【正文】 mechanical polysyllable suede groove technology, plasma etching (RIE) and isotropic acid corrosion. In these processes, the mechanical groove requires at least the thickness of silicon 200um, such as ion etching (RIE) requires relatively plex and expensive equipment. Thus largescale industrial production, acid etching is isotropic widely suede polycrystalline silicon solar cells technology. This paper describes the basic principles of cleaning system and process of velvet, and the work of individuals encountered during some of the frequently asked questions. Keyword: Textured surface structure。而且太陽能發(fā)電絕對干凈，不產(chǎn)生公害。不足之處是：①照射的能量分布密度小，即要占用巨大面積；②獲得的能源同四季、晝夜及陰晴等氣象條件有關。單晶硅太陽電池變換效率最高，已達 20％以上，但價格也最貴。當然，特殊用途和實驗室中用的太陽電池效率要高得多，如美國波音公司開發(fā)的由砷化鎵半導體同銻化鎵半導體重疊而成的太陽電地，光電變換效率可達 36％，快趕上了燃煤發(fā)電的效率。實現(xiàn)這一點的技術不難解決，關鍵在于要有相應的法律保障。要求第一年有 1000 戶家庭、 20xx 年時有7 萬戶家庭裝上太陽能發(fā)電設備。有關專家認為，至少要降到 100 萬到 200 萬日元時，太陽能發(fā)電才能夠真正普及。這種新電池的特點是，雖然變換效率只有 8％ 10%，但價格便宜。進一步的提高太陽電池的轉換效率和降低太陽電池的生產(chǎn)成本是我們現(xiàn)階段不斷研究的課題。通過在太陽電池表面制備絨面可以有效降低太陽電池的表面反射率。本文 主要介紹清洗制絨的基本原理及工藝流程，并結合個人工作期間遇到的來料 、制絨深度的控制、人為不當操作 等問題。但如果在高純中摻入極微量的電活性雜質(zhì)，其電阻率會顯著下降。同時，該 5價的元素的原子成為帶正電陽離子。同時該 3價元素的原子成為帶負電的陰離子。當太陽光照射到 PN結上時，光能被吸收后，在導帶和價帶中產(chǎn)生非平衡載流子 —— 電子空穴。 具有光生伏特效應的 PN結實際上就相當于一個電源，接上用電器后就能工作，這就是太陽電池的工作原理。擴散的驅動力實質(zhì)是化學勢梯度。 1. 濕法腐蝕是通過化學溶液與被刻蝕材料發(fā)生反應而去除被刻蝕部分制作絨面 擴散 刻蝕 去 PSG PECVD 絲網(wǎng)印刷 電極燒結 檢測分選 光伏材料加工與應用技術畢業(yè)論文 11 的方法。 去磷硅玻璃（ PSG）：磷硅玻璃是硅片在擴散時的化學 反應導致在硅片表面形成一層含有磷元素的二氧化硅，稱之為磷硅玻璃。太陽能電 池的印刷電極，最早是采用真空鍍或化學電鍍技術制作現(xiàn)普遍采用絲網(wǎng)印刷技術，即通過特殊的印刷機和模板將銀漿、鋁漿印刷在太陽電池的正、背面以形成正負電極引線，再經(jīng)過低溫烘烤、高溫燒結，最終制成太陽電池。 超超 聲聲 清清 洗洗 的的 優(yōu)優(yōu) 越越 性性 高精度：由于超聲波的能量能夠穿透細微的縫隙和小孔，故可以應用與任何零部件或裝配件清洗。 影影 響響 超超 聲聲 清清 洗洗 效效 果果 的的 因因 素素 ： 清洗時間是影響超聲波清洗效果的一個主要因素，清洗時間取決于工件的污染程度以及清潔度要求，典型的清洗時間是 210 分鐘，只有少數(shù)工件能夠在很短的時間里面清洗干凈。 ： 考慮到清洗液的 物理 特性對超聲清洗的影響，其中蒸汽壓、表面張力、黏度以及密度應為最顯著的影響因素。 度：功率密度 =發(fā)射功率（ W） /發(fā)射面積（ cm2）通?！?，超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。因此，在減少光的損失方面，電池的織構化技術和減少反射技術起著重要作用。)，光會反射到另一角度的斜面，形成二次或多次吸收，從而增加吸收率。因此在制絨前必須將其除去。所以初拋液必須定期更換或排出部分溶液。 各向同性腐蝕（酸腐蝕） 通常應用的硅的腐蝕液包含氧化劑（如硝酸）和絡和劑（如氫氟酸）兩部分。因此大多采用氫氟酸 /硝酸體系進行絨面的制備。 制 溶液通常用低濃度 (1. 5 2wt%)的氫氧化鈉溶液混合 ((310 vol%)的異丙醇(或乙醇 )配制成，在 70C。