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【正文】 y，PHD) 7. 納米壓痕技術(shù)(nanoindentation) 8. 納米加工技術(shù)(nanolithography),第三十六頁(yè)，共三十九頁(yè)。,(4)樣品上污物引起的假象：當(dāng)樣品上的污物與基底吸附不牢時(shí)，污物可能校正在掃描的針尖帶走．并隨針尖運(yùn)動(dòng)，致使大面積圖像模糊不清(圖3.13)．,圖3.13 樣品上污物引起的假象,第三十三頁(yè)，共三十九頁(yè)。相反，當(dāng)樣品比針尖更尖時(shí)，假象就會(huì)出現(xiàn)，這時(shí)成像主要為針尖特征．高表面率的針尖可以減少這種假象發(fā)生．,第三十頁(yè)，共三十九頁(yè)。,第二十八頁(yè)，共三十九頁(yè)。當(dāng)針尖碰到凸起時(shí)，振動(dòng)振幅會(huì)降低，同樣當(dāng)針尖碰到凹槽之后振動(dòng)振幅會(huì)增加。,第二十七頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Noncontact Mode AFM,第二十五頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Noncontact mode Mode AFM,在非接觸模式中，這件和樣品之間的距離在幾十到幾百個(gè)197。,第二十二頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Dimension SPM Head,激光瞄準(zhǔn)螺絲,激光反射鏡,反光鏡調(diào)節(jié)螺絲,主透鏡,壓電管掃描器,跟蹤鏡頭,可移動(dòng)懸臂支架,可調(diào)探測(cè)器鏡,第十九頁(yè)，共三十九頁(yè)。,第十七頁(yè)，共三十九頁(yè)。在沒(méi)有垂直或者橫向力的時(shí)候，被反射的激光束是打在探測(cè)器中心的。Δx,第十四頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Simplified Diagram AFM,壓力,掃描式發(fā)送管,光電二極管,垂直方向電壓,反射激光束,設(shè)定電壓,第十二頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Input and Display Equipment,第八頁(yè)，共三十九頁(yè)。,第四頁(yè)，共三十九頁(yè)。Atomic Force Microscope,Nie Changjiang,第一頁(yè)，共三十九頁(yè)。,Basic Working Principle of SPM,If there is a sharp enough and unique (single valued) dependence P = P (z) of that parameter on the tipsample distance, then P can be used in the feedback system (FS) that control the distance betw
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