【正文】 還增強了電池的抗擊強度。太陽能電池硅片生產(chǎn)工藝流程圖如下： 圖 41 太陽能電池生產(chǎn)工藝流程圖 ※主要工藝流程說明： (1) 清洗、制絨： 首先用堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷。 (3) 擴散、刻蝕： 多數(shù)廠家都選 用 p 型硅片來制作太陽能電池，那么一般用 POCL3液態(tài)源作為擴散源。擴散過程遵從如下反應(yīng)式： 4POCL3 ＋ 3O2（過量）→ 2P2O5＋ 2CL2（氣） 2P2O5＋ 5Si → 5SiO 2 + 4P 背腐蝕去磷硅玻璃和邊緣 PN 節(jié)：用化學(xué)方法除去擴散層 SiO2硅片片片 清洗 杯 干 制絨 甩干 擴散 刻蝕 烘干 烘干 減反射為勝反射 印刷 (銀 )發(fā) 印刷 (鋁 )發(fā) 印刷 (銀 )發(fā) 燒結(jié) 檢測測 包裝入庫 29 與 HF 生成可溶于水的 SiF62，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻 P2O5的 SiO2）溶解，化學(xué)反應(yīng)為： SiO2 ＋ 6HF → H2（ SiF6）＋ 2H2O (4) 減反射： 采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積 (PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不但可以減少光的反射，由于在制備 SiN減反膜過程中大量的氫原子進入，能夠起到很好的表面鈍化和體鈍化的效果，這對于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的懸掛健被飽和，從而降低了復(fù)合中心的作用。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。 太陽能電池組件生產(chǎn) 太陽能光伏電池組件的封裝工藝是首先對電池進行測試，并按照輸出參數(shù)對其進行分類，再用金屬導(dǎo)電帶按需要將太陽能電池焊接在一起。熱壓固化循 環(huán)時間大約需要 25 分鐘。 ※主要工藝流程說明： （ 1）電池測試：由于電池片制作條件的隨機性，生產(chǎn)出來的電池性能不盡相同，所以為了有效的將性能一致或相近的電池組合在一起，所以應(yīng)根據(jù)其性能參數(shù)進行分類：即通過測試電池的輸出參數(shù)（電流和電壓）的大小對其進行分類。焊帶 31 的長度約為電池邊長的 2 倍。玻璃事先涂一層試劑（ primer）以增加玻璃和 EVA 的粘接強度。層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步，層壓溫度層壓時間根據(jù) EVA 的性質(zhì)決定。 （ 7）裝框：給太陽能電池組件裝鋁框，增加組件的強度，進一步的密封電池組件，延長電池的使用壽命。 （ 10）組件測試：測試的目的是對電池的輸出功率進行標(biāo)定，測試其輸出特性，確定組件的質(zhì)量等級。 工藝設(shè)備 主要設(shè)備選型原則和理由 本項目在設(shè)備選用上，是為了提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率，同時降低生產(chǎn)成本出發(fā)，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用適用的國內(nèi)外先進設(shè)備。層壓機是電池板封裝廣泛使用的主體設(shè)備。一段時間后，上腔室開始充氣，通過上腔室的橡膠板壓住組件，達到給組件加壓的目的，經(jīng)過保溫保壓階段后，光伏組件即可成型取出。 選用的國外先進設(shè)備在性能方面主要有以下特點： （ 1）制絨機和刻蝕機 34 ① 制絨機，針對多晶硅片， 祛除硅片表面在切割過程中的損傷層，改善絨面質(zhì)地，增強表面吸光性。標(biāo)準(zhǔn)的刻蝕工藝（使用 HF/HNO3, KOH, NaOH, H3PO4, BOE, DHF, SPM, SOM 等） ；快速精確的傳輸，傳輸時間 1 秒 ；可用于 300mm硅片的刻蝕 ；全自動化工藝控制。由快速熱處理太陽能電池金屬化爐和紅外烘干爐組成。 主要技術(shù)指標(biāo)： 最高溫度 :1050℃ 工作溫度范圍： 干燥 區(qū) ： 100400℃；燒結(jié)區(qū)： 2001000℃ 可控加熱溫區(qū)： 干燥區(qū)： 3 ； 燒結(jié)區(qū)： 6 加熱區(qū)長度： 干燥區(qū)： 90 英寸（ ） 燒結(jié)區(qū)： 60 英寸 (152厘米 ) 工作空間尺寸： PVD614 網(wǎng)帶寬 14 英寸（ ） 網(wǎng)帶上方高度： （ 19 厘米） 36 網(wǎng)帶離地高度： 36英寸（ 914厘米） 最大負荷： 148千瓦 外形尺寸： L9320179。油墨在移動中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。 ① 全自動太陽能電池片印 刷 設(shè)備 技術(shù)指標(biāo) 電池尺寸： 125mm125mm、 156mm156mm、 210mm210mm 電池厚度： 每小時電池產(chǎn)量： 12501440片（生產(chǎn)線產(chǎn)能 95%） 最大電池破片率： % 絲網(wǎng)印刷居中誤差： 177。