《培訓資料電鏡》ppt課件-預覽頁
【正文】 導管送入光電倍增器，光信號放大，即又轉化成電流信號輸出，電流信號經(jīng)視頻放大器放大后就成為調制信號。 （ 3） 景深 SEM（二次電子像）的景深比光學顯微鏡的大，成像富有立體感。 14 掃描電子顯微鏡景深 15 日立 S4800 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 主要性能： 二次電子像分辨率： (15kv)； (1kv,減速模式 )； (1kV)普通模式 加速電壓： ~ 30kV 放大倍率： 20 ~ 800,000 束流強度： 1pA~2nA 物鏡光欄：加熱自清潔式、四孔、可移動物鏡光欄 樣品室和樣品臺：移動范圍： X： 0~50mm； Y：0~5mm； Z： ~30mm； T： 5~700旋轉 R：3600，最大樣品尺寸： 100mm 探測器 : 高位探頭可選擇接受二次電子像或背散射像，并混合 INCA Energy 350 X射線能譜儀技術指標： Xsight Si(Li) 探測器 (專利 )， SuperATW 窗口 30mm2 活區(qū)，分辨率優(yōu)于 133eV (MnKα處 ,計數(shù)率為 4000cps)，分析元素范圍： Be4U92 16 第二節(jié) 像襯原理與應用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 ：像的各部分 (即各像元 )強度相對于其平均強度的變化。 18 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： (1)形貌襯度 (2)成分襯度 (3)電壓襯度 (4)磁襯度 (第一類 ) 形貌襯度原理 樣品傾斜角 ? 入射電子束 表面法線 樣品傾斜角 ?越大 二次電子產(chǎn)額越大 圖像越明亮 19 二次電子像襯度的特點： （ 1）分辨率高 （ 2）景深大，立體感強 （ 3）主要反映形貌襯度。在利用掃描電鏡進行直接觀察時，會產(chǎn)生嚴重的荷電現(xiàn)象，影響對樣品的觀察，因此需要在樣品表面蒸鍍導電性能好的金等導電薄膜層。 ? 假如樣品鍍層太薄，對于樣品表面粗糙的樣品，不容易獲得連續(xù)均勻的鍍層，容易形成島狀結構，從而掩蓋樣品的真實表面。這樣可以避免島狀結構的形成。 樣品制備 ? 對于其它導電性好的樣品如金屬，合金以及半導體材料，薄膜樣品基本不需要進行樣品處理，就可以直接觀察。對于粉體樣品可以直接固定在導電膠帶上。 ? 其鏡筒部分構造和 SEM相同，檢測部分使用 X射線譜儀。 Si(Li)檢測器探頭結構示意圖 在 Si(Li)晶體兩端偏壓來收集電子空穴對 → （前置放大器）轉換成電流脈沖 → （主放大器）轉換成電壓脈沖 → （后進入）多通脈沖高度分析器，按高度把脈沖分類，并計數(shù)，從而描繪 I－ E圖譜。 缺點： (1)能量分辨率低，峰背比低 。 (3)定量分析精度不如波譜儀 。根據(jù)莫塞萊定律可確定被測物質所含有的元素 lnRd??38 波譜儀的特點： 優(yōu)點： （ 1）波長分辨率很高 如，它可將波長十分接近的VK?()、 CrK?1()和CrK?2()3根譜線清晰地分開； （ 2）分析的元素范圍寬 4Be~92U； （ 3）定量比能譜儀準確。 ? 面掃描分析（ X射線成像 ） ：電子束在樣品表面作光柵掃描，將譜儀（波、能）固定在所要測量的某一元素特征X射線信號（波長或能量）的位置，此時，在熒光屏上得到該元素的面分布圖像。 2．熟悉掃描電子顯微鏡的樣品制
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