR 板 石英基板 Glass 基板 IR 板 石英基板 Glass 基板 IR 板 石英基板 Glass 基板 硬烤 CF Rubbing 方向 (基板在上 ) 定向 (Rubbing) Glass 基板 Rubbing 角度 45度 基座行進(jìn)
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