【正文】 光阻涂布時對芯片表面之附著力 Humidity 濕度 I/O (Input / Output) 輸入 /輸出 ID (Identity) 識別碼 (如 Lot ID or Chip ID) Instruction 命令 ,指令 Interbay 作業(yè)區(qū)和作業(yè)區(qū)之間 Intrabay 作業(yè)區(qū)之內(nèi) IRIF (InfraRed InterFace) 紅外線界面 Jig Press Jig 壓合 Laminar flow 層流（流體力學(xué)名詞） LCD (Liquid Crystal Display) 液晶顯示器 Lot 指生產(chǎn)在線的在制品或產(chǎn)品 ,簡稱「貨」 Note 批注 Operation 作業(yè) ,操作 Overlay 重合精度，衡量 Gate層外的其他各層與 Gate層重合的程度 Particle 微粒子 Particle Counter 灰塵顆粒檢測機(jī) Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 工程名詞 用語 用語說明 備注 PE (Plasma Etch) 電漿蝕刻機(jī) PinHole 針點(diǎn)小凹陷 Pixel 像素 *注 . Polarizer Lamination 偏光片貼合 Precaution 預(yù)防措施 Pressure 壓力 Process 制程 Production 生產(chǎn) Prohibit 禁止 PS (Photo Spacer) 功能與普通的 Spacer相同 , 一般用于大尺寸產(chǎn)品 , 且可得到較好的 cell gap Purge 用 CF或 NF系列的氣體通入 CVD清除器壁累積的硅 PVX ： Passivation 鈍化層 Quality 品質(zhì) Radical 活性粒子 Recipe 程序 ,制程參數(shù) Release 將 hold住的貨放行 ,釋出 Report 報告 Reset 重新設(shè)定 Retrieve 【 計算機(jī) 】 檢索 ,擷取 (數(shù)據(jù) ) RF Generator 射頻發(fā)生器。 主要在檢視沈積膜后、曝光后、蝕刻后及去光阻后表面的線路圖案檢查 (前者簡稱 Orbo, 后者簡稱 KLA) AMOV (CD/Overlay) 量測設(shè)備用以測量關(guān)鍵線寬 CD, 及藉量測 Box重迭狀況來檢視 Stepper的精度 AMSH (Microscope) 高倍顯微鏡，主要在檢視曝光后、蝕刻后及去光阻后表面的線路圖案檢查 (簡稱 Olympus) AMSP (Surface Profiler) 表面輪廓檢查機(jī)，測量線路圖案的高低分布狀況，亦可藉此求得蝕刻速率 (簡稱 KLATencor) AMSR (Sheet Resistance) 沈積膜的電阻值測試設(shè)備 AMVI (Visual Inspection) 目視檢查機(jī)， Array段制程的最后出貨前檢查 ANNI (Anneal Oven) 回火設(shè)備 AOI： Auto Optical Inspection 自動光學(xué)檢測系統(tǒng) AOS： Alignment Optical System 光學(xué)對位系統(tǒng) APC： Adaptive Pressure Controller 壓力自適應(yīng)調(diào)節(jié)器 ATAR (Array Tester) Array Defect的測試設(shè)備 ATOS (Open/Short Tester) 斷短路測試機(jī) ATTG (TEG Tester or TFT Device Measurement) TFT的電性測試設(shè)備 BacksideExposure 背面曝光 Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 工程名詞 用語 用語說明 備注 Breaker 電源開關(guān) , 繼電器 Brush 清洗機(jī)所使用之軟刷 Bumper 保險杠 BF： Buffer 設(shè)備里暫存玻璃的緩沖單元 Cassette 裝在制品的架子 CDS： Coat Development System 涂膠顯影系統(tǒng)，是 TRACK設(shè)備另一種更形象的稱謂 Chamber 反應(yīng)室（如 CVD, Sputter或干蝕刻） ,槽 Charger 充電器 Chiller 熱交換器 Clean booth 潔凈工作臺 Clean lifter 天井傳送車 Clean room 潔凈室 Clean shoes (dustfree shoes, boots) 無塵鞋 Clean suit (bunny suit, dustfree garment) 無塵衣 Cleaner 清洗機(jī) Coater 涂膠單元 Computer 計算機(jī) Contact Angle 接觸角檢測機(jī) Control box 電源控制箱 Controller 控制器 Conveyor 輸送帶 Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 工程名詞 用語 用語說明 備注 Conveyor 傳送 Crane 吊車（在 Stocker內(nèi)） DAC： Digital/Analog Converter 數(shù)模轉(zhuǎn)換器 DB： Dehydration Bake Cleaner清洗后涂膠前的烘干設(shè)備 DCAC： direct current Alternating Current 直流 交流 Developer 顯影機(jī) DPM:Dynamic Pixel Map 動態(tài)像素示意圖 DRC:Defect Review Camera 不良回測相機(jī) EMO: Emergency Machine Off 設(shè)備緊急停止 Equipment 設(shè)備（簡稱為 EQP） Etcher 蝕刻機(jī) Exposure 曝光機(jī) FFU (Fan Filter Unit) 風(fēng)扇過濾器 