微小位移技術(文件)
【正文】 移工作臺中得到了實用，開創(chuàng)了工作臺進人毫微米級的新時代。 ： 雙軸柔性鉸鏈是由兩個互成 90度 的單軸柔性鉸鏈組成的 (圖 533(a))，對于大部分應用，這種設計的缺點是兩個軸沒有交叉，具有交叉軸的最簡單的雙軸柔性鉸鏈是把頸部做成圓桿狀 (圖 533(b))，這種設計簡單且加工容易，但它的截面面積比較小，因此縱向強度比圖 533(a)弱得多。但作為精度補償用的微動工作臺，因它的精度要求比較高，一般都在亞微米級以上，所以設計時除滿足使用要求外，還應具有良好的靜態(tài)特性和動態(tài)特性。 滑動導軌和滾動導軌的最小位移分辨能力主要受靜、動摩擦力之差△ F和傳動系統(tǒng)剛度 K的影響 ，減小動、靜摩擦力之差和提高傳動環(huán)節(jié)的剛度是提高工作臺位移分辨率的主要措施。由第1節(jié)中可知，形成微位移的方法有兩種 : ① 過機械方法縮小輸 入 位移； ②用各種物理原理直接產(chǎn)生微小位移。 1） 電熱式和磁致伸縮式兩種微動裝置伴隨有發(fā)熱現(xiàn)象，故此難以做到高精度。 3） 利用機電藕合效應，可以實現(xiàn)很高的位移分辨力 (可達5nm/V～ mm/V)，而機電藕合效應進行的速度快來不及與外界交換熱量，可以近似地認為是絕熱過程，因此不存在發(fā)熱問題。在選擇測量裝置時除具有高分辨率的性能外，還應考慮測量范圍、重復精度、可靠度及穩(wěn)定性等。 電熱式微位移機構包括電熱伸縮捧和電熱伸縮筒兩種結構形式，都是利用物體的熱膨脹來實現(xiàn)徽位移的，其熱變形的原理如圖 546所示口傳動桿 1的一端固定在支架上，另一端固定在沿導軌作徽位移的零部件 3上，當線圈通電被加熱時，使傳動桿受熱伸長。 作業(yè)： 52滑動導軌和滾動導軌在微位移范圍內(nèi)運動特性是否相似，為什么 ?影響滑動導軌和滾動導軌微動能力的主要因素是什么，能否實現(xiàn)亞微米或更高的分率 ? 。 機械式微位移機構是一種古老式機構，在精密機械與儀器中應用廣泛，結構形式比較多，主要有螺旋機構、杠桿機構、楔塊凸輪機構、彈性機構以及它們之間的組合機構由于機械式微位移機構中存在機械間隙、摩擦磨損以及爬行等，所以運動靈敏度、精度很難達到高精度，故只適于中等精度。激光測長是比較理想的方法，因為激光測長無需使用光柵測長時的高倍頻就能獲得較小的當量。 。其缺點是，將工作臺保持一定位置時，電磁鐵線圈中始終要通過一定的電流，結果由于發(fā)熱而彰響精度，此外這種結構的位移階躍響應也同樣有振蕩的瞬態(tài)響應，存在著靈敏度高時難于穩(wěn)定的問題。但它們共同的缺點是 :結構復雜、體積大，故有各自的局限性。由于彈性導軌僅利用受力后的彈性變形來實現(xiàn)微位移，故僅存在彈性材料內(nèi)部分子之間的內(nèi)摩擦，而且沒有間隙，因此可以達到 極高的分辨力 。 。 的類型 實現(xiàn)微位移機構的方案比較多，用途也很廣泛，根據(jù)不同的要求，采取不同的方案。柔性鉸鏈有很多種結構，最普通的形式是繞一個軸彈性彎曲，這種彈性變形是可逆的。隨后，柔性鉸鏈立即被廣泛地用十陀螺儀、加速度計、精密天平、導彈控制噴嘴形波導管天線等儀器儀表中，并獲得了前所未有的高精度和穩(wěn)定性。 |△ d|司在 1um～ 1Omm之間，精度 K為 ～10um。 _工作原理 通過線圈的電流與磁通密度的關系為 式中： N— 繞在電磁鐵上的線圈圈數(shù)； l— 磁路長度， m； — 磁性材料的導磁率 , H/m； μ — 空氣隙的導磁率,H/m； d‘ — 空氣隙長度， m； I— 電流強度， A。與工作臺由初始位置位移△ d所產(chǎn)生的吊簧拉力 F之和，即 _工作原理 _工作原理 電磁鐵的吸引力為 式中 :B— 電磁場磁通密度， Wb/； μ — 導磁率 ,H/m； S— 磁極截面面積。 _工作原理 電磁馳動的原理如圖 528所示，把微動工作臺 1用 4根
環(huán)評公示相關推薦
鄂ICP備17016276號-1