上料使用兩個交替的 Stack。 該設(shè)備的工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。這個敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成，其微波頻率為 ，所使用的工藝氣體為硅烷（ SiH4）和氨氣（ NH3）。 179。 125177。 硅片加熱： L/C， H/C， P/C1， P/C2 真空狀態(tài)下加熱 : a)L/C(燈管加熱器 ) 約 450 度 b)H/C(燈管加熱器 ) 約 550 度 c)P/C1， P/C2(護套加熱器 ) 約 550 度 硅片溫度均勻性： P/C1， P/C2 在 450 度時， 177。 表 41 電池片生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 一 進口設(shè)備 1 濕法刻蝕機 套 1 2 自動單多晶制絨設(shè)備 套 1 3 管式高溫擴散爐 臺 2 4 燒結(jié)爐 CDF7210 臺 2 5 全自動太陽能電池片印刷及測試分選設(shè)備 Baccini 套 2 6 全自動硅片檢測及分選系統(tǒng) WIS4000SSSHR 臺 2 7 PECVD 設(shè)備 臺 2 8 特氣設(shè)備 SGM400 套 2 二 國產(chǎn)設(shè)備 1 廢氣處理設(shè)備 套 1 2 純水處理系統(tǒng) 套 1 3 石英管清洗機 SCSY0201H 臺 2 4 石墨舟清洗機 SCSM0202A 臺 2 41 表 42 組件生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 1 玻璃清洗機 / 臺 3 2 EVA 裁切機 TPT/EVA 臺 6 3 自動焊接機 / 臺 9 4 自動排板機 / 臺 3 5 背板裁切機 / 臺 3 6 自 動頂升設(shè)備 / 臺 3 7 EL 測試儀 臺 5 8 匯流條裁切機 / 臺 2 9 層壓機 / 臺 6 10 裝框機 GMSF20xx 臺 3 11 耐壓測試儀 / 臺 3 12 除濕機 / 臺 3 13 組件測試儀 / 臺 2 14 打包機 / 臺 6 15 打膠機 / 臺 3 16 流水線 / 條 3 17 空壓機 GA75VSD 臺 4 設(shè)備的最終定型 設(shè)備的最終定型，還需與設(shè)備制造商進行廣泛的技術(shù)交流和商務(wù)談判，在技術(shù)性能優(yōu)越，滿足產(chǎn) 品質(zhì)量前提下，兼顧良好的售后服務(wù)，做到“貨比三家”招標(biāo)確定，以最小的投資，取得最大的效益。以滿足項目生產(chǎn)的需要。 廠內(nèi)外運輸 廠區(qū)外運輸主要以汽車為主。寬 72 米（軸線尺寸，下同）， 1棟共計建筑面積 ； 組件廠房：單層，長 120179。由市政供水干管接入廠區(qū)，供水管徑為 DN200，壓力不小于 。具體用水量詳見表 52。 根據(jù)清污分流的原則，工廠排水系統(tǒng)劃分為生產(chǎn)廢水、生活污水 、雨水及清下水的清污分流排水制。生產(chǎn)污水和地面沖洗水經(jīng)收集后，通過廠區(qū)污水管網(wǎng)，排入廠區(qū)的污水處理站，處理方法采用三級沉淀、加藥凝聚、末端過濾的方法處理。 5%，電源頻率為 50177。補償后視在功率為 2545kVA。 生產(chǎn)配電 本項目車間動力電源均為三相四線制加 PE 線，即 TNS系統(tǒng)。 車間內(nèi)動力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。照明標(biāo)準(zhǔn)按國家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進行設(shè)計。生產(chǎn)線接地保護采用 TNCS 接地系統(tǒng)。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求， 廠房潔凈度：清洗制絨間、擴散間 1萬級；其余 10 萬級 ,凈化通道 30 萬級 的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃～ 25℃ ，因此需要 采取 空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施。 本項目熱力（冷水和熱水）由長興遠大能源服務(wù)有限公司所屬的長興遠大非電區(qū)域空調(diào)能源中心集中 供應(yīng)，項目不再另外配置冷凍機和熱泵等設(shè)備。 廠區(qū)需安裝 阿 49 特拉斯 GA75VSD變頻 螺桿空氣壓縮機。 系統(tǒng)概述：為開式循環(huán)系統(tǒng)，以自來水為補水。 系統(tǒng)組成：真空泵、真空緩沖罐、管道及閥門附件等。 ⑥ 特種氣體系統(tǒng) 特種氣體供氣系統(tǒng)分類如下： 氨氣 (NH3)傳輸系統(tǒng)。氣體柜具有自動切換、自動吹洗的功能，能連續(xù)為生產(chǎn)設(shè)備供氣。 四氟化碳 (CF4)傳輸系統(tǒng)。氣體管道經(jīng)管架送到用氣廠房。 ④ 真空系統(tǒng) 為滿足工藝生產(chǎn)過程中硅片傳遞等對真空的需求而設(shè)置。 