FTIR ： Fourier Transform Infrared Spectroscopy 傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀 GI ： Gate Insulator 柵絕緣層 HEPA (High Efficient Particulate Air) filter 高效能粒子空氣過濾網(wǎng) Host 主機(jī) High Pressure(HP) 高壓噴淋 (剝離液 ) ICP (Inductive Coupled Plasma) 電感偶式電漿蝕刻機(jī) IMC： Intermediate Cooling 中間冷卻單元，用于在加熱之后對玻璃基板進(jìn)行自然冷卻 Laser repair 雷射修補(bǔ) Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 工程名詞 用語 用語說明 備注 L/L： Load Lock 真空 /大氣切換腔 LIM (Linear Induction Motor) Carrier 線性感應(yīng)馬達(dá)傳送載具 LDO: Low dropout regulator 低壓差線性穩(wěn)壓器 LS:Level Shifter 電位移轉(zhuǎn)器 Magic tape AGV路徑所使用的磁條 Masking Blade 遮光板 Matching Box 匹配器 MFC： Mass Flow Controller 質(zhì)量流量控制器 MGV (Manual Guided Vehicle) 人力搬運(yùn)車 MHU ： Mechanical Handling Unit 負(fù)責(zé)在各個 Bake單元之間搬送玻璃基板 MM： Macro/Micro 宏觀、微觀測試，用于抽測 Mask后的產(chǎn)品宏觀 Mura、 ID以及微觀 Pattern是否合格 MPA： Mirror Project Mask Aligner 曝光機(jī)全稱，鏡像投影 Mask對位儀 MUX: Multiplexer 多路（復(fù)用）器 MVC: Module View Controller 模塊觀察控制器 Notebook 筆記型計算機(jī)（簡稱為 NB） OHS (Overhead Shuttle) 天車或稱軌道車 PE (Plasma Etch) 電漿蝕刻機(jī) P/C： Process Chamber 反應(yīng)腔 PAOS： Primary Alignment Optical System 初次光學(xué)對位系統(tǒng) PPID： Process Parameters ID 工藝參數(shù)地址 Pumping Step 抽真空步驟 Raised floor (grating floor) 高架地板 Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 工程名詞 用語 用語說明 備注 Reticle or Mask 光罩 RIE (Reactive Ion Etching) 反應(yīng)式離子蝕刻機(jī) Roll Brush 輥刷 RPSC ： Remote Plasma Source Cleaning 遠(yuǎn)程等離子源清洗 RTM (Rotary Transfer Machine) 旋轉(zhuǎn)傳送機(jī) SCARA arm AGV之傳送手臂 SECS： SEMI Equipment Communication Standard 設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn) Shot 一次掃描 Shower 噴淋 Shuttle 搬送單元，將玻璃基板在 Coater內(nèi)各個部分間進(jìn)行搬送 Sputter 濺鍍機(jī) Stepper 步進(jìn)式曝光機(jī) Stripper 剝離機(jī) Tester 測試機(jī) TMP： Turbo Molecule Pump 渦輪分子泵 Titler 刻號機(jī)，廠內(nèi)部分的顯影機(jī)具有此功能，將玻璃基板的 Chip ID, Glass ID及 VeriCode曝出，以為人員及機(jī)臺辦認(rèn)之用 Tool 工具 ,機(jī)臺 UM： Ultra Mirror 超級反射鏡，投影系統(tǒng)（包括凹面鏡、凸面鏡、梯形鏡各一塊） Valve 閥門 , 控制閥 XMag： X Magnification X倍率放大器：位于 UM之上，用于補(bǔ)正光線在 X方向出現(xiàn)的扭曲。 Antireflection 在表面上包覆多層折射率不同的膜，用來消除界面的反射光之處理。 CF (Color Filter) 為了使液晶彩色顯示器能顯示彩色，在液晶 cell內(nèi)構(gòu)成的零件之一，在透明基板上依規(guī)則配列紅、綠、藍(lán) 3個原色的 pattern。因?yàn)榻永m(xù)在各畫素 TFT的 Source電極或 Drain 電極上，故又稱為 Source線或 Drain線。階調(diào)顯示的方式分為液晶驅(qū)動電壓變化及 frame間的時間調(diào)節(jié)。 技術(shù)名詞 Company Confidential BOE OT Copyright ? 2023 Technology Management Dept. 用語 用語說明 備注 Pixel Per Inch 指在 Active Area對角線上單位英吋所具有之畫素數(shù)目，用以表示畫面之分辨率。以一定角度射入到液晶分子軸上的直線偏光由于雙折射性的緣故而變調(diào)成橢圓偏光。也利用于 work data之輸入上。為防止再發(fā)生的一系列改善及處理事項的相互確認(rèn) Chromaticity 將 LCD Module色彩數(shù)值化后 ,用坐標(biāo)表現(xiàn)出來的東西 CIE： Commission Internationale de L‘ Eclairage 國際標(biāo)準(zhǔn)照明委員會 Color Gamut LCD Module表現(xiàn)色彩的能力 C