【正文】 echnologies). Input frames have a white background and output frames are indicated by a colored background. It has a variety of functions: 該框 為長方形窗口，作為文本和數(shù)字（如手動模式的輸入設(shè)置或工藝參數(shù)輸入）輸入和 /或輸出。然后按下 [Alt] + [Up arrow] or [Alt] + [Down arrow]來打開 list。 Lists 列表 The object “l(fā)ist” is intended to display large data amounts. It is used in many menus (. control menu for technology selection). The options available in the list are displayed below each other. 對象 “l(fā)ist” 用來顯示大量的數(shù)據(jù)。 手冊。 Visual system with VAC_NT, Version 帶 VAC_NT的可視化系統(tǒng) , Graphic visualization of all data, set points, process states and user inputs 所有數(shù)據(jù)， 設(shè)定點(diǎn)，過程狀態(tài)和用戶輸入的圖像可視化 Menucontrolled process operating with keyboard and touch 板的菜單控制過程操作 Manual operation for selected functions. 已 選 功能的人工操作 Automatic operation for processes using parameters 使用參數(shù)過程的自動操作 Databaseoriented control and management of procedures 數(shù)據(jù)庫導(dǎo)向控制和管理程序 Eventcontrolled message logging 事件控制信息的錄入 Protocol recording during the process run 工藝運(yùn)行過程的協(xié)議記錄 Diagnosis function (I/O list) 診斷功能 (I/O 清單 ) Installation instruction for the main ponents 主要元件的安裝指示 For the installation of the SIMATIC peripheral ponents see the section in the System manual “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). SIMATIC外圍元件的安裝參見系統(tǒng)手冊 “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). 9 of 127 9 For SINECL2 connection ply with the Technical Description and the Installation Guidelines in the Manual “CP5613”. SINECL2的連接 遵守技術(shù)描述和和安裝向?qū)?，在手?“CP5613”。 Identification of hard and software 硬件和軟件的識別 Hardware硬件 The control software for the SiNA L system is installed on an industrial PC (Intel Celeron GHz, 256 MB RAM, 80 GB Seagate HDD, “ FD, LG DVD CDROM, AOpen graphics card, work interface card on board, Windows 2020 English + Service Pack 4). This PC includes a 15 TFT color monitor and a 19 keyboard with touch pad. SiNA L系統(tǒng)的控制軟件安裝在 PC機(jī)上（ Intel 賽揚(yáng) 5 of 127 5 ， 256MB RAM， 80GB希捷硬盤， ， LG DVD CDROM，圖形卡，網(wǎng) 卡， Windows 2020 English + Service Pack 4）， 15寸 TFT液晶顯示器， 19寸鍵盤，觸摸墊板。 1 of 127 1 操作手冊 SINAL – 系統(tǒng) 氮化硅沉積系統(tǒng) （人工裝載） 制造商 : Roth amp。 Service mode for supporting system startup, troubleshooting, system and controller configuration using machine parameters 維護(hù)模 式：支持系統(tǒng)啟動，故障診斷， 使用機(jī)器參數(shù)進(jìn)行系統(tǒng)和 控制器布局。 