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三層貨運(yùn)電梯曳引機(jī)及傳動系統(tǒng)設(shè)計(jì) 10/29 14:08 上蓋的工工藝規(guī)程及鉆 10/04 13:45 五噸單頭液壓放料機(jī)的設(shè)計(jì) 10/04 13:44 五噸單頭液壓放料機(jī)設(shè)計(jì) 09/09 23:40 儀表外殼塑料模設(shè)計(jì) 09/08 20:57 傳動蓋沖壓工藝制定及沖孔模具設(shè)計(jì) 09/08 21:00 傳動系統(tǒng)測繪與分析設(shè)計(jì) 10/07 23:46 保護(hù)罩模具結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 09/20 15:30 保鮮膜機(jī)設(shè)計(jì) 10/04 14:35 減速箱 體數(shù)控加工工藝設(shè)計(jì) 10/04 13:20 鑿巖釬具釬尾的熱處理工藝探索設(shè)計(jì) 09/08 21:33 分離爪工藝規(guī)程和工藝裝備設(shè)計(jì) 10/30 15:26 制定左擺動杠桿的工工藝規(guī)程及鉆 Ф12孔的夾具設(shè)計(jì) 10/29 14:03 前蓋板零件的工藝規(guī)程及鉆 8M16 深 29 孔的工裝夾具設(shè)計(jì) 10/07 08:44 加油機(jī)油槍手柄護(hù)套模具設(shè)計(jì) 09/20 15:17 加熱缸體注塑模設(shè)計(jì) 10/07 09:17 動模底板零件的工藝規(guī) 程及鉆 Φ52孔的工裝夾具設(shè)計(jì) 10/08 20:23 包縫機(jī)機(jī)體鉆孔組合機(jī)床總體及夾具設(shè)計(jì) 09/21 15:19 升板機(jī)前后輔機(jī)的設(shè)計(jì) 09/09 22:17 升降式止回閥的設(shè)計(jì) 09/22 18:52 升降桿軸承座的夾具工藝規(guī)程及夾具設(shè)計(jì) 09/09 16:41 升降杠桿軸承座零件的工藝規(guī)程及夾具設(shè)計(jì) 08/30 15:59 半自動鎖蓋機(jī)的設(shè)計(jì)（包裝機(jī)機(jī)械設(shè)計(jì)） 08/30 15:57 半軸零件的機(jī)械加工工藝及夾具設(shè)計(jì) 10/29 13:31 半軸零件鉆 6Φ14孔的工裝夾具設(shè)計(jì)圖紙 09/26 13:53 單吊桿式鍍板系統(tǒng)設(shè)計(jì) 08/30 16:20 單級齒輪減速器模型優(yōu)化設(shè)計(jì) 35 08/30 16:24 單繩纏繞式提升機(jī)的設(shè)計(jì) 09/09 23:08 臥式加工中心自動換刀機(jī)械手設(shè)計(jì) 09/08 22:10 厚板扎機(jī)軸承系統(tǒng)設(shè)計(jì) 09/18 20:56 叉桿零件的加工工藝規(guī)程及加工孔 Φ20的專用夾具設(shè)計(jì) 08/30 19:32 雙 臥軸混凝土攪拌機(jī)機(jī)械部分設(shè)計(jì) 09/09 22:33 雙模輪胎硫化機(jī)機(jī)械手控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) 09/09 22:32 雙輥驅(qū)動五輥冷軋機(jī)設(shè)計(jì) 09/08 20:36 變位器工裝設(shè)計(jì) 普通座式焊接變位機(jī) 09/28 16:50 疊層式物體制造快速成型機(jī)機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì) 09/08 22:41 