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tfcalc膜系設(shè)計(jì)手冊譯文-預(yù)覽頁

2024-12-08 06:49 上一頁面

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【正文】 dd對話框。 修改菜單( Modify Menu) 10 使用該菜單,顯示和改變膜系數(shù)據(jù)。該項(xiàng)是處理膜層組的唯一方法。 單一 目標(biāo)用于優(yōu)化單波長。 有多達(dá) 100個連續(xù)目標(biāo); 注釋( Comments): 顯示該模型的注釋 ; 可變 膜料 ( Variable Materials): 顯示多達(dá) 150種折射率 可變的 膜料 ; 環(huán)境( Environments): 顯示優(yōu)化期間多達(dá) 10個環(huán)境; 膜料 ( Materials) 讓你顯 示和修改多種 膜料 的光學(xué)參數(shù), 膜料名稱 顯示為字母方式; 基底( Substrates): 讓你顯示和修改基底的光學(xué)數(shù)據(jù),名稱案字母順序排列 。參考波長通常記為 λ0.。如果基底和出射介質(zhì)相同(不存在背面層),這意味著基底厚度無限(不存在由于背面表明的反射);如果他們不相同,則必須考慮多重反射,也就是說,當(dāng)基底和出射介質(zhì)相同(不存在背面層),計(jì)算的透射率是進(jìn)入基底的透射率;如果不同,則需要計(jì)算通過基底的透射率; ? 探測器在探測器名稱序列中,在 使用之前必須定義好。分析參數(shù)( Analysis Parameters)鈕將顯示設(shè)置分析參數(shù)對話框( Set Analysis Parameters dialog),如果你選擇取消,程序?qū)⒉粫紤]你所做的任何改變。使用 “”和 “”鈕增加更多的符號。如果厚度優(yōu)先級(在配置對話框中設(shè)置)是光學(xué)的,那么厚度值將是 QWOT,否則是單位是 nm的物理厚度。 當(dāng)你選擇生成膜層( Generate Layers)按鈕,程序?qū)⑹褂媚ざ压礁淖兦懊鎸哟翱冢?Front Layers window)的內(nèi)容;如果你選擇取消鈕,則所有的改變不起作用。對于每一層,你必須指定: ? 膜料 ,必須在 膜料 數(shù)據(jù)庫中或在 可變 膜料 窗( Variable Material window)中定義的; ? ? 四分之一波長光學(xué)厚度或物理厚度。此外,你還可以增加、刪除、打印、拷貝和附加膜層,該菜單有 7個其他的選項(xiàng),在下一部分說明。注意對話框總是從 0開始,該特征又稱角匹配。 計(jì)算膜層折射率和相位厚度(正常入射)的命令與給定波長和入射角膜層范圍是等價(jià)的。選擇期望的 HLH或 LHL 膜堆,輸入使用的 膜料 名稱,該 膜料 可以是 膜料 庫中的,也可以是可變 膜料 庫中的,按 “Calculate”鈕開始計(jì)算。 顯示總厚度( Show Thickness Totals): 該命令顯示膜系中每種 膜料 的物理厚度和所有膜層的總的物理厚度,對話框下方顯示最薄的膜層 從文件中讀取膜層數(shù)據(jù)( Read Layer Data from File): 該命令讀取文本文件該文件包含 2列,格式 為: 膜料 名稱和物理厚度( mm),對話框中要求你輸入文件名,這是將膜系參數(shù)讀入 TFCal的最簡單的方法。如果第一列是空的,那么它與所有層匹配,在第一列, QWOT和厚度項(xiàng)是不相等的,例如可能 10。允許你增加、刪除、打印、拷貝、附加 。在執(zhí)行優(yōu)化之前必須輸入這些數(shù)據(jù),對于每一個單一目標(biāo),你必須指定: ? 