【正文】 （）、設(shè)備（INCOLOY 800）、閥門、管道材質(zhì)、加工工藝要求高；硅粉氣相進(jìn)料，閥門、管道磨損嚴(yán)重，氣相介質(zhì)密封難度大；氣固沸騰反應(yīng)，設(shè)備、管道磨損嚴(yán)重、安全性要求高；由于多晶硅企業(yè)間保密，無(wú)成熟運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)可循、員工綜合素質(zhì)要求高；硅粉帶入雜質(zhì)、產(chǎn)品TCS需曾設(shè)精餾裝置。工藝流程圖如圖3。(3)熱氫化單元工藝流程簡(jiǎn)述來(lái)自氯硅烷罐區(qū)的精制四氯化硅通過(guò)泵加壓進(jìn)入氫化爐汽化器，汽化器外設(shè)蒸汽夾套，內(nèi)設(shè)盤管，用10bar(g)的蒸汽加熱，將四氯化硅汽化送至各氫化的氣體混合氣柜，與高純氫氣按一定比例在氣體混合氣柜均勻混合，經(jīng)氫化爐尾氣換熱器（力臂克管），由氫化爐反應(yīng)尾氣預(yù)熱后，通過(guò)氫化爐底盤噴嘴進(jìn)入爐內(nèi)，在1250℃溫度下，氫氣與四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，生成二氯二氫硅、三氯氫硅和氯化氫。（2）粗餾工序來(lái)自冷氫化工序的粗氯硅烷液送入1級(jí)粗餾塔進(jìn)行預(yù)分離。如采用氯化氫參與的冷氫化反應(yīng)，則氯化氫氣體也經(jīng)壓縮機(jī)壓縮后按比例經(jīng)預(yù)熱器加熱后送至氫化反應(yīng)器中。冷、熱氫化工藝選擇（1）冷氫化工序工業(yè)級(jí)硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中間倉(cāng)。氣體排放物在尾氣淋洗塔系統(tǒng)中處理。ISO集裝箱（4000KG）將直接裝運(yùn)。使用兩臺(tái)球罐儲(chǔ)存硅烷，儲(chǔ)量約為二十天。硅烷存儲(chǔ)和灌裝：現(xiàn)場(chǎng)硅烷生產(chǎn)、存儲(chǔ)、包裝和運(yùn)輸設(shè)備對(duì)人身、設(shè)備和建筑的危害降至最低。塔頂產(chǎn)物富含硅烷，送入精餾提純。將DCS導(dǎo)入第二臺(tái)反應(yīng)精餾塔，該塔與第一臺(tái)結(jié)構(gòu)類似，但操作條件不同。STC作為塔底產(chǎn)物分離出來(lái)，送至存儲(chǔ)以返回到買方TCS生產(chǎn)，塔頂富含DCS的產(chǎn)物加壓后送至第二胎反應(yīng)精餾 圖1 硅烷氣生產(chǎn)工藝流程圖硅烷生產(chǎn)線由兩臺(tái)反應(yīng)精餾塔，一臺(tái)提純精餾塔及其配套進(jìn)料槽、進(jìn)料泵、冷凝器、再沸器、回流罐、回流和塔底泵。美國(guó)REC(前身為Asimi)采用該方法來(lái)制備硅烷氣體。硅鎂合金法制備硅烷的工藝流程非常簡(jiǎn)練。整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程完全實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)閉路循環(huán)，保護(hù)環(huán)境，綠色生產(chǎn)。 （5）從能源綜合利用來(lái)看，工藝上采用國(guó)際上最先進(jìn)的四氯化硅冷氫化技術(shù)，四氯化硅可實(shí)現(xiàn)全部工廠內(nèi)部消化，且95%以上可以轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，利用率高，降低了多晶硅生產(chǎn)的單位電耗。做到少投入、多產(chǎn)出，這樣既充分利用了企業(yè)現(xiàn)有的資源，又可以得到良好的經(jīng)濟(jì)效益。（3）公司充分利用現(xiàn)有公用工程配套優(yōu)勢(shì)。項(xiàng)目同時(shí)為了解決還原車間電耗較高問(wèn)題，上冷氫化生產(chǎn)線與硅烷生產(chǎn)和多晶硅生產(chǎn)相配套，把一期的熱氫化改造成冷氫化，達(dá)到提高STC轉(zhuǎn)化效率，減少消耗，降低多晶硅生產(chǎn)成本的目的，實(shí)現(xiàn)零排放零污染，綠色生產(chǎn)。因?yàn)楣柰顨怏w沒(méi)有腐蝕性而三氯氫硅具有較強(qiáng)的腐蝕性，所以硅烷法工藝對(duì)工藝管道和設(shè)備的要求比三氯氫硅法低，生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的總投資比三氯氫硅法低。硅烷氣制備多晶硅成本比西門子法制備多晶硅有大幅度的下降，通過(guò)硅烷生產(chǎn)，使得企業(yè)產(chǎn)品成本下降，提高企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。但是面對(duì)未來(lái)的光伏市場(chǎng)，企業(yè)要生存就必須發(fā)展，發(fā)展是硬道理，發(fā)展是企業(yè)生存的唯一法寶。9月6日，歐盟也不計(jì)后果地對(duì)中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)立案“雙反”，更使得這一行業(yè)雪上加霜。一期設(shè)計(jì)建設(shè)由一批經(jīng)驗(yàn)豐富的中外專家組成，保證了產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和流程設(shè)計(jì)理念一流、技術(shù)領(lǐng)先。