電子束離子束加工ppt課件(存儲(chǔ)版)
【正文】 引導(dǎo)下將正離子引出，經(jīng)過加速射向靶材或工件。離子鍍膜附著力強(qiáng)、膜層不易脫落。用離子鍍方法在切削工具表面鍍氮化鈦、碳化鈦等超硬層，可以提高刀具的耐用度。 第七章 其他特種加工技術(shù) 離子鍍的可鍍材料廣泛，可在金屬或非金屬表面上鍍制金屬或非金屬材料，各種合金、化合物、某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點(diǎn)材料等。離子束刻蝕應(yīng)用的另一個(gè)方面是刻蝕高精度的圖形，如集成電路、光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形。 離子刻蝕可達(dá)納米級(jí)精度 ， 離子鍍膜可控制在亞微米級(jí)精度 ， 離子注入的深度和濃度亦可精確地控制 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng) 、 濺射效應(yīng)和注入效應(yīng) 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 4）焊接 電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。 (6) 電子束加工需要整套的專用設(shè)備和真空系統(tǒng) ， 價(jià)格較貴 ， 故在生產(chǎn)中受到一定程度的限制 。 第七章 其他特種加工技術(shù) 圖 1 電子束加工原理 電子槍系統(tǒng)聚焦系統(tǒng)電子束工件抽真空系統(tǒng)電源及控制系統(tǒng)第七章 其他特種加工技術(shù) 控制電子束能量密度的大小和能量注入時(shí)間 ， 就可以達(dá)到不同的加工目的 。 第七章 其他特種加工技術(shù) (2) 加工材料的范圍廣 。在人造革、塑料上用電子束打大量微孔，可使其具有如真皮革那樣的透氣性。 第七章 其他特種加工技術(shù) 5）熱處理 電子束熱處理也是把電子束作為熱源，但適當(dāng)控制電子束的功率密度，使金屬表面加熱而不熔化，達(dá)到熱處理的目的。 2) 離子濺
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