選擇強(qiáng)度( I)還是相位( P)目標(biāo) (也有顏色、光源和派生目標(biāo)的代碼,使用選擇菜單( Option menu)中的增加顏色目標(biāo)( Add Color Targets)和生成派生目標(biāo)( Generate Derivative Targets)命令可以很容易實(shí)現(xiàn) ).; ? 用戶希望優(yōu)化的 值(項(xiàng)目) ,是反射率 (R)還是透射率 (T)。單方向偏振時使用 P或 S;平均偏振使用 D, D=PS。 生成目標(biāo)( Generate Targets): 該命令是你能夠生成許多相同的目標(biāo),見下面右圖中的對話框 : 15 對話框中的大多數(shù)項(xiàng)目與目標(biāo)窗口中的相同。最后 2個選項(xiàng)可以用來優(yōu)化寬帶設(shè)計(jì)。包含目標(biāo)的文本文件開始可能是些注釋行,沒有實(shí)際使用信息,接下來的行包括波長和目 標(biāo)值。 從文件中讀入角度目標(biāo)( Read Angle Targets from File): 該命令是你能夠從文本文件中讀入角度目標(biāo),對話框與前面提到的類似,不同之處是需要設(shè)定波長值 。對話框中大多數(shù)項(xiàng)目與目標(biāo)窗中的相同,選擇 CIE 1931或 CIE 1976標(biāo)準(zhǔn)。 生成派生目標(biāo)( Generate Derivative Targets): 該命令可以在目標(biāo)窗中增加派生目標(biāo)。單一或連續(xù)優(yōu)化目標(biāo)必須在優(yōu)化之前輸入,并且對于每一個連續(xù)目標(biāo),你必須指定: ? 強(qiáng)度( Iintensity)還是相位( Pphase); ? 優(yōu)化值,反射率 (R)或透射率 (T),還是吸收率 (A)、 psi (P)或密度 (D)。 注釋窗( Comments Window) 17 你可以在上述注釋窗中編輯注釋,這些注釋可以保存為文本文件。可以與 膜料 數(shù)據(jù)庫中的 膜料 名稱相同。 當(dāng) 可變 膜料 窗是當(dāng)前窗口時,你可以使用 Options menu增加、刪除、拷貝和附加 可變 膜料 。 可變 膜料 另一個用途是查找一個或多個膜層折射率的理想折射值,然后用等價(jià)膜 堆 HLH 或 LHL膜層來替代 可變 膜料 膜層。如果膜系包含的膜層折射率由于某些外部原因而變化(例如溫度、光強(qiáng)度、電流、磁場、濕度),那么 , 該窗口內(nèi)的有效 膜料可以使用多個環(huán)境來設(shè)計(jì) birefringent基底的膜系,即基底的折射率與入射角度和偏振有關(guān)。該名稱必須在使用之前定義好; ? 基底的物理厚度 mm; ? 出射介質(zhì)名稱(在基底系列中),該名稱必須在使用之前定義好; ? 探測器名稱(在探測器系列中),該名稱必須在使用之前定義好; ? 多達(dá) 3種有效 膜料 —他的折射率由于外界影響而變化; ? 光入射的第一面: Front 或 Back。確信當(dāng)前環(huán)境下,膜系中至少一層使用當(dāng)前環(huán)境列(標(biāo)注 “*”號)中的有效 膜料 。 膜料 和基底窗( Materials and Substrates Windows) 左邊圖形顯示通常的 膜料 和基底窗口內(nèi)容。如果以后選擇,那么必須選中公式類型 。 對于所有的 膜料 ,折射率 N必須大于 0,消光系數(shù) K是 0(對于非吸收介質(zhì) 膜料 ),對于吸收 膜料 : K 0。 色散公式僅在一定 的波長范圍內(nèi)使用,范圍和公式參數(shù)輸入對話框中,當(dāng)按下打印按鈕時,用戶能夠?yàn)樵摴骄庉嬜⑨?;?dāng)按下轉(zhuǎn)換 Convert按鈕時,用戶可以將色散公式轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)表格。 