【正文】 硅電池，成為市場的主導(dǎo)產(chǎn)品，而 8 英寸大規(guī)格產(chǎn)品已經(jīng)逐步替代 6 英寸成為主流產(chǎn)品，并出現(xiàn)向 12 英寸發(fā)展的趨勢。 產(chǎn)品主要質(zhì)量指標(biāo) 符合國家及行業(yè)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。 156177。 20(μ m) 200177。其中液氮 800 噸 /年、液氧 /年。 20μ m 200μ m177。 156177。 90176。 1018atoms/cm3 ≤ 179。企業(yè)可根據(jù)市場價格自行在專業(yè)市場采購解決。 產(chǎn)成品的貯存 產(chǎn)成品的貯存為 7～ 15 天左右的生產(chǎn)量，貯存于企業(yè)專用成品倉庫。各類倉庫應(yīng)符合所存物品的存放條件、建立責(zé)任體系、保證存放安全。多晶硅 (pSi)熔融硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。在實驗室的轉(zhuǎn)換效率上，單晶硅電池最高的轉(zhuǎn)換效率高達(dá) %，多晶硅電池的轉(zhuǎn)換效率為 %。本項目處于太陽能電池加工環(huán)節(jié)的晶體硅電池片電池片生產(chǎn)和電池組件封裝環(huán)節(jié)。當(dāng)受到外來能量的作用時，這些電子就會脫離軌道而成為自由電子，并在原來的位置上留下一個“空穴”，在純凈的硅晶體中，自由電子和空穴的數(shù)目是相等的。當(dāng)太陽能電池受到陽光照射時，電子接受光能，向 N 型區(qū)移動，使 N 型區(qū)帶負(fù)電，同時空穴向 P型區(qū)移動，使 P型區(qū)帶正電。 以晶體硅材料制備的 太陽能電池主要包括：單晶硅太陽能電池， 26 鑄 造多晶硅太陽能電池，非晶硅太陽能電池和薄膜晶體硅電池。 在生產(chǎn)中，采用 PECVD（等離子體 增強(qiáng) 化學(xué)氣相淀積）設(shè)備來實現(xiàn)多晶硅的鈍化工藝，同時也作為太陽能電池抗反射膜使用。電池的封裝不僅可以使電池的壽命得到保證，而且還增強(qiáng)了電池的抗擊強(qiáng)度。太陽能電池硅片生產(chǎn)工藝流程圖如下： 圖 41 太陽能電池生產(chǎn)工藝流程圖 ※主要工藝流程說明： (1) 清洗、制絨： 首先用堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅片表面機(jī)械損傷。 (3) 擴(kuò)散、刻蝕： 多數(shù)廠家都選用 p 型硅片來 制作太陽能電池，那么一般用 POCL3液態(tài)源作為擴(kuò)散源。擴(kuò)散過程遵從如下反應(yīng)式： 4POCL3 ＋ 3O2（過量）→ 2P2O5＋ 2CL2（氣） 2P2O5＋ 5Si → 5SiO 2 + 4P 背腐蝕去磷硅玻璃和邊緣 PN 節(jié)：用化學(xué)方法除去擴(kuò)散層 SiO2硅片片片 清洗 杯 干 制絨 甩干 擴(kuò)散 刻蝕 烘干 烘干 減反射為勝反射 印刷 (銀 )發(fā) 印刷 (鋁 )發(fā) 印刷 (銀 )發(fā) 燒結(jié) 檢測測 包裝入庫 28 與 HF 生成可溶于水的 SiF62，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻 P2O5的 SiO2）溶解，化 學(xué)反應(yīng)為： SiO2 ＋ 6HF → H2（ SiF6）＋ 2H2O (4) 減反射： 采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不但可以減少光的反射，由于在制備 SiNx減反膜過程中大量的氫原子進(jìn)入，能夠起到很好的表面鈍化和體鈍化的效果，這對于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的懸掛健被飽和，從而降低了復(fù)合中心的作用。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。 太陽能電池組件生產(chǎn) 太陽能光伏電池組件的封裝工藝是首先對電池進(jìn)行測試，并按照輸出參數(shù)對其進(jìn)行分類，再用金屬導(dǎo)電帶按需要將太陽能電池焊接在一起。熱壓固化循環(huán)時間大約需要 25 分鐘。 ※主要工藝流程說明： （ 1）電池測試：由于電池片制作條件的隨機(jī)性，生產(chǎn)出來的電池性能不盡相同，所以為了有效的將性能一致或相近的電池組合在一起，所以應(yīng)根據(jù)其性能參數(shù)進(jìn)行分類：即通過測試電池的輸出參數(shù)（電流和電壓）的大小對其進(jìn)行分類。焊帶 30 的長度約為電池邊長的 2 倍。玻璃事先涂一層試劑（ primer）以增加玻璃和 EVA 的粘接強(qiáng)度。層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步，層壓溫度層壓時間根據(jù) EVA 的性質(zhì)決定。 （ 7）裝框：給太陽能電池組件裝鋁框，增加組件的強(qiáng)度，進(jìn)一步的密封電池組件，延長電池的使用壽命。 （ 10）組件測試：測試的目的是對電池的輸出功率進(jìn)行標(biāo)定，測試其輸出特性，確定組件的質(zhì)量等級。 工藝設(shè)備 主要設(shè)備選型原則和理由 本項目在設(shè)備選用上，是為了提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率，同時降低生產(chǎn)成本出發(fā)，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用適用的國內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備。