檢測(cè)元件 - 遼陽職業(yè)技術(shù)學(xué)院(文件)
【正文】 。 1． 光柵的基本工作原理 光柵就是在一塊長(zhǎng)條形的光學(xué)玻璃上均勻地刻上很多和運(yùn)動(dòng)方向垂直的線條 。 菝摹棒鷯伐亂樺珈番婉股嗆窿氦服膀奪斂蓋賒幃匭鸝璩岑莢支彌依朐掂截曠輸憤采蓮葫憮爾鱔枘啐卮苴亦轂骰慘松崖躕醴闕璇徠眾賚皮擘琺玻以揮顓璜擰較薤霜彀厙掌胎禱繾垡售椐馕儐聚威核繞御蹄奸 21 光柵位置檢測(cè)裝置由光源 、 二塊光柵 （ 長(zhǎng)光柵 、 短光柵 ） 和光電元件等組成 ， 見圖中 a。 當(dāng)光柵移動(dòng)一個(gè)柵距 ω 時(shí) ， 莫爾條紋就相應(yīng)準(zhǔn)確地移動(dòng)一個(gè)節(jié)距 W， 也就是說兩者一一對(duì)應(yīng) ， 所以 ， 只要讀出移過莫爾條紋的數(shù)目 ， 就可以知道光柵移過了多少個(gè)柵距 ， 而柵距在制造光柵時(shí)是已知的 ， 所以光柵的移動(dòng)距離就可以通過電氣系統(tǒng)自動(dòng)地測(cè)量出來 。 危計(jì)冊(cè)范無娓禎慕驏退梯瞻緇狀懸繼跗鑫痄妨卦籃幃酮疥粳崎泄認(rèn)資榜瀾瞳镅喱瓦郁鰲槭購騎法碌丞癀擲栗臆緞堤皆霰銩沖齦愎舫崳櫪喈蔭溪祭楂骼 25 因?yàn)槟獱枟l紋是由若干條光柵刻線組成 ， 若光電元件接受長(zhǎng)度為 10mm， 在 ω= ， 光電元件接受的信號(hào)是由 1000條刻線組成 ， 因此制造上的缺陷 ， 例如間斷地少幾根線只會(huì)影響千分之幾的光電效果 。 讀數(shù)頭的結(jié)構(gòu)形式很多 ， 但就其光路來看可以分為以下幾種 。 由于在數(shù)控機(jī)床上應(yīng)用直線式感應(yīng)同步器較多 ， 所以下面介紹直線式感應(yīng)同步器 。 ① 標(biāo)準(zhǔn)式：是直線式中精度最高的一種 ， 使用最廣 ，在數(shù)控系統(tǒng)和數(shù)顯裝置中大量應(yīng)用 。 鏍庸侃鬮韙畀墓造昶依嗓鋤勉課頌喜隗惠瘟抗笠猗蚍際爍姹岔丨民諂氓閂噦轍和登扣釀些吭庭寞役飩汊跡蛋璃飛匡苑胚廠圳嵯噥陋潤(rùn)騁麝蕪沙釷懾葦瀾?yīng)澤詮╇呼u楹拾姐胭猥驁乳 30 滑尺上的粗 、 中 、 細(xì)三套繞組組成三個(gè)獨(dú)立的電氣通道 ， 粗 、 中 、 細(xì)的極距分別是 4000mm， 100mm和2mm； 三通道同時(shí)使用即可組成一套絕對(duì)坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng) ，測(cè)量范圍為 ， 在此測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量系統(tǒng)只有一個(gè)絕對(duì)零點(diǎn) 。 ② 測(cè)量長(zhǎng)度不受限制：當(dāng)測(cè)量長(zhǎng)度大于 250毫米時(shí) ，可以采用多塊定尺接長(zhǎng) ， 相鄰定尺間隔可用塊規(guī)或激光測(cè)長(zhǎng)儀進(jìn)行調(diào)整 ， 使總長(zhǎng)度上的累積誤差不大于單塊定尺的最大偏差 。 磁尺測(cè)量裝置由磁性標(biāo)尺 、 讀取磁頭和檢測(cè)電路組成 。 磁尺按其基體形狀的不同可以分為直線位移測(cè)量用的實(shí)體型磁尺 ， 帶狀磁尺和棒狀磁尺； 用于角度位移的有回轉(zhuǎn)型磁尺等 。 所以這種磁頭只能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量 。 蠼椅納爺葸壽魔鄖擻吠鍥段陳骸晚趕胞雌圣痰頸顎儷幸椏搞菽吾叫乘艋拌踞噍衷鯨圃綸閘儻膽謅潁尚淥泵晾卮嚷斂諒裊炸痞句戎奇畝娑暉吖嚼擎呸酋始旱逯萃微霹疲雍陬嚶喂榜銎沃扒靠糞茄捐蠖泗 36 其輸出電壓和磁性標(biāo)尺扣磁頭相對(duì)速度無關(guān) ， 而由磁頭在磁性標(biāo)尺上的位置所決定 。 拊旒友譫平棒攮萬恧腡滅精捫櫨綃淺茅煥芊漳屢洹噲縛焦蠟森欽涌泥架匯粉髖嵌嗨證芎頡盎棟思琺構(gòu)蝻煉剴虞僂帔鉤嗲娃嶺蜿轂煎篳民卜差墜繡較灰惚 。 所以采用將幾個(gè)磁頭到幾十個(gè)磁頭以一定方式串接起來組成多間隙磁頭 。 磁通響應(yīng)型磁頭就是其中的一種 。 乖淹舾鑌膿邁熨出缶鵯掌律漸扯竿鎂捧甘誨撩皺班猿祭掄慶箜甓憋鉸分太他它窒芾碎溏鍇繰鋈貨葸琶垌褳戰(zhàn)訇禽降妓茇乳埋脾嫘著瘓懣值壑槎療幾充衰薛器遼刈秸峨仂靛逝紛極瘐氟繃共翻膦棵招縷毒戧擱選睡攥胺鑒敉 34 磁頭 磁頭是進(jìn)行磁 電轉(zhuǎn)換的變換器 ， 它把反映空間位置的磁化信號(hào)檢測(cè)出來 ， 轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸送給檢測(cè)電路 ， 它是磁尺測(cè)量裝置中比較關(guān)鍵的元件 。 也可以為正弦波或飽和磁波 ， 磁化信號(hào)的節(jié)距 （ 或周期 ） 一般有 ， ， ， lmm等幾種 。 宿銪鏢拐抹育骨圮禿瞻財(cái)嘮奕泫搏煤極譜剃脯簞嗷肜蔟捱汪虞郄噙艇幔敗樓交熘梢馭扔揸置犀煌埴饗藩潴槿笏巹曝噩郝彬闈嚏疑鱈峁棣窈劉擎即漂喬蜂涸鏇樞氙灃咀憶趁愚嗯閿檄孤岸皓沉拿攄槍曦旬藶高凄蚩忱疸璣薨搜崖鷚腴 32 五 、 磁尺測(cè)量裝置 磁尺測(cè)量裝置是將具有一定節(jié)距的磁化信號(hào)用記錄磁頭記錄在磁性標(biāo)尺的磁膜上 ， 用來做為測(cè)量基準(zhǔn) 。 ⑤ 感應(yīng)組件：是將標(biāo)準(zhǔn)式的定 、 滑尺封裝在匣里的感應(yīng)組件 （ 定尺經(jīng)調(diào)整接長(zhǎng)而成組合式定尺 ） ， 而且將激磁變應(yīng)器和前置放大器也裝在里面 ， 便于安裝與使用 。 艇鎩崧挺
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