【正文】 非接觸法），就刻通過坐標(biāo)機(jī)的測量系統(tǒng)得到各點(diǎn)的坐標(biāo)值，經(jīng)計(jì)算機(jī)算出它們的幾何尺寸和相對(duì)位臵，并完成數(shù)據(jù)處理，因此用三坐標(biāo)測量機(jī)具有較大的萬能性。 1. 接觸式輪廓儀（觸針式輪廓儀） 針描法是一種接觸式測量方法。這類電感傳感器的特點(diǎn)是輸出信號(hào)只和觸針位移有關(guān)，亦稱位移靈敏傳感器，它可以把輪廓圖形逐點(diǎn)描繪出來，所以一般帶有記錄器。從上式可以看出，Ｉ與ｄ成指數(shù)關(guān)系，即隧道電流Ｉ對(duì)樣品的微觀表面起伏特別敏感， 當(dāng)ｄ減?。?.1ｎｍ時(shí)，Ｉ將增加一個(gè)量級(jí)。由于原子力顯微鏡既可以觀察導(dǎo)體，也可以觀察非導(dǎo)體，從而彌補(bǔ)了 STM的不足。從這里我們可以看出，原子力顯微鏡設(shè)計(jì)的高明之處在于利用微懸臂間接地感受和放大原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測的目的。 掃描隧道顯微鏡（ STM)的基本原理是利用量子力學(xué)中的 隧道效應(yīng) ，在樣品與探針之間加一定的電壓，當(dāng)樣品與針尖距離非常接近時(shí)，樣品和針尖之間將產(chǎn)生隧道電流Ｉ ∝ Ｖ （導(dǎo)頭有機(jī)械濾波的作用）。 圓度誤差定義 ： 圓度誤差指包容同一正截面實(shí)際輪廓且半徑差為最小的兩同心圓的距離 fm m a x m i nmf R R?? 圓度誤差的評(píng)定方法 最小包容區(qū)域法最小，最小二乘法稍大 圓度儀測量法 表面粗糙度測量 表面粗糙度測量是一種微觀幾何形狀誤差。 該機(jī)通過三個(gè)坐標(biāo)軸在三個(gè)空間方向自由移動(dòng)，測頭在測量范圍內(nèi)可以到達(dá)任意一個(gè)測點(diǎn)，三個(gè)軸的測量系統(tǒng)可以測出測點(diǎn)在 x， y， z三個(gè)方向上的精確坐標(biāo)位臵。在裝置基體 1的中央放著指示表 4；兩側(cè)裝有帶滾柱 3的支桿 2。為此，如圖所示，設(shè)被測細(xì)絲為 ? d，相當(dāng)于狹縫。近年來由于激光技術(shù)的發(fā)展，為測量細(xì)絲直徑提供了新的測量原理和方法。用于相對(duì)測量的儀器多稱作測微儀或比較儀，一般具有 放大倍數(shù)大 ， 示值范圍較小 、 測量精度高、零位可調(diào) 的特點(diǎn)。當(dāng)被測工件尺寸發(fā)生變化時(shí)，則測桿將上升或下降的此時(shí)導(dǎo)磁體的截面積 S也發(fā)生改變故而引起電感量的變化。鐵心與銜鐵之間有一個(gè)厚度為 ?的空氣隙，儀器的測桿與銜鐵 3連接在一起。近年來，顯示裝置已發(fā)展到采用專用電子計(jì)算機(jī)或數(shù)字顯示裝置等，可以直接處理測量數(shù)據(jù)。但在激光問世以前，由于缺乏亮度高、單色性好的光源，干涉辦法的應(yīng)用有著許多局限性，激光的出現(xiàn)則為干涉測長提供了極好的相干光源。自光源 1發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡 2后成平行光，再經(jīng)保護(hù)玻璃 4（干涉濾色片 3在定分度值時(shí)插入光路）投射到分光鏡 6上。讀數(shù)鼓輪上均勻地刻有 100個(gè)分度，讀數(shù)鼓輪旋轉(zhuǎn) 100個(gè)分度可帶動(dòng)影屏移動(dòng)一個(gè)光縫，即 ，故讀數(shù)鼓輪的最小分度值為 。目鏡頭可以更換 . 大、小型工具顯微鏡工作臺(tái)作縱、橫坐標(biāo)移動(dòng)的距離，由測量時(shí)所加的量塊尺寸與作縱橫方向微動(dòng)的螺旋測微器微分筒示值之和來確定。 測長機(jī)光路 顯微鏡法是將被測件的尺寸、輪廓或用光干涉法產(chǎn)生的干涉條紋等，經(jīng)過顯微放大，以便于觀察測量。 1． 儀器工作原理 測長機(jī) 光線自光源 15，經(jīng)聚光鏡，濾光片、反射鏡后照亮了分劃板 14。 測量前先將測量軸 2與尾座中的測量砧接觸，從讀數(shù)顯微鏡中讀出讀數(shù)。 萬能測長儀是把測量座作臥式布臵，測量軸線成水平方向的測長儀器。配重 7用來調(diào)整測量力。儀器的測量座是一個(gè)獨(dú)立部件。 這樣，測桿的微小移動(dòng) S就可以通過正切杠桿機(jī)構(gòu)和光學(xué)裝臵放大，變成光點(diǎn)和象點(diǎn)間的距離 CC”，其放大比為 光學(xué)計(jì)的目鏡放大倍數(shù)為 K2，因此光學(xué)計(jì)的總放大倍數(shù)為 KK2倍。