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芯片工藝流程(存儲(chǔ)版)

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【正文】入（ 2）單相工藝離子注入（ 3）單相工藝蒸發(fā)（ 1）蒸發(fā)原理示意圖單相工藝蒸發(fā)（ 2）濺射原理示意圖單相工藝蒸發(fā)（ 3）單相工藝清洗基礎(chǔ)認(rèn)知襯底材料擴(kuò)散層外延層一次氧化基區(qū)光刻干氧氧化離子注入基區(qū)擴(kuò)散發(fā)射區(qū)光刻發(fā)射區(qū)預(yù)淀積發(fā)射區(qū)擴(kuò)散（ *）發(fā)射區(qū)低溫氧化（ *）氫氣處理 N+光刻（適用于 P型片） N+淀積擴(kuò)散（適用 P型片）

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