這一技術(shù)的突破和應(yīng)用，不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)硅烷氣技術(shù)的空白，也為今后國(guó)家的電子工業(yè)，新能源材料提供了高品質(zhì)、低成本、大規(guī)模原材料供應(yīng)基地。目前有能力生產(chǎn)6N級(jí)以上高純電子氣體的只有少數(shù)國(guó)家，而高純氣體在電子產(chǎn)品、航空航天、高效太陽(yáng)能電池、軍事工業(yè)方面有著廣泛的應(yīng)用。硅烷—電子特種氣體，尤其是高純電子氣體作為電子化工材料，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。其中硅烷尤其是高純度硅烷，是制約集成電路可靠性和成品率的重要因素。公司采用世界先進(jìn)的第三代改良西門子技術(shù)，大流量、高沉積速度的還原爐技術(shù)，獨(dú)創(chuàng)高效循環(huán)生產(chǎn)工藝，利用西門子DCS控制系統(tǒng)，引進(jìn)美國(guó)CDI尾氣回收技術(shù)，基本實(shí)現(xiàn)零排放標(biāo)準(zhǔn)。2 項(xiàng)目概況 建設(shè)單位基本情況 項(xiàng)目名稱及項(xiàng)目建設(shè)單位項(xiàng)目名稱：年產(chǎn)500噸硅烷項(xiàng)目企業(yè)名稱：某半導(dǎo)體新材料有限公司企業(yè)性質(zhì)：民營(yíng)企業(yè)法定代表人： 項(xiàng)目地址：某鎮(zhèn)市高新區(qū)產(chǎn)業(yè)園內(nèi) 企業(yè)概況某半導(dǎo)體新材料有限公司是中電電氣集團(tuán)旗下的一家全資子公司。（2）評(píng)價(jià)項(xiàng)目主要工藝、技術(shù)、設(shè)備用能的合理性和先進(jìn)性。隨著電力、天然氣等能源價(jià)格的上漲，生產(chǎn)成本也在上升。同時(shí)配套一條3萬(wàn)噸冷氫化裝置和精餾裝置。硅烷，也稱矽烷，化學(xué)式為SiH4的一種化合物。.年產(chǎn)500噸硅烷項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估報(bào)告目 錄前 言 11 評(píng)估依據(jù) 3 節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制目的 3 節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制依據(jù) 3 3 有關(guān)法律、法規(guī) 3 有關(guān)指導(dǎo)性文件 4 國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范規(guī)程 4 節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制內(nèi)容 62 項(xiàng)目概況 8 建設(shè)單位基本情況 8 項(xiàng)目名稱及項(xiàng)目建設(shè)單位 8 企業(yè)概況 8 項(xiàng)目基本情況 8 項(xiàng)目由來(lái) 8 項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模及內(nèi)容 10 項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度 11 項(xiàng)目工藝方案 11 工藝流程簡(jiǎn)述 11 三氯化磷項(xiàng)目總平面布置 12 項(xiàng)目的主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo) 13 項(xiàng)目用能概況 14 項(xiàng)目主要用能設(shè)備和供、用能系統(tǒng) 14 項(xiàng)目主要能源消耗結(jié)構(gòu) 14 能源消耗平衡表 163 能源供應(yīng)情況分析評(píng)估 17 項(xiàng)目所在地能源供應(yīng)條件及消費(fèi)情況 17 項(xiàng)目能源消費(fèi)對(duì)當(dāng)?shù)啬茉聪M(fèi)的影響 18 環(huán)境保護(hù)實(shí)施情況 184 項(xiàng)目建設(shè)方案節(jié)能評(píng)估 21 項(xiàng)目選址、總平面布置評(píng)估 21 項(xiàng)目選址節(jié)能評(píng)估 21 總平面布置評(píng)估 21 生產(chǎn)工藝、技術(shù)方案評(píng)估 22 主要用能工序節(jié)能評(píng)估 23 項(xiàng)目主要耗能設(shè)備選型評(píng)估 24 自控設(shè)備選擇 24 主要設(shè)備制造標(biāo)準(zhǔn) 26 27 28 供熱系統(tǒng) 29 輔助生產(chǎn)系統(tǒng)能源利用狀況分析評(píng)估 30 30 自動(dòng)控制系統(tǒng) 30 變壓器系統(tǒng) 30 電機(jī)系統(tǒng) 31 暖通動(dòng)力系統(tǒng) 31 循環(huán)水冷卻系統(tǒng) 31 附屬生產(chǎn)系統(tǒng)能源利用狀況分析 31 其它設(shè)施能源利用狀況分析 325 項(xiàng)目能源消耗水平評(píng)估 33 項(xiàng)目能源消耗種類、來(lái)源 33 能源加工轉(zhuǎn)換評(píng)估 336節(jié)能對(duì)策措施和效果分析 36 節(jié)能措施 36 能源管理及能源計(jì)量配備 37 387 評(píng)估結(jié)論 398 合理化建議 409 附件 41.