Distribution of profibus addresses Profibus地址的分布 模塊 / 節(jié)點(diǎn) Profibus 地址 PC 1 電源分配節(jié)點(diǎn) (ET200M) 3 機(jī)器節(jié)點(diǎn) A2 (ET200M) 4 機(jī)器節(jié)點(diǎn) A3 (ET200M) 5 Eurotherm 2408 頻率轉(zhuǎn)換器 (工藝腔室 ) 12 Eurotherm 2400 加熱器 (裝載 lock) 14 Eurotherm 2400 加熱器 (加熱腔室 ) 15 Eurotherm 2400 加熱器 (工藝腔室 ) 16 閥組 1+2 (Festo CPV DIO 1) 18+19 6 of 127 6 MFC 13 (MKS 1179 As) 2123 Lenze馬達(dá) 1 (裝載腔室 r) 41 Lenze馬達(dá) 2 (加熱腔室 ) 42 Lenze馬達(dá) 3 (工藝腔室 ) 43 Lenze馬達(dá) 4 (工藝腔室 r) 44 Lenze馬達(dá) 5 (冷卻腔室 ) 45 Lenze馬達(dá) 6 (冷 卻腔室 ) 46 Lenze馬達(dá) 7 (卸載腔室 ) 47 Lenze馬達(dá) 11 (卸載臺 ) 51 Lenze馬達(dá) 24 (裝載臺 ) 64 預(yù)處理源 (RF發(fā)生器 ) 66 Distribution of CANBus Node ID’s CANBus Node ID’s 的分布 模塊 / 節(jié)點(diǎn) 信息 ID 信息返回 ID 微波 1 11 91 微波 2 12 92 微波 3 13 93 微波 4 14 94 微波 5 15 95 微波 6 16 96 微波 7 17 97 微波 8 18 98 7 of 127 7 Decentralized peripheral ET200M 分散的外圍設(shè)備 ET200M Peripheral node 1 (Power distribution Node) 外圍節(jié)點(diǎn) 1 (電源分配節(jié)點(diǎn) ) Designation 名稱 單元個數(shù) 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 2 S7300 模擬輸入 SM331, potentials separated, 8AI 2 S7300 信號模塊的前端插頭 7 Peripheral node 2 (Machine Node A2) 外圍節(jié)點(diǎn) 2 (機(jī)器節(jié)點(diǎn) A2) Designation 名稱 Number of units 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 5 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 2 S7300 信號模塊的前端插頭 7 Peripheral node 2 (Machine Node A3) 外圍節(jié)點(diǎn) 2 (機(jī)器節(jié)點(diǎn) A3) Designation 名稱 Number of units 分散的外圍系統(tǒng) ET200M (IM 153) 1 S7300 數(shù)字輸入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 數(shù)字輸出 SM322, 16DO 1 S7300 模擬輸入 SM331, potentials separated, 8AI 1 S7300信號模塊的前端插頭 5 8 of 127 8 Software 軟件 Windows 2020 English with Service Pack 4 is used as operating system for controlling and operating PC. 采用 Windows 2020 English with Service Pack 4 操作系統(tǒng)。 更多的信息參見 WINDOWS174。 Buttons 按鈕 Buttons are operation elements, which function like a push button. The push buttons can be actuated in two ways: 按鈕是操作基本元件，它 的功能就象真實(shí)的 按鈕， 11 of 127 11 推進(jìn)按鈕可以通過兩種方式驅(qū)動： Clicking on it with the left mouse button. 鼠標(biāo)左鍵點(diǎn)擊 ， 或者 Press [Tab] repeatedly until the button is highlighted and then press [Space] to actuate the function. 重復(fù)按下 [TAB]直到按鈕為高亮顯示，然后按下 [Space]來啟用該功能。 或者 Press [Tab] repeatedly until list highlighted. After this press [Alt] + [Up arrow] or [Alt] + [Down arrow] to open the list. Use the arrow buttons to change the selection. Press [Enter] to confirm and the list is closed. 重復(fù)按下 [TAB]直到 list為高亮顯示 。 或者 Press [TAB] repeatedly until the checkbox is highlighted. After this press [Space] to enable / disable the checkbox. 重復(fù)按下 [TAB]鍵直到檢驗(yàn)欄高亮度顯示，然后按下 [space]鍵啟用 /關(guān)閉 檢驗(yàn)欄。 或者 ? After the text has been highlighted, input the new text (the text is overwritten) or press [Del] to remove the text. After input press [enter] to 顯示之后，輸入新的文本（先前的文本被覆蓋）或責(zé)按下 [Del]鍵刪除文本，輸入結(jié)束后按 [enter]鍵確認(rèn)。 login window appears after the operating puter has started up. Enter the username “Operator” (without password) and press [Enter]. Now the