《電子探針顯微分析》ppt課件-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 圓，半徑為 R。 ?當(dāng)某一波長(zhǎng)的 X射線自點(diǎn)光源 S處發(fā)出時(shí)，晶體內(nèi)表面任意點(diǎn) A、 B、 C上接收到的 X射線相對(duì)于點(diǎn)光源來(lái)說(shuō) ,入射角都相等，由此 A、 B、 C各點(diǎn)的衍射線都能在 D點(diǎn)附近聚焦。 3. 波譜儀的種類(lèi) ? 在電子探針中，一般點(diǎn)光源 S不動(dòng)，改變晶體和探測(cè)器的位置，達(dá)到分析檢測(cè)的目的。 ?直進(jìn)式譜儀 ? 這種譜儀的特點(diǎn)是分光晶體從點(diǎn)光源 S向外沿著一直線運(yùn)動(dòng)， X射線出射角不變，晶體通過(guò)自轉(zhuǎn)改變 ?角。 在 O1圓上 L1 — 點(diǎn)光源和分光晶體距離，在儀器上讀取， R — 已知，可求得 θ1，即可求得 λ1 L1 — 點(diǎn)光源和分光晶體距離，在儀器上讀取， R — 已知，可求得 θ1，即可求得 λ1 1 1 12 s i nRLRd?????? ?????分析方法 直進(jìn)式波譜儀中在進(jìn)行定點(diǎn)分析時(shí)，只要把距離 L從小變大，就可在某些特定位置測(cè)到特征波長(zhǎng)信號(hào)，經(jīng)處理后可在熒光屏或 XY記錄儀上把譜線描繪出來(lái)?？梢?jiàn)一個(gè)分光晶體能夠覆蓋的波長(zhǎng)范圍是有限的，也只能測(cè)定某一原子序數(shù)范圍的元素。 6 . 能量分散譜儀（能譜儀 E DS ）1 . 工作原理利用不同元素 X 射線光子特征能量不同特點(diǎn)進(jìn)行成分分析鋰漂移硅能譜儀 Si (Li ) 框圖加在 S i ( L i ) 晶體兩端偏壓來(lái)收集電子空穴對(duì)→ （前置放大器）轉(zhuǎn)換成電流脈沖→ （主放大器）轉(zhuǎn)換成電壓脈沖→ （后進(jìn)入）多通脈沖高度分析器，按高度把脈沖分類(lèi)，并計(jì)數(shù)，從而描繪 I － E 圖譜。 1. 定性分析 ? 定義 ：定點(diǎn)定性分析是對(duì)試樣某一選定點(diǎn)（區(qū)域）進(jìn)行定性成分分析，以確定該點(diǎn)區(qū)域內(nèi)存在的元素。 (1)定點(diǎn)定性分析 (2)能譜定性分析 ?能譜譜線的鑒別可以用以下兩種方法： (1)根據(jù)經(jīng)驗(yàn)及譜線所在的能量位量估計(jì)某一峰或幾個(gè)峰是某元素的特征 X射線峰，讓能譜儀在熒光屏上顯示該元素特征 X射線標(biāo)志線來(lái)核對(duì)； (2)當(dāng)無(wú)法估計(jì)可能是什么元素時(shí)，根據(jù)譜峰所在位置的能量查找元素各系譜線的能量卡片或能量圖來(lái)確定是什么元素。 ? 此外，由于波譜儀的晶體分光特點(diǎn)，對(duì)波長(zhǎng)為 ?的 X射線不僅可以在 ?＝ ?B處探測(cè)到 n＝ 1的一級(jí) X射線，同時(shí)可在其它 ?角處探測(cè)到 n = 2， 3?? 的高級(jí)衍射線。 ? 通常將電子束掃描線，特征 X射線強(qiáng)度分布曲線重疊于二次電子圖象之上可以更加直觀地表明元素含量分布與形貌、結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。在有關(guān)擴(kuò)散現(xiàn)象的研究中，電子探針比剝層化學(xué)分析、放射性示蹤原子等方法更方便。若試樣上某區(qū)域該元素含量多，熒光屏圖像上相應(yīng)區(qū)域的亮點(diǎn)就密集。然而，由譜線強(qiáng)度的直接對(duì)比只能對(duì)元素的相對(duì)含量作出粗略的估計(jì)，即使通過(guò)強(qiáng)度的歸一化求得的濃度值，最多也只能是 — 種半定量分析結(jié)果，其誤差是相當(dāng)大的。 ? 利用 X射線光譜儀或能譜儀可以對(duì)微區(qū)成分進(jìn)行定量分析，在鋼鐵等復(fù)相材料中相的鑒定和夾雜物分析中，在鑄造合金的成分偏析的分析中得到了廣泛的應(yīng)用。但是這種成分不均勻是宏觀范圍內(nèi)的不均勻，在接觸的兩相界面兩側(cè)微觀范圍內(nèi)(1?m量級(jí) )成分還是均勻的，并且達(dá)到了平衡狀態(tài)。
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