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正文內(nèi)容

pecvd等離子的基本原理-文庫(kù)吧在線文庫(kù)

  

【正文】 四態(tài) . PECVD的原理 ? 工作原理: Centrotherm PECVD 系統(tǒng)是一組利用平行板鍍膜舟和高頻等離子激發(fā)器的系列發(fā)生器。 PECVD的原理 3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2↑ ? Si3N4的認(rèn)識(shí) : Si3N4膜的顏色隨著它的厚度的變化而變化,其理想的厚度是 75— 80nm之間,表面呈現(xiàn)的顏色是深藍(lán)色, Si3N4膜的折射率在 —,與酒精的折射率相乎,通常用酒精來(lái)測(cè)其折射率。 ? 加熱系統(tǒng):位于石英管外,有五個(gè)溫區(qū)。 ? Alarms:警報(bào)內(nèi)容 ? Help:簡(jiǎn)要的說(shuō)了一下解除警報(bào)以及其他方面的方法 ? CESAR:控制電腦,每一個(gè)系統(tǒng)都安裝了 CESAR控制電腦及 CESAR 控制軟件,此控制電腦獨(dú)立于主電腦系統(tǒng)中。 ? 蝶閥:可以根據(jù)要求控制閥門(mén)的開(kāi)關(guān)的大小,來(lái)調(diào)節(jié)管內(nèi)氣壓的 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu) 控制系統(tǒng) CMI:是 Centrotherm 研發(fā)的一個(gè)控制系統(tǒng),其中界面包括 Jobs(界面) 、 System(系統(tǒng)) 、Catalog(目錄)、 Setup(軟件)、 Alarms(報(bào)警)、Help(
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