傳感器與檢測技術(shù)課件第二章-4光柵-文庫吧在線文庫
【正文】 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵數(shù)字傳感器是干什么的 ？ 主要用于 線位移 和 角位移 的測量 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 長光柵 圓光柵 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 什么是光柵 ？ 在鍍膜玻璃上均勻刻制許多有明暗相間 、 等間距分布的細小條紋（ 又稱為刻線 ） ， 這就是 光柵 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 若光柵柵距為 W，兩個相鄰 莫爾條紋的間距為 BH（即 莫爾條紋中兩條暗紋或兩條 亮紋之間的距離）則有 2( si n / 2)HWWB????莫爾條紋 這里 θ 是弧度，如果夾角 為 ，則 θ =*π , 則 BH=573W,相當于把柵 距放大了 573倍。 例 W=, 接收元件尺寸 10 10mm2,在 10mm范圍內(nèi)有 500條刻線參與工作 ， 某幾條刻線 誤差對莫爾條紋位置和形狀基本 無影響 。光柵移動一個柵距 W，光強變化一個周期。每當亮帶通過光敏元件時，有一個相應(yīng)的電信號輸出。 ?細分后可以在不增加刻線數(shù)的情況下較大地提高光柵的分辨力。 4*= 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 四倍細分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為 50線 /mm,當用 4個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時 ,則分辨率為（ ） 分辨率是一個光柵柵距，即 1/50=，若用四個光電元件，即經(jīng)過四倍細分后，則光柵柵距為分辨力的 4倍。 每個脈沖分別和四個周期信號的零點相對應(yīng) ， 則電脈沖的周期反應(yīng)了 1/4個莫爾條紋寬度 。測角精度可達 ”，分辨力可達 ”，甚至更高。 ? 透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高時，可以采用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。 WxUUU m ?2s in0 ??其電壓為： 莫爾條紋的特點 當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時， 莫爾條紋的光強度隨條紋移動近似 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 莫爾條紋的特點 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 ? 當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。 莫爾條紋的特點 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 莫爾條紋的位移與光柵的移動成 比例： 光柵每移動一個柵距 W，
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