對于色散公式 n(λ),,下面的選擇是合適的: 20 對于色散公式 k(λ),有 4個選項(xiàng): 注意: Schott玻璃公司現(xiàn)在使用 Sellmeier 3 色散公式來表示他的玻璃的特征,然而,其他玻璃制造商仍然使用 Schott公式。注意:你必須關(guān)閉窗口,這樣改變才 會起作用。 21 膜料 和基底數(shù)據(jù)分別存貯。 光源窗口( Illuminant Windows) 下面的圖形顯示可以使用的光源名稱,當(dāng)該窗口是當(dāng)前窗口時,你可以使用其 Options菜單增加、刪除、打印光源名稱。線性插值可以確定表中沒有給出的波長下的強(qiáng)度。 當(dāng)光源窗口是當(dāng)前窗口時,你可以使用其 Options菜單增加、刪除、打印數(shù)據(jù)。例如,在 ILLUMINA目錄中由一個稱作 WHITE的文件。 為了看指定探測器的相關(guān)效率,點(diǎn)擊相關(guān)探測器名稱。 當(dāng)探測器窗口是當(dāng)前窗口時,可以使用 Options菜單增加、刪除和打印數(shù)據(jù)。這樣很容以拷貝數(shù)據(jù)并與同時共享或拷貝到別的計(jì)算機(jī)上。因此就可用作 出 探測器與該膜系的關(guān)系曲線。當(dāng)窗口是當(dāng)前窗口,你可以使用 Options菜單增加、刪除、打印分布。 當(dāng)分布數(shù)據(jù)窗是當(dāng)前窗口,則可以使用其 Options菜單增加、刪除、打印數(shù)據(jù)。例如,在DISTRIBU目錄下的 EQUAL 文件。 運(yùn)行菜單( Run Menu) 使 用該菜單可以分析或優(yōu)化膜系。當(dāng)你修改某些參數(shù),想看看其影響時,使用該命令。 24 優(yōu)化設(shè)計(jì)( Optimize Design): 該命令告訴程序改變膜層后的或組比例系數(shù)(對于使用可變 膜料 ,則該吧折射率),使得下面的評價(jià)函數(shù)值最?。? 式中, m 是目標(biāo)數(shù)目, k 是方法的乘方, I 是光源強(qiáng)度, D 是探測器效率, T 是期望的目標(biāo)值, C 是計(jì)算的(在給定波長、角度和偏振方向條件下的反射率、透射率等) 值, Tol 是目標(biāo) 公差, N 是目標(biāo)歸一化因子。 K值對優(yōu)化結(jié)果有顯著的影響,程序允許其值為: 16和 極 大值。 使用該菜單中的設(shè)置優(yōu)化參數(shù)( Set Optimization Parameters)命令選擇膜層或組是否要優(yōu)化、優(yōu)化方法、重復(fù)次數(shù)等。該對話框里顯示了 2 幅圖形, 上面一個圖顯示的是 25 層數(shù)、膜層總的物理厚度和折射率輪廓線 —每層的折射率相關(guān)厚度。注意連續(xù)目標(biāo)捕捉 偏差的細(xì)節(jié)。 在達(dá)到設(shè)定的重復(fù)次數(shù)之前,優(yōu)化工作一直進(jìn)行,除非你選擇退出 。如果你正在做針優(yōu)化( needle),退出過程由一個延遲時間。 可以接受的設(shè)計(jì)( Designs Accepted):數(shù)字表示 設(shè)計(jì)已經(jīng)包括在 全局 搜索中。 按停止搜索( Stop Searching):按鈕可以在任何時候停止 全局 搜索。 該命令是設(shè)計(jì)者能夠運(yùn)用梯度或可變憑借方法同時優(yōu)化多個設(shè)計(jì)。 選擇結(jié)果菜單( Results menu.)中的顯示 FEI圖( Show EFI Plot)可以顯示結(jié)果。程序?qū)⒏淖內(nèi)我鈱拥暮穸?、分析膜系設(shè)計(jì)、記錄結(jié)果。第 2 個 .性能居中 (通常是最接近膜系的性能的 ),第 1和第 3條 四分點(diǎn) 曲線稍微低于或高于中間曲線的性能;對于每一個波長值, 隨機(jī)設(shè)計(jì)膜系性能在第 1和第 3條曲線之間。 計(jì)算圓錐角平均值( Compute ConeAngle Average): 當(dāng)光不是垂直入射時,可以使用該命令來分析膜系。