實現(xiàn)電化學腐蝕應具備的三個條件如下 : ①被腐蝕的半導體各區(qū)域之間要有電位差，以便形成陽極和陰極 。 硅晶體在堿溶液中的腐蝕能滿足上述三個條件，從而在表面形成許多微電池。 角角 錐錐 體體 形形 成成 的的 原原 理理 晶體 的各向異性即沿 晶格 的不同方向， 原子 排列的周期性和疏密程度不盡相同，由此導致晶體在不同方向的物理化學特性也不同，這就是晶體的各向異性。 晶向指一族晶列的共同方向，晶面的法線方向。 立方體 晶體 的（ 100）和（ 111）面 單晶硅電池的絨面通常是利用某些化學腐蝕劑對其表面進行腐蝕而形成，它們對硅的不 同晶面有不同的腐蝕速度，對 (100)面腐蝕較快，對 (111)面腐蝕的慢，因此這種腐蝕方法也稱為各向異性腐蝕。當 AF=1 時，腐蝕硅片可以得到平坦的表面。反之，高濃度的堿溶液和較高的溶液溫度則對應低的AF 數(shù)值。 在此我們引入接觸角的定義，接觸角為液 固 氣界面相交點，液 氣界面的切線與液 固界面切線的夾角。 90?? 。純凈的硅表面是不能與水潤濕的 (疏水的 )。溶液中加入異丙醇可以改善潤濕程度，在這里，起到表面活性劑的作用。 在腐蝕發(fā) 生的初始時刻，溶液與硅表面的接觸角對腐蝕核的形成，以及絨面角錐體覆蓋率有著重要影響。 腐蝕過程中氣泡在硅片表面的演變方式?jīng)Q定了絨面角錐體的形成，變化和最 光伏材料加工與應用技術畢業(yè)論文 19 終形貌。因此，這種條件下形成的絨面角錐體尺寸較大。成核密度低，則很難采取補救措施。對于既可獲得低的表面反射率，又有利于太陽電池的后續(xù)制作工藝的絨面，應該是金字塔大小均勻，單體尺寸在 2~10 微米之間，相鄰金字塔之間沒有空隙，即覆蓋率達到 100%。 1 分鐘后，金字塔如雨后春筍，零星的冒出了頭； 5 分鐘后，硅片表面基本上被小金字塔覆蓋，少 光伏材料加工與應用技術畢業(yè)論文 22 數(shù)已開始長大。 從圖 411 的 c 可以看出， 10 分鐘后，金字塔密布的絨面已經(jīng)形成，只是大小不均勻，反射率也降到了比較低的水平。原因可能在于，大金字塔尖銳的塔尖易于崩塌，擴散形成的 pn 結受到了破壞。由于金字塔的覆蓋率很低，硅片對光的反射最強烈。乙丙醇 的含量在 3 vol%至 20 vol%的范圍內(nèi)變化時，制絨反應的變化不大，都可以得到比較理想的絨面，而 5 vol%至 10 vol%的環(huán)境最佳。從硅片減薄的程度可以判斷，隨著乙丙醇的增加，硅片被腐蝕的速度減慢。而當乙丙醇的含量過高時，堿溶液對硅的腐蝕能力變的很弱，各個晶面都好像堅不可摧的銅墻鐵壁，各向異性因子又趨向于 1。當 NaOH 的濃度超過了一定的界限，溶液的腐蝕力度過強，各向異性因子變小，絨面會越來越差，直至出現(xiàn)類似“拋光”的效果。因為硅酸鈉溶解于水中，當水充分時，極易發(fā)生水解硅酸根 2i3SO? ，與水反應生成硅酸及多硅酸溶膠，鈉離子則與水反應生成氫氧化鈉以水溶液的形式存在，使溶液呈堿 光伏材料加工與應用技術畢業(yè)論文 24 性。這種緩釋作用又使得大面積硅片表面得到均勻的腐蝕，使絨面上角錐體尺寸的均勻性得到了保證。溶液中 OH? 功能團移向腐蝕反應界面的傳輸效率逐漸降低，各向異性因子也隨著降低。調(diào)節(jié)控制溶液中硅酸鈉的含量，可以防止溶液失效。 化化 學學 清清 洗洗 原原 理理 硅片經(jīng)過不同工序加工后，其表面已受到嚴重沾污，一般講硅片表面沾污大致可分在三類： 一 . 有機雜質(zhì)沾污： 可通過有機試劑的溶解作用，結合超聲波清洗技術來去除。 b. 另一類是帶正電的金屬離子得到電子后面附著（尤如“電鍍”）到硅片表面。 光伏材料加工與應用技術畢業(yè)論文 25 3. 用大量去離子水溢流清洗，以排除溶液中的金屬離子 由于金屬離子對于電池 性能有著很大的影響，如圖 413，所以需要去除硅片表面的金屬離子，在化學清洗過程中一般使用 HF+NH4F 和 HCL 去除表面氧化層和硅片表面金屬離子，反應方程式 ? ?2 2 6 2S i O 6 H F H S i F 2 H O? ? ? HCl 去除硅片表面金屬雜質(zhì)鹽酸具有酸和絡合劑的雙重作用，氯離子能與 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、 Cu +、 Cd 2+、 Hg 2+等金屬離子形成可溶于水的絡合物。 多晶制絨可選方法很多，但綜合成本及最終效果，當前產(chǎn)業(yè)所用多晶制絨工藝均為 HNO3， HF， DI Water 混合液體系制絨。 HCl 的作用：中和殘留在硅片表面 殘余堿液； 去除在硅片切割時表面引入的金屬雜質(zhì)。可以說是起著至關重要，必不可少的步驟之一。 [5] 羅玉峰、廖衛(wèi)兵、劉儀柯，太陽電池硅材料生產(chǎn)技術 [M]，江西高校出版 ,20xx。從論文的立題到實驗的設計以及論文的撰寫整個過程無不浸透著老師的心血。我還要向我的同學們表示感謝，感謝 光伏材料加工與應用技術 全 班所有 同學對我 的 生活和學業(yè)上的關