《表面粗糙度測量》ppt課件(文件)
【正文】 圖 ４－２－９ TR200型手持式粗糙度儀 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測量 五 .印模法 : 利用某些塑性材料將被測表面印模下來 ,然后對印摸表面 進行測量 .常用的印模材料有川蠟、石蠟和低熔點合金等， : 印模材料的強度和硬度都不高 ,固一般不用針描法測量它 .由于印模材料不可能填滿谷底 ,且取下印模材料時往往使印模波峰削平 ,所以測得印模的 Rz值比實際略有縮小，一般可以根據(jù)實驗進行修整．印模法適用于大尺寸的內(nèi)表面．測量范圍為 Rz＝０．８～３３０ 181。一般來講，物體在固 態(tài)下原子之間的距離在零點一到零點幾個納米之間， 因此在掃描隧道顯微鏡下導電物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的原子、 分子狀態(tài)清晰可見。 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測量 原子力顯微鏡 1）接觸模式下，針尖與樣品表面輕輕接觸 ； 2）在輕敲模式下，掃描成像時針尖對樣品進行“敲擊”，兩者間只有瞬間接觸。 3) 根據(jù)被測件的特點和被測量的特點及定義正確選擇以上所介紹的五種常規(guī)的測量方法及測量儀器的型號 .選擇的原則是在滿足測量要求的前提下兼顧經(jīng)濟性 . 4) 加工業(yè)的發(fā)展會給我們提出更多新的表面粗糙度及表面微觀形貌的測量課題，所要求的測量精度也會越來越高，這就需要我們不斷的學習新的理論和新的技術(shù)，去解決一個個技術(shù)課題。 下面，我們以激光檢測原子力顯微鏡 ） 接觸模式來說 明其工作原理。 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測量 掃描隧道顯微鏡工作原理示意圖 隧道電流強度對針尖和樣品之間的距離有著指數(shù)依賴關系，當距離減小，隧道電流即增加約一個數(shù)量級。它綜合應用激光、傳感器、 計算機和圖象識別等技術(shù)的新成果解決或正在解決機械加工 和其他領域里新出現(xiàn)的表面粗糙度及表面微觀形貌的測量問 題。 圖４－２－６干涉顯微鏡測量原理 1一光源； 2， 11， 15一聚光鏡； 3一濾色片； 4一光闌； 5一透鏡； 6， 9物鏡； 7一分光鏡；8一補償鏡； 10， 14， 16一反射鏡； 12一目鏡；13一透光窗 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測量 ２．干涉法的特點： 所用儀器為干涉顯微鏡，可測
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