壓力變送器橫河川儀含dcs-文庫吧在線文庫
【正文】 Iout(p): 高靜 壓時輸 出 Iout(0)=frfc Iout(p)=(fr?fr)(fc ?fc) =(frfc)(?fr ?fc) =Iout(0)(?fr ?fc) ∵ ?fr= ?fc ∴ Iout(p)=Iout(0) 故：靜 壓對輸 出沒有影響 YOKOGAWA SICHUAN Si諧振 傳感器無滯后性 滯后性成為變送器開發(fā)商要解決的重要問題？ 傳 感 器 類 型 其 它 硅 諧 振 滯后大 無 滯 后 傳感器性能補償 補償內(nèi)容 非智能 全智能 滯 后 性 靜壓影響 △ √ 溫度影響 △ √ 非 線 性 △ √ △ ： 可以補償［硬件補償］ √：精確補償［軟件補償］ ：不能補償［滯后性無規(guī)律］ YOKOGAWA SICHUAN % 室溫滿刻度時的誤差 年 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 + 0 無條件保證 5年 177。 例： DDZ ―Ⅲ、 1151 、 PMC133 等 是非智能變送器 。 % ◆ 寬量程比： 100:1 即型號規(guī)格少 。 ◆ 變送器可線性和開方輸出 ， 開方輸出時相當(dāng)于流量變送器 ， 即型號規(guī)格少 、 可省去開方器 。 % ＠ 1MPa 質(zhì) 量流量：177。工作壓力 : ≤ 42 MP a ◆ 無須三閥組直接引壓 ◆ 高壓側(cè) H和低壓側(cè) L可互換 ， 密封等級： IP 67。 ◆ 全智能變送器： 變送器性能 （ 精確度誤差 、 溫度影響 、 靜壓影響和過壓影響等 ） 由常規(guī)硬件 補償改為傳感器與數(shù)字軟件補償 。如果不正常，故障現(xiàn)象、故障原因及所需采取措施均可在手操器上顯示出來。實際上，壓力變送器也是一種差壓變送器，只是低壓側(cè)壓力換成了參考壓力，根據(jù)參考壓力的不同，壓力變送器測量類型分為： 表壓力（含負(fù)壓力） Gauge Pressure(GP)： 參考壓力為當(dāng)?shù)卮髿鈮?，一般就簡稱為壓力變送器； 絕對壓力 Absolute Pressure(AP)： 參考壓力為真空；在壓力值后加” abs” 或” A” 表示，如： 80kPa A或 80kPa abs，表示絕壓 80kPa YOKOGAWA SICHUAN 最新壓力傳感器技術(shù) 單 晶硅 諧 振式 傳 感器 利用 微 電 子機械加工技 術(shù) 傳感器 硅片 電子顕微鏡寫真 YOKOGAWA SICHUAN Si諧振傳感器制作工 程 P++ P+ P++ N+ ④ 封注外延及退火 振動子 (100)N型 Si Sio2(600nm ① 切除氧化膜及 HCL煤氣腐蝕 ② 選擇性外延及去除氧化膜 ③ 選擇性腐蝕 YOKOGAWA SICHUAN EJA變送器的原理 YOKOGAWA SICHUAN 振動子 勵振端子 検出端子 ダイアフラムチップ 振動子 真空室 シェル ダイアフラム チップ 振動子 中心膜片 （マル???????鋼） 傳感器 ＳＵＳ３１６Ｌ Ｌ側(cè) ＢＯＤＹ ＳＵＳ３１６鍛造 ＲＩＮＧ 驅(qū)動板 傳感器 ＡＳＳＹ シリコーンオイル 封入液 信號????? ＳＵＳ３１６Ｌ鍛造 Ｈ側(cè) ＢＯＤＹ C 密封膜片 （ハステロイＣ） Ni=BAL 60% Cr=% Mo=16% W=% Fe=% ets EJA變送器受壓部的構(gòu)造 YOKOGAWA SICHUAN Si諧 振傳感器結(jié)構(gòu) 2個 Si諧振傳感器 Si諧振器 H型 Si諧振器 Si片 YOKOGAWA SICHUAN Si諧振傳感器起振原理 永久磁鐵 激勵電路 電磁力方向 頻率輸出 Si H 型諧振傳感器 Si片 磁場 Si傳感器 YOKOGAWA SICHUAN 壓縮 拉伸 過程壓力 永久磁鐵 Si片 隔離墊片 Si諧振器 基體 Si諧振傳感器壓力轉(zhuǎn)換 YOKOGAWA SICHUAN 差壓下的諧振頻率變化 110 100 90 80 70 5,000 10,000 差壓 (mmH2O) 頻率 (kHz) 傳感器 Fr Fc YOKOGAWA SICHUAN 傳感器復(fù)合特性 R . . f1 f2 f1 f2 = 與差壓成正比 f1 + f2 = 與靜壓成正比 R = 與溫度成正比 YOKOGAWA SICHUAN 60年代 80年代 力平衡式 90年代 電容式 壓阻式 硅諧振式 70年代 新時代傳感器 YOKOGAWA SICHUAN １ PV １ PV模擬信號 ＋ 遠程設(shè)定 自診斷功能 檢測功能 單向＋雙向 多個 PV 、 MV 數(shù)字信號 ＋ 遠程設(shè)定 高級診斷 多功能 雙向通信 EJA新時代變送器 『 智能化技術(shù) 』 模數(shù) 1983 總線 1996 模擬 1960 YOKOGAWA SICHUAN DPharp 消除了 A
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