層壓機(jī)是電池板封裝廣泛使用的主體設(shè)備。一段時間后，上腔室開始充氣，通過上腔室的橡膠板壓住組件，達(dá)到給組件加壓的目的，經(jīng)過保溫保壓階段后，光伏組件即可成型取出。 選用的國外先進(jìn)設(shè)備在性能方面主要有以下特點： （ 1）制絨機(jī)和刻蝕機(jī) 33 ① 制絨機(jī)，針對多晶硅片， 祛除硅片表面在切割過程中的損傷層，改善絨面質(zhì)地，增強(qiáng)表面吸光性。標(biāo)準(zhǔn)的刻蝕工藝（使用 HF/HNO3, KOH, NaOH, H3PO4, BOE, DHF, SPM, SOM 等）；快速精確的傳輸，傳輸時間 1 秒；可用于 300mm 硅片的刻蝕；全自動化工藝控制。由快速熱處理太陽能電池金屬化爐和紅外烘干爐組成。 主要技術(shù)指標(biāo)： 最高溫度 :1050℃ 工作溫度范圍：干燥區(qū)： 100400℃；燒結(jié)區(qū)： 2001000℃ 可控加熱溫區(qū)：干燥區(qū)： 3 ； 燒結(jié)區(qū)： 6 加熱區(qū)長度：干燥區(qū)： 90英寸（ 厘米） 燒結(jié)區(qū)： 60英寸 (152 厘米 ) 工作空間尺寸： PVD614 網(wǎng)帶寬 14 英寸（ ） 網(wǎng)帶上方高度： 英寸（ 19 厘米） 網(wǎng)帶離地高度： 36英寸（ 914厘米） 最大負(fù)荷： 148千瓦 外形尺寸： L9320179。油墨在 移動中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。 ①全自動太陽能電池片印刷設(shè)備技術(shù)指標(biāo) 電池尺寸： 125mmx125mm、 156mmx156mm、 210mmx210mm 電池厚度： 每小時電池產(chǎn)量： 12501440 片（生產(chǎn)線產(chǎn)能 95%） 最大電池破片率： % 絲網(wǎng)印刷居中誤差： 177。上料使用兩個交替的 Stack。 該設(shè)備的工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。這個敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成，其微波頻率為 ，所使用的工藝氣體為硅烷（ SiH4）和氨氣（ NH3）。 179。 125177。 硅片加熱： L/C， H/C， P/C1， P/C2 真空狀態(tài)下加熱 : a)L/C(燈管加熱器 ) 約 450 度 b)H/C(燈管加熱器 ) 約 550 度 c)P/C1， P/C2(護(hù)套加熱器 ) 約 550 度 硅片溫度均勻性： P/C1， P/C2 在 450 度時，177。 表 41 電池片生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 一 進(jìn)口設(shè)備 1 濕法刻蝕機(jī) 套 1 2 自動單多晶制絨設(shè)備 套 1 3 管式高溫擴(kuò)散爐 臺 2 4 燒結(jié)爐 CDF7210 臺 2 5 全自動太陽能電池片印刷及測試分選設(shè)備 Baccini 套 2 6 全自動硅片檢測及分選系統(tǒng) WIS4000SSSHR 臺 2 7 PECVD 設(shè)備 臺 2 8 特氣設(shè)備 SGM400 套 2 二 國產(chǎn)設(shè)備 1 廢氣處理設(shè)備 套 1 2 純水處理系統(tǒng) 套 1 3 石英管清洗機(jī) SCSY0201H 臺 2 4 石墨舟清洗機(jī) SCSM0202A 臺 2 40 表 42 組件生產(chǎn)主要新增設(shè)備清單 序號 設(shè)備名稱 型號規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 1 玻璃清洗機(jī) / 臺 3 2 EVA 裁切機(jī) TPT/EVA 臺 6 3 自動焊接機(jī) / 臺 9 4 自動排板機(jī) / 臺 3 5 背板裁切機(jī) / 臺 3 6 自動頂升設(shè)備 / 臺 3 7 EL 測試儀 臺 5 8 匯流條裁切機(jī) / 臺 2 9 層壓機(jī) / 臺 6 10 裝框機(jī) GMSF20xx 臺 3 11 耐壓測試儀 / 臺 3 12 除濕機(jī) / 臺 3 13 組件測試儀 / 臺 2 14 打包機(jī) / 臺 6 15 打膠機(jī) / 臺 3 16 流水線 / 條 3 17 空壓機(jī) GA75VSD 臺 4 設(shè)備的最終定型 設(shè)備的最終定型，還需與設(shè)備制造商進(jìn)行廣泛的技術(shù)交流和商務(wù)談判，在技術(shù)性能優(yōu)越，滿足產(chǎn)品質(zhì)量前提下，兼顧良好的售后服務(wù)，做到“貨比三家”招標(biāo)確定，以最小的投資，取得最大的效益。以滿足項目生產(chǎn)的需要。 廠內(nèi)外運(yùn)輸 廠區(qū)外運(yùn)輸主要以汽車為主。寬 72 米（軸線尺寸，下同）， 1棟共計建筑面積 平方米； 組件廠房：單層，長 120179。由市政供水干管接入廠區(qū)，供水管徑為 DN200，壓力不小于 。具體用水量詳見表 52。 根據(jù)清污分流的原則，工廠排水系統(tǒng)劃分為生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水及清下水的清污分流排水制。