可急回抽油機(jī)速度分析及機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì) 09/08 22:42 可移動的墻設(shè)計(jì)及三維建模 10/04 13:25 右出線軸鉆 2Ф8夾具設(shè)計(jì) 10/04 13:23 右出線軸鉆 6Ф6夾具設(shè)計(jì) 09/08 22:36 咖啡杯蓋注塑模具設(shè)計(jì) 10/07 08:33 咖啡粉枕式包裝機(jī)總體設(shè)計(jì)及橫封切斷裝置設(shè)計(jì) 09/09 16:15 啤酒貼標(biāo)機(jī)的設(shè)計(jì)（總體和后標(biāo)部分的設(shè)計(jì)） 10/29 13:58 噴油泵體零件的工藝規(guī)程及鉆 Φ14通孔的工裝夾具設(shè)計(jì) 08/30 19:39 四工位的臥式組合機(jī)床設(shè)計(jì)及其控制系統(tǒng)設(shè)計(jì) 09/21 13:39 四方罩模具設(shè)計(jì) 08/30 19:42 四組調(diào)料盒注塑模具設(shè)。 同時(shí)，論文的順利完成 也 離不開其它 的 老師、同學(xué)和 朋友的關(guān)心 以和 幫助。在設(shè)計(jì)方案選取上，定齒偏置由于其橫向尺寸較小，敏感軸方向尺寸較大，鍵合塊少，單塊鍵合面積大，大大降低了鍵合難度，接觸電阻小而均勻，而且加工難度小，分辨率卻較大，精度也高，表現(xiàn)出優(yōu)良的綜合性能。 電容式加速度傳感器的設(shè)計(jì)已經(jīng)相當(dāng)成熟 ， 但人們沒有停下探索的腳步。 仿真和波形觀察 用 Tspice 做 電路模擬和 仿真 ，繼而可用 WEdit 觀察相關(guān)波形。 梳齒結(jié)構(gòu) 作為加速度傳感器中最為重要的一個(gè)結(jié)構(gòu)，梳齒結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和質(zhì)量將直接影響加速度傳感器的 靈敏度和分辨率， 它的合理性對傳感器的使用壽命和失效可能，都將產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。 27 圖 加速度傳感器的結(jié)構(gòu)圖 圖 工藝過程圖片 28 5 計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)與仿真 MEMESPRO軟件環(huán)境 MEMSPRO 是一款微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和仿真軟件，在硅微機(jī)械加速度傳感器的相關(guān)理論和硬件設(shè)計(jì)完成以后，即可以運(yùn)行該軟件，在該軟件環(huán)境下進(jìn)行加速度傳感器的相關(guān)部件設(shè)計(jì)與仿真， 完成設(shè)計(jì)以后，可以進(jìn)一步設(shè)計(jì)傳感器電路，對整塊結(jié)構(gòu)進(jìn)行波形仿真。鍵合溫度約為 350℃，鍵合電壓為 1100V，兩英寸的硅片鍵合時(shí)間不到 2min，鍵合后如圖（ c）所示。考慮到上下電極在測量大的加速度時(shí)可能會接觸的情況，所以在金屬電極上通過PLCVD 熱生長 2021 埃的 Si3N4 作為絕緣層。通過測量出電容器電容的變化就可相應(yīng)得出膜的受力情況，進(jìn)一步得出被測物體的加速度。下面的工藝步驟中就用到濺射的一種 — 磁控濺射。濺射的臺階覆蓋比蒸發(fā)好，輻射缺陷遠(yuǎn)少于電子束蒸發(fā)，在制作復(fù)合材料膜和合金時(shí)性能更好，這些優(yōu)點(diǎn)使得濺射金屬淀積技術(shù)成為大多數(shù)硅基工藝的最佳選擇。