前 言為貫徹落實(shí)《中華人民共和國(guó)節(jié)約能源法》、《國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)節(jié)能工作的決定》、國(guó)家發(fā)改委《關(guān)于加強(qiáng)固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估和審查工作的通知》、《省人民政府關(guān)于加強(qiáng)節(jié)能工作的實(shí)施意見(jiàn)》（贛府發(fā)[2006]24號(hào)）、《xx鎮(zhèn)市人民政府關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)節(jié)能工作的意見(jiàn)》（景府發(fā)〔2007〕17號(hào)）、《省工業(yè)固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估和審查辦法》（試行）贛工信節(jié)能字[2011]378號(hào)等文件精神和要求，重點(diǎn)能耗企業(yè)實(shí)施新建、改建和擴(kuò)建的固定資產(chǎn)投資和技術(shù)改造項(xiàng)目必須按照要求進(jìn)行節(jié)能評(píng)估和審查。觸犯法律的，要依法予以處罰，具體按照《省關(guān)于加強(qiáng)固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估和審查工作的通知》執(zhí)行。本項(xiàng)目通過(guò)氯硅烷歧化反應(yīng)法新建年產(chǎn)500噸硅烷氣生產(chǎn)線，生產(chǎn)過(guò)程閉路，對(duì)節(jié)能環(huán)保有利，轉(zhuǎn)化率高，是當(dāng)今最先進(jìn)的硅烷生產(chǎn)技術(shù)。項(xiàng)目主要耗能設(shè)備有冷氫化反應(yīng)器、鍋爐、加熱器、循環(huán)泵、風(fēng)機(jī)、加料泵、輸料泵、精餾塔等；硅烷法生產(chǎn)工業(yè)電子級(jí)硅料是化工類高耗能產(chǎn)品，能耗的高低直接影響產(chǎn)品的經(jīng)濟(jì)效益。1 評(píng)估依據(jù) 節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制目的及意義（1）評(píng)價(jià)項(xiàng)目是否符合國(guó)家、省、市有關(guān)節(jié)能法律、法規(guī)、規(guī)章和產(chǎn)業(yè)政策。 節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制依據(jù)《年產(chǎn)500噸硅烷項(xiàng)目可行性研究報(bào)告》 有關(guān)法律、法規(guī)（1）《中華人民共和國(guó)節(jié)約能源法》（2）《省實(shí)施〈節(jié)能法〉辦法》（3）《中華人民共和國(guó)可再生能源法》（4）《中華人民共和國(guó)電力法》（5）《省節(jié)約能源條例》（6）《中華人民共和國(guó)循環(huán)經(jīng)濟(jì)促進(jìn)法》（7）《省人民政府關(guān)于加強(qiáng)節(jié)能工作的實(shí)施意見(jiàn)》（贛府發(fā)[2006]24號(hào)）（8）《xx鎮(zhèn)市人民政府關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)節(jié)能工作的意見(jiàn)》（景府發(fā)〔2007〕17號(hào)）（9）《省工業(yè)固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估和審查辦法》（試行）贛工信節(jié)能字[2011]378號(hào) 有關(guān)指導(dǎo)性文件（1）《中國(guó)節(jié)能技術(shù)政策性綱要》（國(guó)家發(fā)展改革委、科技部[2006]）（2）《節(jié)能中長(zhǎng)期專項(xiàng)規(guī)劃》（3）《關(guān)于固定資產(chǎn)投資工程項(xiàng)目可行性研究報(bào)告“節(jié)能篇（章）”編制和評(píng)估規(guī)定》（4）《節(jié)約用電管理辦法》（5）《重點(diǎn)用能單位節(jié)能管理辦法》（原國(guó)家經(jīng)貿(mào)委令第7號(hào)）（6）《產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）》（國(guó)家發(fā)改委第40號(hào)令） （7）《部分工業(yè)行業(yè)淘汰落后生產(chǎn)工藝裝備和產(chǎn)品指導(dǎo)目錄(2010年本)》(工產(chǎn)業(yè)[2010]第122號(hào)) （8）《高耗能落后機(jī)電設(shè)備(產(chǎn)品)淘汰目錄》(第一批)工節(jié)[2009]第67號(hào)（9）《高耗能落后機(jī)電設(shè)備(產(chǎn)品)淘汰目錄》(第二批)工節(jié)[2012]第14號(hào) （10）《國(guó)家重點(diǎn)節(jié)能技術(shù)推廣目錄》(第一批)國(guó)發(fā)[2008] 36號(hào) （11）《國(guó)家重點(diǎn)節(jié)能技術(shù)推廣目錄》(第二批)國(guó)發(fā)[2009] 24號(hào) （12）《國(guó)家重點(diǎn)節(jié)能技術(shù)推廣目錄》(第三批)國(guó)發(fā)[2010] 