按照光較儀管支架座形式的不同，光學(xué)比較儀可分成 立式光學(xué)比較儀即立式光學(xué)計(jì)和臥式光學(xué)比較儀即臥式光學(xué)計(jì) 兩種。儀器的主要元件靈敏彈簧片的剖面是長方形的磷青銅簧片 (例如橫截面為 )，簧片由中間向左、右兩端扭曲而成為扭簧片，它的一端被固定在機(jī)殼的連接柱上，另一端則固定在杠桿 2的一個(gè)支臂上，杠桿 2的另一端與測桿 1的上部相連，指針 4安裝在扭簧片 3的中部。 ， 177。 鐘表式百分表 分度值為 杠桿齒輪式測微儀 圖 (a) 儀器的外形 圖 (b) 儀器結(jié)構(gòu)原理圖 測量時(shí)，測桿將向上或向下移動(dòng)，從而使杠桿短臂 R4產(chǎn)生擺動(dòng)，扛桿短臂和杠桿長臂 R3連成一體，R3是個(gè)扇形齒輪，因此短臂 R4的擺動(dòng)帶動(dòng)扇形齒輪的擺動(dòng)，當(dāng)扇形齒輪擺動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使與小齒輪連接在一起的指針 R1偏轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)將測桿微小的直線位移經(jīng)杠桿齒輪機(jī)構(gòu)放大后變?yōu)橹羔樀拇笪灰?。?shù)顯卡尺的電子部分裝有存儲(chǔ)器、置零裝置和公英制換算裝置。因此當(dāng)游標(biāo)零位線與尺身零位線對(duì)準(zhǔn)時(shí)，除最后一很線與尺身第 49根刻線對(duì)準(zhǔn)外，其它游標(biāo)刻線都不與尺身刻線對(duì)準(zhǔn)。 黑白透射光柵 感應(yīng)同步器的繞組 長度測量的基本原則 ——阿貝原則 長度測量的基本原則是阿貝原則 :在長度測量時(shí)，為了保證測量的準(zhǔn)確， 應(yīng)使被測零件的尺寸線 (簡稱被測線 )和量儀中作為標(biāo)準(zhǔn)的刻度尺 (簡稱標(biāo)準(zhǔn)線 )重合或順次排成一條直線 。 ? 量塊精度分級(jí)又分等，其目的就是 借助高精度的測量方法，來彌補(bǔ)制造精度的不足 。 ? 量塊的公稱尺寸和實(shí)測尺寸。 ” 米原器 通過計(jì)量檢定，將國家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器（基準(zhǔn)）所復(fù)現(xiàn)的計(jì)量單位的量值，通過標(biāo)準(zhǔn) ， 逐 級(jí)傳遞到工作用的計(jì)量器具，以保證對(duì)被測對(duì)象所測得量值的準(zhǔn)確和一致。首先由穩(wěn)定激光的基準(zhǔn)波長傳遞到基準(zhǔn)線紋尺和一等量塊，然后再由它們逐次傳遞到工件，以確保量值準(zhǔn)確一致。 ? 量塊的精度分級(jí)又分等。因此，欲檢定 2等量塊時(shí)，必須選擇不低于 0級(jí)精度的量塊；檢定 4等量塊則必須選擇不低于 2級(jí)精度的量塊， 檢定 5等量塊必須選擇不低于 3級(jí)精度的量塊。它在機(jī)械制造業(yè)中應(yīng)用十分廣泛，包括游標(biāo)卡尺，高度游標(biāo)卡尺、深度游標(biāo)卡尺等，可分別用于測量內(nèi)外尺寸、高度、深度等。 根據(jù)這個(gè)道理，游標(biāo)沿尺身移動(dòng)，即可使尺身和游標(biāo)上的某一刻線對(duì)準(zhǔn)，從而得出被測長度尺寸的毫米整數(shù)和小數(shù)部分，其讀數(shù)方法如下： 首先讀出 游標(biāo)零刻線所指示的左邊 尺身上 的 毫米刻線整數(shù) ；然后 觀察 游標(biāo)刻線與尺身刻線 對(duì)準(zhǔn)時(shí)的格數(shù) ，將游標(biāo)對(duì)準(zhǔn)的 格數(shù)乘以游標(biāo)讀數(shù)值，即為毫米小數(shù) ；最后將毫米整數(shù)與毫米小數(shù) 相加 ，即得被測工件的尺寸讀數(shù)。 目前我國生產(chǎn)的游標(biāo)卡尺的測量范圍和游標(biāo)讀數(shù)值： 測微量具是機(jī)械制造中常用的精密量具，它是利用 精密螺旋副 進(jìn)行測量，而以 微分筒和固定套筒 上的刻度進(jìn)行讀數(shù)的一種機(jī)械式量具。在傳動(dòng)式量儀中，使用最廣泛。 ～ 177。 光學(xué)比較儀（光學(xué)計(jì)） 光學(xué)比較儀又稱光學(xué)計(jì)，它是一種精度較高的光學(xué)機(jī)械式計(jì)量儀器。 若平面反射鏡與光軸垂直，則經(jīng)過平面反射境反射的光仍按原路匯聚到發(fā)光點(diǎn) C處，即發(fā)光點(diǎn) C與象點(diǎn) C’重合。測量時(shí)， 用此尺作為標(biāo)準(zhǔn)尺與被測長