冷凍站系統(tǒng)組成： 離心式冷水機組、冷凍水 循環(huán) 泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥門附件、保冷材料等。 空壓站系統(tǒng)組成：空壓機、 氣水分離器、空氣過濾器、冷干燥凈化裝置及儲氣罐、粗過濾裝置等 。含風(fēng)機段及初效和中效過濾段、混合段，通過風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過濾器。 (3) 消防 設(shè)計 消防設(shè)備的電源均實現(xiàn)雙回路末端自動切換。在車間重要場所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線與電力支線一樣敷設(shè)。生產(chǎn)車間一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。供電方式一般采用放射式與樹干式相結(jié)合。 本項目用電量按年工作日 300 天、三班24 小時運轉(zhuǎn)估算，則全年 耗電為 1700179。 供電電源由開 發(fā)區(qū) 220KV 變 電所專線，雙回路電源引入本工程高壓配電所后采用電力電纜埋地引入本工程各車間 10/ 變配電所。 供電 供電要求及電源 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，生產(chǎn)用電設(shè) 備、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、消防水泵為二級負荷，其余為三級負荷。 (2) 清下水管系統(tǒng) 生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水和廠區(qū)雨水均通過排水暗渠匯集后直接排入廠區(qū)及市政雨水管網(wǎng)。 排水工程 根據(jù)工藝方案，本項目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。 項目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，平均小時用水量 24 噸，其余為循環(huán)冷卻水補充水 48 噸 /天，其他（綠化、道路清洗）用水約 15噸 /天，生活用水暫按 50升 /人178。 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)建筑設(shè)計在充分滿足使用功能前提下，建筑選型力求簡潔、大方、新穎、富有現(xiàn)代化建筑風(fēng)格。 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)運輸，由于生產(chǎn)車間相對獨立，采用電瓶車、鏟車等為主，區(qū)內(nèi)小型運輸工具根據(jù)實際需要逐步添置，本項目暫不考慮配置 44 生產(chǎn)運輸車輛。 建設(shè)條件 （ 1）氣候 （ 2） 地形、地貌及地質(zhì)條件 （ 3） 環(huán)境條件 （ 4） 社會環(huán)境 平面布置及運輸 平面布置 廠區(qū)道路適合大型運輸車輛進出。 42 車間根據(jù)潔凈及環(huán)保要求，為保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善工人勞動環(huán)境，降溫加濕。 9％ 目標(biāo)厚度： 80 nm （ 7） 特氣設(shè)備 特氣設(shè)備（型號 SGM400），主要用于控制高純特殊氣體，被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。 48 片 /框 (成膜面積：最大 970179。 125177。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負責(zé)為載板及被敷層和已進行過鈍化處理后的硅片在離開系統(tǒng)前進行冷卻。接下來是覆層區(qū)域和最后的冷卻區(qū)域。相關(guān)檢測模組的檢測參數(shù)如下： 電阻率 : 測試技術(shù) : 渦流場法 測試范圍 : ohmcm 精度 : 5% 重復(fù)性 : 2% 厚 度 : 測試技術(shù) : 電容法 測試范圍 : 100μm 精度 : 1% 重復(fù)性 : % （ 6） 太陽能減反射膜制造設(shè)備 (PECVD) 該設(shè)備適合所有常用形狀及尺寸的硅片并可以同時裝載多個硅片進行 PECVD氮化硅敷層及鈍化處理。整個機臺采用模組化設(shè)計，可以根據(jù)客戶的需要增加新的檢測模組，操作維護方便。該生產(chǎn)線仍處于領(lǐng)先地位并已發(fā)展到由配置有集成直線電機的計算機來控制。 H1680(毫米 ) （ 4） 全自動太陽能電池片印 刷 設(shè)備 及 測試分選設(shè)備 絲網(wǎng)印刷設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。 快速降溫：由安裝在網(wǎng)帶上下的冷水壁來實現(xiàn)在 875℃和 400℃之間的降溫速度可達 65℃ /秒以上。 ① 特征及優(yōu)勢： 多達 5 個并列石英或 SiC 管反應(yīng)腔體 （ 最多可達到 300mm）； 有可自由選擇工藝