33號(hào) （13）《國(guó)家重點(diǎn)節(jié)能技術(shù)推廣目錄》(第四批)國(guó)發(fā)[2011]34號(hào) （14）《工業(yè)和信息化部節(jié)能機(jī)電設(shè)備(產(chǎn)品)推薦目錄》(第一批)工節(jié)［2009］第41號(hào) （15）《工業(yè)和信息化部節(jié)能機(jī)電設(shè)備(產(chǎn)品)推薦目錄》(第二批)工節(jié)[2010]第112號(hào) （16）《工業(yè)和信息化部節(jié)能機(jī)電設(shè)備(產(chǎn)品)推薦目錄》(第三批)工節(jié)[2011]第42號(hào)（17）2011年國(guó)家節(jié)能中心《固定資產(chǎn)投資項(xiàng)目節(jié)能評(píng)估報(bào)告編制指南》 國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范規(guī)程 (1)工業(yè)類及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB501871993《工業(yè)企業(yè)能源管理導(dǎo)則》GB/T155872008《機(jī)械行業(yè)節(jié)能設(shè)計(jì)規(guī)范》JBJ142004《機(jī)械工廠年時(shí)基數(shù)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》JBT22000《空氣壓縮站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB500292003《容積式空氣壓縮機(jī)能效限定值及節(jié)能評(píng)價(jià)值》GB191532003《熱處理節(jié)能技術(shù)導(dǎo)則》G/Z187182002《評(píng)價(jià)企業(yè)合理用熱技術(shù)導(dǎo)則》GB/T348693《設(shè)備及管道絕熱技術(shù)通則》GB42722008《工業(yè)余熱術(shù)語(yǔ)、分類、等級(jí)及余熱資源量計(jì)算方法》GB/T10282000(2)電氣專業(yè)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB500522009《民用建筑電氣設(shè)計(jì)規(guī)范》JGJ 162008《評(píng)價(jià)企業(yè)合理用電技術(shù)導(dǎo)則》GB/T348598《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 500541995《通用用電設(shè)備配電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB5005593《10kV及以下變電所設(shè)計(jì)規(guī)范》GB500531994 《電力變壓器經(jīng)濟(jì)運(yùn)行》GB/T 134622008《電力變壓器選用導(dǎo)則》GB/T 174682008《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》GB500342004《金屬鹵化物燈能效限定值及能效等級(jí)》GB 200542006《金屬鹵化物燈用鎮(zhèn)流器能效限定值及能效等級(jí)》GB 200532006《中小型三相異步電動(dòng)機(jī)能效限定值及能效等級(jí)》GB186132006《三相異步電動(dòng)機(jī)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行》GB124972006《清水離心泵能效限定值及節(jié)能評(píng)價(jià)值》GB197622005 (3)暖通專業(yè)《城鎮(zhèn)供熱管網(wǎng)設(shè)計(jì)規(guī)范》CJJ342010《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB500192003《房間空氣調(diào)節(jié)器能效限定值及能源效率等級(jí)》《散熱器恒溫控制閥》JG/T 1952007《通風(fēng)機(jī)能效限定值及節(jié)能評(píng)價(jià)值》GB197612005(4)給排水專業(yè)《節(jié)水型企業(yè)評(píng)價(jià)導(dǎo)則》GB/T71192006《建筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 500152003(2009年版)《室外排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 500142006(2011年版)《室外給水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 500132006《民用建筑節(jié)水設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》GB 505552010《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》CJ3432010《節(jié)水型生活器具》CJ1642002(5)燃?xì)鈱I(yè)《燃?xì)馊紵骶甙踩夹g(shù)條件》GBl69142003《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》GB500282006《城鎮(zhèn)燃?xì)饧夹g(shù)規(guī)范》GB504942009(6)建筑專業(yè)《公共建筑節(jié)能設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》GB501892005《建筑外門窗氣密、水密、抗