生產(chǎn)污水和地面沖洗水經(jīng)收集后，通過廠區(qū)污水管網(wǎng)，排入廠區(qū)的污水處理站，處理方法采用三級沉淀、加藥凝聚、末端過濾的方法處理。 5%，電源頻率為 50177。補(bǔ)償后視在功率為 2545kVA。 生產(chǎn)配電 本項目車間動力電源均為三相四線制加 PE線，即 TNS 系統(tǒng)。 車間內(nèi)動力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。照明標(biāo)準(zhǔn)按國家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進(jìn)行設(shè)計。生產(chǎn)線接地保護(hù)采用 TNCS 接地系統(tǒng)。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求，廠房潔凈度：清洗制絨間、擴(kuò)散間 1 萬級；其余 10萬級 ,凈化通道 30 萬級的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃～ 25℃，因此需要采取空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施。 本項目熱力（冷水和熱水）由長興遠(yuǎn)大能源服務(wù)有限公司所屬的長興遠(yuǎn)大非電區(qū)域空調(diào)能源中心集中 供應(yīng)，項目不再另外配置冷凍機(jī)和熱泵等設(shè)備。含風(fēng)機(jī)段及初效和中效過濾段、混合段，通過風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過濾器。 (3) 消防設(shè)計 消防設(shè)備的電源均實現(xiàn)雙回路末端自動切換。在車間重要場所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線與電力支線一樣敷設(shè)。生產(chǎn)車間一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。供電方式一般采用放射式與樹干式相結(jié)合。 本項目用電量按年工作日 300 天、三班24 小時運(yùn)轉(zhuǎn)估算，則全年 耗電為 1700179。 供電電源由開 發(fā)區(qū) 220KV變 電所專線，雙回路電源引入本工程高壓配電所 后采用電力電纜埋地引入本工程各車間 10/。 供電 供電要求及電源 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，生產(chǎn)用電設(shè)備、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、消防水泵為二級負(fù)荷，其余為三級負(fù)荷。 (2) 清下水管系統(tǒng) 生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水和廠區(qū)雨水均通過排水暗渠匯集后直接排入廠區(qū)及市政雨水管網(wǎng)。 排水工程 根據(jù)工藝方案，本項目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。 項目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，平均小時用水量 24 噸，其余為循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水 48噸 /天， 其他（綠化、道路清洗）用水約 15 噸 /天，生活用水暫按 50 升 /人178。 廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)建筑設(shè)計在充分滿足使用功能前提下，建筑選型力求簡潔、大方、新穎、富有現(xiàn)代化建筑風(fēng)格。 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)運(yùn)輸，由于生產(chǎn)車間相對獨立，采用電瓶車、鏟車等為主，區(qū)內(nèi)小型運(yùn)輸工具根據(jù)實際需要逐步添置，本項目暫不考慮配置 43 生產(chǎn)運(yùn)輸車輛。 建設(shè)條件 （ 1）氣候 （ 2）地形、地貌及地質(zhì)條件 （ 3） 環(huán)境條件 （ 4） 社會環(huán)境 平面布置及運(yùn)輸 平面布置 廠區(qū)道路適合大型運(yùn)輸車輛進(jìn)出。 41 車間根據(jù)潔凈及環(huán)保要求，為保證產(chǎn)品質(zhì)量、改善工人勞動環(huán)境，降溫加濕。 9％ 目標(biāo)厚度： 80 nm （ 7） 特氣設(shè)備 38 特氣設(shè)備（型號 SGM400），主要用于控制高純特殊氣體，被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。 48 片 /框 (成膜面積：最大 970179。 125177。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負(fù)責(zé)為載板及被敷層和已進(jìn)行過鈍化處理后的硅片在離開系統(tǒng)前進(jìn)行冷卻。接下來是覆層區(qū)域和最后的 37 冷卻區(qū)域。相關(guān)檢測模組的檢測參數(shù)如下： 電阻率 : 測試技術(shù) : 渦流場法 測試范圍 : ohmcm 精度 : 5% 重復(fù)性 : 2% 厚 度 : 測試技術(shù) : 電容法 測試范圍 : 100μ 精度 : 1% 重