【正文】 電量不足以形成一個穩(wěn)定的電源為監(jiān)測系統(tǒng)供電。相對于可充電電池，超級電容同樣有以下優(yōu)點：① 具有高的功率密度，為電池的10～100倍，可以在短時間內(nèi)放出幾百到幾千安培的電流；② 使用壽命長，超級電容充放電過程中發(fā)生的電化學反應具有很好的可逆性，不易損壞；③ 充電速度快，超級電容器充電是雙電層充放電的物理過程或電極物質(zhì)表面的快速、可逆的電化學過程，可以采用大電流充電，能在幾十秒到數(shù)分鐘內(nèi)完成充電過程，是真正意義上的快速充電。鋰電池具有能量密度高、生命周期長和容量保持性好的特點，適合作為第二級的能量存儲。 納米氧化鋅發(fā)電機與MEMS傳感器系統(tǒng)的工藝耦合與集成以上我們重點討論了納米氧化鋅發(fā)電機工作機制、制作原理、分類、應用舉例以及電能的采集與存儲等內(nèi)容。不過，可以肯定的是，這必將是未來微系統(tǒng)發(fā)展的重要技術(shù)趨勢。當時的描述是：建立一個完整的傳感器和通信系統(tǒng)可以被集成到立方毫米量級的空間中，因體積微小這一系統(tǒng)被形象地稱作“智能微塵”（）。該智能塵埃的通信距離達到20米，連續(xù)工作時間為1周，如果以1%的工作休眠比計，工作時間可長達2年之久?！　∪缃?，智能塵埃早已淹沒在無線傳感網(wǎng)如雷貫耳的聲浪中，然而不可否認的是，智能塵埃不僅是無線傳感網(wǎng)的源頭，而且，還將成為無線傳感網(wǎng)的歸宿。通過新的換能器設計、新材料的應用及新穎的調(diào)理電路和能量存儲方法的應用會提高轉(zhuǎn)換能量和功率。（2）對壓電能量儲存方法、調(diào)理電路設計進行研究。提出了壓電發(fā)電能量的儲存方法。目前而言，還存在以下問題：①對合成納米氧化鋅的過程機理缺乏深入的研究，對控制微粒的形狀、分布、粒度、性能及團聚體的控制與分散等技術(shù)的研究還很不夠；②對納米ZnO的工藝制備的研究還不夠，已取得的成果大都停留在實驗室和小規(guī)漠生產(chǎn)階段，對生產(chǎn)規(guī)模擴大時將會涉及的問題，目前研究很少；③本文設計的倍壓整流電路只能在負載較輕(輸出電流較小)的情況下工作，否則輸出電壓會降低。通過大量的查找與閱讀資料，作者覺得與本文有關且有必要繼續(xù)開展的研究工作有：（1）提高壓電式納米發(fā)電器件的輸出功率和使用壽命?？偟膩碚f，傳感器自供電技術(shù)為實現(xiàn)真正意義上的微/納機電系統(tǒng)奠定了基礎，為實現(xiàn)自供能的無線傳感網(wǎng)絡節(jié)點和聲納探測器提供了原理性的技術(shù)，同時也為開發(fā)具有自供能特點的新型同步內(nèi)置生物傳感器和生物醫(yī)藥監(jiān)控、生物活體探測提供了有力的技術(shù)支撐。 OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY. 2009,7(6)[19] ROUNDY S. Energy scavenging for wireless sensor nodes with afocus on vibration to electricity conversion[D]. California: University of California at Berkeley, 2003.[20] TORAH R, GLYNNEJONES P, TUDOR M, et al. Selfpowered autonomous wireless sensor node using vibration energy harvesting[J].Measurement Science and Technology, 2008, 19:125202.[21] Xudong Wang, Jinhui Song, Jin Liu, Zhong Lin Wang. DirectCurrent Nanogenerator Driven by Ultrasonic Waves. Science. 316,102(2007): 102105.[22] Wang Z L. Selfassembled nanoarchite ctures of polar nanobelts/nanowires [J].Jurnal of Materials Chemistry. 2005, 15: 10211024.[23] Wang Z L. Nanostructure of zinc oxide [J]. Materi als Today. 2004, 7(6): 2633.[24] SchmidtMende L, M acmanusDriscoll J L. ZnO – nanostructures, defects,and devices [J]. Materials Today. 2007, 10(5): 4048.[25] Huang M H, Mao S, Feick H, et al. Roomtemperature ultraviolet nanowire nanolasers [J]. Science. 2001, 292(8): 1897 1899[26] Lee W, Jeong M, Myoung J. Fabricat ion and application potential of ZnO nanowires grown on GaAs(002) substrates by metal–organic chemical vapour deposition [J]. Nanotechnology. 2004, 15(3): 245249. [27] Jeong M, Oh B, Lee W, et al. Comp arative study on the growth characteristics of ZnO nanowires andthin films by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVOD) [J]. Journal of Crystal Growth. 2004, 268: 149154.[28] Vayssieres L, Keis K, Lindquist S, et al. PurposeBuilt Anisotropic Metal Oxide Material: 3D Highly Oriented Microrod Array of ZnO [J]. J. Phys. Chem. , 105(17): 33503352.[29] Vayssieres L. Growth of Arraye d Nanorods and Nanowires of ZnO from Aqueous Solution [J]. Advanced Materials. 2003, 15(5): 464466.[30] 孟阿蘭, 藺玉勝, 王光信. ZnO 納米線的電化學制備研究[J]. 無機化學學報. 2005, 21(4): 583587.[31] Chiou W, Wu W, Ting J. Growth of single crystal ZnO nanowires using sputter deposition [J]. Diamond and Related Materials. 2003, 12: 18411844. [32] Liu Z W, Ong C K, Yu T, et al . Catalystfree pulsedlaserdeposited ZnO nanorods and their roomtemperature photolumin escence properties [J]. Applied Physics Letters. 2006, 88(05): 53110. [33] Ham H, Shen G, Cho J H, et al. Vertically ali gned ZnO nanowires produced by a catalystfree thermal evaporation method and their field emission properties [J]. Chemical Physics Letters. 2005, 40(4): 6973. [34] Heo Y W, Varadarajan V, Kaufman M, et al. Sitespecific growth of Zno nanorods using catalysisdriven molecular beam epitaxy [J]. Applied Physics Letters. 2002, 81(6): 30463048. [35] Bae C H, ParkS M, Ahn S, et al. Sol–gel synthesis of sub50 nm ZnO nowires on pulse laser deposited ZnO thin films [J]. Applied Surface Science. 2006, 253: 17581761.[36] 王曉峰, 孔祥華, 劉國慶等. 新型化學儲能器件[J]. 電化學電容. 化學世界. 2001, 42(2): 103108[37] 王軍龍. 基于壓電材料的振動發(fā)電裝置的研究. 江蘇大學碩士學位論文，2010.[38] NAJAFI K Lowpower micromachined microsystems 2000.[39] PFEIFER K B, LEMING S K, RUMPF A N. Embedded selfpowered microsensors for monitoring the surety of critical buildings and infrastructures 2001[40] 王中林. 壓電式納米發(fā)電機原理及潛在應用. 特約專稿, 2006, 35(11): 897903.。參考文獻[1] 王中林. 微納系統(tǒng)中的可持續(xù)自供型電源：能源研究中的新興領域. 科學通報，2010，55(25):24722475.[2] 賈朝波，李平，文玉梅，李圣興. 一種新型磁電自供電無線傳感器供能電路研究. 傳感器與微系統(tǒng)，