《薄膜技術(shù)及應(yīng)用》ppt課件-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 ，過(guò)去需要眾多材料組合才能實(shí)現(xiàn)的功能，現(xiàn)在僅僅需要少數(shù)幾個(gè)器件或一塊集成電路板就可以完成 。 薄膜材料科學(xué)成為材料科學(xué)中發(fā)展最迅速分支的原因： (3) 薄膜技術(shù)作為材料制備的有效手段，可以將各種不同材料靈活地復(fù)合在一起，構(gòu)成具有優(yōu)異特性的復(fù)雜材料體系，發(fā)揮每種材料各自的優(yōu)勢(shì)，避免單一材料的局限性．薄膜材料學(xué)在科學(xué)技術(shù)以及國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著越來(lái)越大的作用 。 CV Characteristics of GaAs/AlGaAs Superlattice Structure showing capacitance Oscillations Associated with charge accumulation due to the sequential tunneling of electrons. ④ 薄膜敏感元件與固態(tài)傳感器 薄膜可燃?xì)怏w傳感器、薄膜氧敏傳感器、薄膜應(yīng)變電阻與壓力傳感器、薄膜熱敏電阻和薄膜離子敏傳感器等。 OLED Displays: Better Than Plasma Or LCD ⑧ 用 ZnO、 AlN等薄膜制成的聲表面波濾波器。 刀具表面氮化物、氧化物、碳化物鍍膜 ? 硬質(zhì)膜、耐蝕膜、潤(rùn)滑膜 ?有機(jī)分子薄膜 ?裝飾膜 ?包裝膜 薄膜材料學(xué)涉及的內(nèi)容： (1)薄膜材料的制備手段； (2)薄膜材料的形核與生長(zhǎng)理論； (3)薄膜材料的表征技術(shù)； (4)薄膜材料的體系、性能及應(yīng)用 。 在一般的溫度和壓力條件下，所有氣體可看作理想氣體。 在氣體壓力低于 ,氣體分子間的碰撞幾率很小，氣體分子的碰撞主要是其與容器器壁間的碰撞。 氣體分子的通量與壓力呈正比，與溫度和 相對(duì)原子質(zhì)量乘積的 1/2次方成反比。 襯底完全被一層雜質(zhì)氣體分子覆蓋所需要的 時(shí)間為 其中 N為襯底表面的原子面密度。 濺射沉積需要中、高真空（ 102 ~ 105 Pa） 。 氣體的流動(dòng)狀態(tài)和真空抽速 氣體的流動(dòng)狀態(tài) 氣體分子的無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)本身并不導(dǎo)致氣體的宏觀流動(dòng)。特點(diǎn)是氣體分子平均自由程超過(guò)氣體容器的尺寸或與其相當(dāng)。 氣體的流動(dòng)狀態(tài)和真空抽速 氣體的流動(dòng)狀態(tài) 克努森（ Knudsen）準(zhǔn)數(shù) 層流狀態(tài) ： 低流速黏滯流所處的 氣流狀態(tài) 。 在氣體流速較高的情況下，各層氣體的流動(dòng)方向之間不能保持相互平行的狀態(tài)，而呈現(xiàn)出一種旋渦狀的流動(dòng)形式。 氣體種類(lèi)、溫度不同 ?氣體的流速不同 ?即使壓力差相同，管路中氣體流量 Q也不同。當(dāng)壓力升高時(shí)，氣體通過(guò)單位面積的流量有增加的趨勢(shì)，因而管路流導(dǎo)的數(shù)值增加。 抽速特指一個(gè)截面上的氣體流速。當(dāng) Sp=C時(shí)， S=Sp/2。 采用對(duì)氣體進(jìn)行壓縮的方式將氣體分子輸送至真空系 統(tǒng)之外。 理論抽速： 抽速 :1~300L/s 極限真空度： 101 Pa 羅茨（ Roots）真空泵 工作 原理： 泵內(nèi)兩個(gè)呈 8字型的轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。 抽速 : 幾升 104 L/s 極限真空度： 1106 Pa Diffusion Pumping System 渦輪分子泵 工作 原理： 工作靠對(duì)氣體分子施加作用力，并使氣體分子向特定方向運(yùn)動(dòng)。如氮?dú)?，壓縮比達(dá)109。 濺射離子泵 工作原理：高壓陰極發(fā)射出的高速電子與殘余氣體分子碰撞引起電離放電，電離的氣體分子高速撞擊 Ti陰極濺射出大量 Ti原子。 真空的測(cè)量 與真空環(huán)境的獲得方法密切相關(guān)的是真空的測(cè)量技術(shù)。 熱偶規(guī)和皮拉尼規(guī)是以氣體熱導(dǎo)率隨氣體壓力的變化為基礎(chǔ)而設(shè)計(jì)的，是最常用的低真空測(cè)量手段。這時(shí)，用熱電偶測(cè)出了熱絲本身的溫度，也就相應(yīng)測(cè)出了環(huán)境的氣體壓力。 皮拉尼真空規(guī)又稱(chēng)熱阻式真空規(guī)。 電離真空規(guī) 與熱偶真空規(guī)結(jié)合使用的高真空規(guī)。 由于離子電流的大小將取決于陰極發(fā)射的電子電流強(qiáng)度 Ie、氣體分子的碰撞截面及氣體分子密度，因而在固定陰極發(fā)射電流和氣體種類(lèi)的情況下，離子電流強(qiáng)度將直接取決于電離氣體的壓力。 由于不同氣體分子的碰撞電離截面不同，因而電離真空規(guī)的測(cè)量值也與所測(cè)氣體種類(lèi)有關(guān)。
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1