橢圓偏振光法測(cè)量薄膜的厚度和折射率改進(jìn)-預(yù)覽頁
【正文】 數(shù)等光學(xué)上的應(yīng)用，以及在半導(dǎo)體，化學(xué)，生物和醫(yī)學(xué)等。把薄膜和襯底作為一個(gè)整體的光學(xué)元件可以看到反射的情況。 根據(jù)傳統(tǒng)的方法，調(diào)整儀器逐步測(cè)量，結(jié)果處理在下文敘述。再考慮邁克爾遜干涉法，似乎是書上都有的，但是，在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)中當(dāng)光射在薄膜表面而反射后光強(qiáng)是降低了很多的，具體的式子可以表明光強(qiáng)的變化。 那么，公式是否適用呢，會(huì)發(fā)生怎樣的變化? 我們來看一下推導(dǎo)過程，得 直觀來看并不改變，有個(gè)前提就是要求此時(shí)的波片是綠光的1/4波片。而實(shí)驗(yàn)時(shí)1/4波片的快軸（對(duì)負(fù)單軸晶體為e光）與p軸成45度角， 現(xiàn)在又面臨一個(gè)問題，原有儀器的波片將不適用。）所謂條條大道通羅馬，另一個(gè)途徑可以解決這個(gè)問題。入射光的p分量和s分量的相位差為 π，反射光中的p分量和s分量的相位差為 0或π。系統(tǒng)誤差可由儀器等原因造成。這樣，取，得到保守誤差結(jié)果。其具有畫不同參數(shù)（如δ、λ）的圖像，由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)查找薄膜厚度和折射率以及直接求解等功能。圖中超越級(jí)方程求解部分，變相的使用二分法（具體見譚浩強(qiáng)著的《C程序設(shè)計(jì)》第二版101頁）此不再累述。這里再討論一下使用簡(jiǎn)陋的實(shí)驗(yàn)儀器要注意的提高精確度的具體措施，1讓便于觀察光強(qiáng)變化，最簡(jiǎn)單的是關(guān)燈。大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)中橢圓偏振光法測(cè)量薄膜的厚度和折射率一節(jié)的錯(cuò)誤：第141頁應(yīng)為第132頁中應(yīng)為
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