計(jì)算圓錐角平均值時,顯示下面的對話框,按 Quit按鈕退出。使用設(shè)置監(jiān)控參數(shù)( Set Monitoring Parameters)命令選擇層和監(jiān)控波長,正在計(jì)算曲線時,顯示下面的對話框。 設(shè)置分析參數(shù)( Set Analysis Parameters): 你可以對期望分析的 膜系使用該命令輸入波長范圍和 /或角度 ,對話框如下: 28 選擇給定入射角下波長范圍( range of wavelengths) 還是給定波長下角度變化的范圍( range of incident angles) 或波長和角度。膜系設(shè)計(jì)可以分析多達(dá) 32020 角度。因此Gradient 方法通常在偏差不精確時停止。如果 N個層或組需要重新確定,我們建議采用 Gradient和 Variable Metric方法時次數(shù)設(shè)為 5*N次,而對于 Simplex 方法則設(shè)為 10*N*N次。注意,如果這些方法是從最小值時開始的,則集中在不同的設(shè)計(jì)。非常薄的膜層在 0和小數(shù)量直徑震蕩將減小優(yōu)化方法的效率。在這種情況下,可以說設(shè)計(jì)已經(jīng)優(yōu)化好。當(dāng)你人工停止優(yōu)化后,希望重新恢復(fù)優(yōu)化時,選用該項(xiàng)是很有幫助的。注意,還有一個選擇框( Save the design with prelix of),用于在 tunneling優(yōu)化開始之前保存每一個最佳的優(yōu)化結(jié)果。 全局搜索產(chǎn)生的設(shè)計(jì)范圍由下面因素確定: (1) 當(dāng)前設(shè)計(jì)中哪些層(或組或可變 膜料 )標(biāo)定為要優(yōu)化;(2) Maximum Change from Current Design字段中輸入百分比。如果膜層(或組比例因子或折射率)保持不變,則全局搜索將停止 . 如果僅僅是優(yōu)化具有少量膜層(或組或可變 膜料 )的膜系,則推薦使用相同搜索。例如,如果膜層改變 100 nm,并且厚度可以改變 50%,那么隨機(jī)厚度將在 50和 150 nm之前改變。通常情況下,隨著更多的膜層(或組或可變 膜料 )改變,臨近的數(shù)目應(yīng)該增加。 設(shè)置 FEI 參數(shù)( Set EFI Parameters): 該 命令是你能夠控制 EFI計(jì)算。 膜層厚度的變化可以是相對的,也可以是絕對的 (可以是物理的或者是光學(xué)的厚度 );點(diǎn)擊你期望的選項(xiàng)并輸入期望的誤差值。如果選擇 Vary All Layers檢查框,則每層厚度將該筆;否則僅僅標(biāo)記要優(yōu)化的層厚度會發(fā)生改變。 對話框如右下圖所示: 圓錐角的中心角總是 Environment對話框中的入射角,角度值可以設(shè)置為 halfangle或 f/number。 設(shè)置監(jiān)控參數(shù)( Set Monitoring Parameters): 該命令允許用戶指定計(jì)算監(jiān)控曲線所用的參數(shù) , 下面是其對話框: 它可以監(jiān)控反射率( reflectance)、透射率( transmittance)、 delta、或 psi。如果監(jiān)控基底背后的反射光,則一定要選中 Reverse side of chip reflects。將出現(xiàn)下面的對話框: 用戶可以為所有的 膜料 選擇相同的監(jiān)控比,或者針對不同 膜料 設(shè)置不同的監(jiān)控比。 顯示表( Show Table): 顯示下列內(nèi)容的表: (1) 反射率、透射率、吸收率 psi、強(qiáng)度、損耗或 (2)反射或透視后
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