[工學(xué)]07-第4章 精密和超精密加工機(jī)床-全文預(yù)覽
【正文】 精密和超精密加工機(jī)床空氣靜壓軸承主軸示例空氣靜壓軸承主軸示例第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 1）） 液體靜壓導(dǎo)軌液體靜壓導(dǎo)軌靜壓導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)：消除低速爬行吸振減振誤差遲鈍化減小摩擦阻力第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床導(dǎo)軌系統(tǒng) 2）） 氣體靜壓導(dǎo)軌氣體靜壓導(dǎo)軌第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 3）） 靜壓導(dǎo)軌的精度靜壓導(dǎo)軌的精度第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 精密機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng) 精密數(shù)控系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)1）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)? 多軸聯(lián)動(dòng)（非球曲面要求：多軸聯(lián)動(dòng)（非球曲面要求： x軸、軸、 y軸、軸、 B轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動(dòng)）轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動(dòng)）? 系統(tǒng)高分辨率：系統(tǒng)高分辨率： ≤ μm /脈沖脈沖? 驅(qū)動(dòng)電機(jī)：直流伺服電機(jī)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)電機(jī)：直流伺服電機(jī)或交流伺服電機(jī)? 閉環(huán)控制：位移信號(hào)反饋（光柵磁尺、激光測(cè)量系統(tǒng)閉環(huán)控制：位移信號(hào)反饋（光柵磁尺、激光測(cè)量系統(tǒng) …)2）典型機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)：）典型機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)：? 德國(guó)德國(guó) ———— 西門子數(shù)控系統(tǒng)西門子數(shù)控系統(tǒng)? 日本日本 ———— 發(fā)那哥數(shù)控系統(tǒng)發(fā)那哥數(shù)控系統(tǒng)? 中國(guó)中國(guó) ———— 蘭天數(shù)控系統(tǒng)、廣州數(shù)控系統(tǒng)、蘭天數(shù)控系統(tǒng)、廣州數(shù)控系統(tǒng)、 ……第 4章 精密和超精密加工機(jī)床 進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)給驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括：精密滾珠絲杠副、液體主要包括：精密滾珠絲杠副、液體 /空氣靜壓絲杠副、摩擦副空氣靜壓絲杠副、摩擦副1）精密滾珠絲杠副驅(qū)動(dòng)）精密滾珠絲杠副驅(qū)動(dòng)精度指標(biāo)：螺距誤差精度指標(biāo)：螺距誤差 μm；累計(jì)螺距誤差；累計(jì)螺距誤差 35 μm/300mm第 4章 精密和超精密加工機(jī)床2）液體）液體 /空氣靜壓絲杠副驅(qū)動(dòng)空氣靜壓絲杠副驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)：特點(diǎn)：? 運(yùn)動(dòng)非常平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)非常平穩(wěn)? 剛度較低剛度較低?
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