微加速度計的基本工作原理及工作特點(diǎn)-預(yù)覽頁
【正文】 ?缺點(diǎn)： ?讀出電路復(fù)雜 ?易 受寄生電容影響和電磁干擾 基本工作原理及工作特點(diǎn) 電容扭擺式微加速度計 基本原理與電容式微加速度計相同，結(jié)構(gòu)不同。 ?工作原理 在 彈性梁 上覆蓋一 層 壓電材料膜 ，上 電極和 下電極分別分布在壓電材料膜的上表面和下表面上，當(dāng)有外界加速度口作用于 敏感 質(zhì)量塊時，彈性梁上會產(chǎn)生應(yīng)力大小變化，由于壓電效應(yīng)作用，器件結(jié)構(gòu)的 上電極 和下電極間會產(chǎn)生 電壓 ，由此可通過 測量 電壓 （信號處理電路）的 變化來得知外界加速度的 變化。 ? ?e x ptu n tu nI v x????基本工作原理及工作特點(diǎn) 隧道效應(yīng)型微加速度計 ?優(yōu)點(diǎn)： ?極高的 靈敏度 ?易檢測 ?線性 度 好 ?溫 漂 小 ?抗干擾 能力 強(qiáng) ?可靠性高 ?缺點(diǎn)： ?隧道 針尖制作比較 復(fù)雜 ?工藝比較困難，成品率低 ? ?e x ptu n tu nI v x????目錄 微加速度計簡介 微加速度計分類 基本工作原理及工作特點(diǎn) 總結(jié) 類型 原理 優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn) 壓阻式 根據(jù)壓阻效應(yīng)，利用擴(kuò)散電阻的阻值變化來感應(yīng)加速度變化。 結(jié)構(gòu)簡單，漂移低，溫度效應(yīng)小，靈敏度相對較高，功耗小。 結(jié)構(gòu)簡單，頻率響應(yīng)范圍很快，有很好的線性度。 總結(jié) 對比 總結(jié) 發(fā)展 ? 制作工藝 ? 結(jié)構(gòu)優(yōu)化 ? 仿真技術(shù) 謝謝！
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