【課件】x射線光電子能譜分析方法及原理(xps)-(存儲版)
【正文】 它方法： ：對疏松軟散的樣品可用此法。 2P1/2 2P3/2 105 95 電子結(jié)合能（ eV） Si 2p XPS的實(shí)驗(yàn)方法： ? 樣品的預(yù)處理 ： （對固體樣品） （萃取）或長時(shí)間抽真空除表面污染物。 。 XPS 的工作流程： 光 源 (Xray) 過濾窗 樣品室 能量分析器 檢測器 掃描和記錄系統(tǒng) 真空系統(tǒng) ( 105— 108Pa) 磁屏蔽系統(tǒng) (～ 1 108T) XPS 的工作原理： 電離放出光電子 Xray 樣品 能量分析器 檢測器 （記錄不同能量的電子數(shù)目） 光電子產(chǎn)生過程： e hν(Xray) A(中性分子或原子 )+ hν(Xray) A+*（激發(fā)態(tài)的離子） +e(光電子 ) XPS譜線中伴峰的來源： ? 振離 (Shakeoff):多重電離過程 （能量差為帶有一個(gè)內(nèi)層空穴離子基態(tài)的電離電位） A+hν=(A2+)*+2e 正常： Ek(2P)=hνEb(2P) 振離： Ek’(2P)=hν[Eb(2P)+Eb(3d)] ? 振激 (Shakeup):在 Xray作用下內(nèi)層電子發(fā)生電離而使外層電子躍遷到激發(fā)的束縛態(tài)導(dǎo)至發(fā)射光電子的動能減少。 引入 Fermi能級后，光電過程的能量關(guān)系如圖所示： 由圖可知： Eb=hν ф? Ek’ 而 Ek’+ ф?＝ Ek+ ф?p 知 Eb＝ hν Ek ф?p ( ф?p平均值約為 4ev) (其中， Ek’為從樣品出射光電子的動能； Ek為譜儀測量到的光電子的動能 ) 上式即為原子內(nèi)層電子結(jié)合能公式。X— 射線光電子能譜 ( Xray Photoelectron Spectroscopy ) ? XPS 的發(fā)展 ? 基本概念 ? XPS 的工作流程及原理 ? XPS譜線中伴峰的來源 ? XPS譜圖中伴峰的鑒別 ? 利用 XPS譜圖鑒
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