傳感器新技術(shù)ppt課件-文庫吧在線文庫
【正文】 智能化傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 單軸加速度傳感器 ? 三軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 智能化傳感器 傳感器技術(shù)智能化的含義 基本傳感器 智能化傳感器中的軟件 典型應(yīng)用 發(fā)展前景 ? 自補償功能：如非線性、溫度誤差、響應(yīng)時間、 噪聲、交叉耦合干擾等。 Optoelectro. Eng. 被測壓力被測壓力提供參考信號的光敏二極管提供被測壓力信號的光敏二極管V m被測壓力信號比例積分式A / D 轉(zhuǎn)換器參考信號數(shù)字I / Oμ PPROM D/Aβ+V pV re fα零位調(diào)整A re f A p提供參考信號的光敏二極管提供被測壓力信號的光敏二極管滿量程調(diào)整遮光片(a)(b)圖15. 光 電式智能化壓力傳感器? 光電式智能化壓力傳感器 典型應(yīng)用 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 第 1講：緒 論 第 2講：傳感器的輸入輸出特性 第 3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第 4講：幾種典型的模擬式傳感器 第 5講：諧振式傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第 7講：總 結(jié) ? 課 程 內(nèi) 容 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 發(fā)展前景 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 ? 數(shù)字量輸出或總線式輸出功能 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖? 敏感結(jié)構(gòu)
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