通過從一種惰性物中產(chǎn)生反應(yīng)粒子，這種工藝的等離子體被用來開始并結(jié)束化學(xué)反應(yīng)或刻蝕。 MMES的飛速發(fā)展是與其相關(guān)的制造加工技術(shù)的進(jìn)展分不開的，除了包含微電子集成電路工藝中的圖形制作技術(shù)、硅片氧化及薄膜淀積等技術(shù)外，要構(gòu)成 MEMS 的各種特殊的結(jié)構(gòu)，還必須用一系列特殊的工藝技術(shù)，它們主要是：體微加工技術(shù)；表面微加工技術(shù)；高深寬比微加工技術(shù)；組裝與鍵合技術(shù)以及超精密加工技術(shù)等。傳統(tǒng)的制造業(yè)依賴大量的關(guān)鍵機(jī)械設(shè)備和相關(guān)的工藝，其機(jī)械 方法以日本為代表，日本研究 MEMS 的重點(diǎn)是超精密機(jī)械加工，它更多的是傳統(tǒng)機(jī)械加工的微型化，這種加工方 法利用大機(jī)器制造微機(jī)器，可以用于加工一些在特殊場合應(yīng)用的微機(jī)械裝置，例如微型機(jī)械手、微型工作臺等。示意圖如圖 。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)缺陷包括止擋設(shè)計(jì)缺陷、梁的設(shè)計(jì)缺陷、齒的設(shè)計(jì)缺陷等。39。AD 的剛度為： (27) 此時(shí)，折疊梁相當(dāng)于兩個(gè)雙端固定直梁 AD 和 39。 39。由對稱性可知，只需要分析一側(cè)的梁就可以了。 表 常見微結(jié)構(gòu)梁性能特點(diǎn)比較 類型 檢測模態(tài)剛度 交叉耦合 有無應(yīng)力釋放作用 主要特點(diǎn) 工藝要求 懸臂梁 小 小 有 剛度小 雙面光刻 雙端固定梁 較大 小 無 結(jié)構(gòu)簡單 無 L梁 1 較大 大 有 節(jié)省面積 無 L梁 2 較大 較大 有 介于折疊梁和雙端固定梁之間 無 魚鉤梁 小 大 有 前兩階模態(tài)剛度較小 無 蛇形梁 小 大 有 梁軟，振幅大 無 斜置梁 較大 大 無 前兩階模態(tài)頻率相差較小，不受加工誤差影響 無 折疊梁 較小 較小 有 綜合性能較好 無 通過比較我們看出，折疊梁的綜合性能較好。微機(jī)械電容式加速度計(jì)常用的梁結(jié)構(gòu)主要有懸臂梁、雙端固定梁、 L 形梁、魚鉤梁、蛇形梁及斜置梁等。每一個(gè)動齒與兩 側(cè)相鄰的定齒之間的間距分別為 0d 和 0D ， 0D 和 0d 比值大于 5： 1 以上，主要敏感距離小的一側(cè)形成的電容量，可忽略距離大的一側(cè)的電容量。下面結(jié)合上述一些分類及特點(diǎn)，利用實(shí)例做一些典型分析。梳齒式微加速度計(jì)是梳齒式微加速度計(jì)具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)相對簡單、功耗比較低、直流特性好等特點(diǎn) ，但是容易受到電磁干擾。 在這方面的研究上，美國 Litton 公司、德國 Litef 公司、瑞士 Neuchatel大學(xué)以及日本日立公司和東北大學(xué)均采用體加工法，分別研制成功該結(jié)構(gòu) g? 級的高精度微機(jī)械加速度計(jì)，表頭為玻璃 — 硅 — 玻璃或硅 — 硅 — 硅三明治結(jié)構(gòu)。并能有效地用相關(guān)的電物理量（如電容量）測定出來?？山?似認(rèn)為波導(dǎo) 3 截面上的光入射角不隨加速度的大小變化，耦合到波導(dǎo)3 的光強(qiáng)僅同二者正對截面大小有關(guān)，通過測量波導(dǎo) 3 光強(qiáng)的變化，可以得到相應(yīng)的加速度值。而且，這 4 條諧振梁也可以同時(shí)用作支撐作用而省去原來的支撐梁，從而增加了檢測的靈敏度。（ 2）要有足夠高精