【正文】 染物問題時可以獲取意想不到的效果，譬如更高的電流效率，同時 在不同污染物的檢測中發(fā)揮 出超乎尋常的功用 [6]。研究主要集中在微電子和電化學(xué)這兩個方向上，在解決環(huán)境污染方面也有很大突破。 金剛石具有自然材料的優(yōu)良性能，是一種多功能材料，具有廣闊的應(yīng)用前景。擁有這中性質(zhì)對于電化學(xué)測量顯得尤為關(guān)鍵 的， 使用好表現(xiàn)出來的特征 ， 在 探測有機化合物 的實驗過程中，金剛石電極能 在一個相對大的電勢條件下 順利的進行 。作為 電極材料 ，良好的導(dǎo)電性時必不可少的， 硼摻雜金剛石膜 正好符合這種性質(zhì) 。 高濃度摻硼金剛石膜電極 含有一下幾方面性能：很高的 電化學(xué)穩(wěn)定性 是優(yōu)良性能之一 、 很寬的電化學(xué)窗口是優(yōu)良性能之二、良好性能其三是很小的背景電流， 最后，電化學(xué)反應(yīng)能長時間 保持穩(wěn)定 [4]。 并且 己制作出熱響應(yīng)時間短、精度高、檢測溫度寬、穩(wěn)定性好下工作的熱敏電阻器。 由于金剛石的硬度很高， 熱導(dǎo)率也很高，該行業(yè)將由高溫高壓 制備的 金剛石顆粒，用于鉆磨工具，砂紙， 也 可以用來切割其他物質(zhì) ，以及 大型 IC 等散熱板上。純天然形成的金剛石的必要條件是地殼內(nèi)部高溫高壓 。 第五， 聲學(xué)性能，金剛石是一種制備高靈敏的表面聲學(xué)波器件 的新型 材料，因為它擁有較高的楊氏模量與彈性模量。由于金剛石的種種特意的性質(zhì)，因而它是一種理想度相對好的高可靠性的半導(dǎo)體新材料，也同樣表現(xiàn)出了優(yōu)良的抗輻射性能 。 為單個 晶胞尺寸， 8 為 單位晶胞中 含有的 原子數(shù) [2]。因為碳 — 碳共價鍵 的鍵能大，晶體中 無 自由電子 ，共價鍵的形成時，每一個價電子都參與了，所以金剛石是自然界中最堅硬的 物質(zhì) ，熔點高達 華氏 6900 度 ，并且不導(dǎo)電。 1010 m，鍵角： 109176。 關(guān)鍵詞： 摻硼金剛石 HFCVD 電化學(xué) Hall 效應(yīng) Synthesis and Properties of Borondoped Diamond Film ABSTRACT This paper uses a hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) Preparation of borondoped diamond (BDD) film electrode, then on borondoped diamond thin film growth characteristics of indepth research and careful analysis. Then borondoped diamond electrode preparation we get, using SEM, Raman spectroscopy, XRD and other means to characterize the microstructure of borondoped diamond of its structure, and studied the Hall effect analysis BDD electrode sheet resistance BDD Electrodes, BDD electrode impedance analysis, dynamic analysis BDD electrodes and electrode potential window analyzed by cyclic voltammetry. Experiments show: the experiment is made of good quality borondoped diamond film electrodes. And then found its specific capacity is relatively large, it 2 can be used for its excellent electrochemical properties of the electrode material testing. Key Words: Borondoped diamond HFCVD Electrochemical Hall effect 3 目 錄 第一章 緒論 .....................................................................................................................................1 金剛石的晶體結(jié)構(gòu) .............................................................................................................................................. 1 金剛石的性質(zhì)及應(yīng)用 ......................................................................................................................................... 2 摻硼金剛石的應(yīng)用 .............................................................................................................................................. 2 BDD 電極的性質(zhì)及應(yīng)用 ..................................................................................................................................... 3 本文的工作內(nèi)容 ................................................................................................................................................... 5 第二章 實驗部分 .........................................................................................................................7 設(shè)備介紹 .................................................................................................................................................................. 7 氣路系統(tǒng) ....................................................................................................................................................... 7 真空系統(tǒng) ....................................................................................................................................................... 7 水循環(huán)系統(tǒng) .................................................................................................................................................. 8 電源系統(tǒng) ....................................................................................................................................................... 8 偏壓電源系統(tǒng) ............................................................................................................................................. 8 BDD 電極的制備工藝 .......................................................................................................................................... 9 BDD 電極的電化學(xué)分析方法 .........................................................................................................................11 第三章 摻硼金剛石 膜的生長特性研究 ............................................................................. 13 BDD 的生長速率的影響 ...................................................................................................................................13 BDD 電極掃描電子顯微鏡（ SEM）分析 ..................................................................................................13 BDD 電極的 RAMAN 光譜分析 ...........................................................................................................................14 BDD 電極 X 射線衍射 (XRD)分析 .................................................................................................................15 第四章 摻硼金剛石膜的電化學(xué)特性研究 ........................................................................ 17 BDD 電極的 HALL 效應(yīng)分析 ...........................................................................................................................17 BDD 電極的充放電性能分析 .........................................................................................................................17 BDD 電極的阻抗分析 ........................................................................................................................................18 交流阻抗法 ...................................................................................................................................................18 阻抗分析 ........................................................................................................................................................18 BDD 電極的動力學(xué)分析 ...................................................................................................................................19 BDD 電極的電勢窗口分析 .....................