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年產(chǎn)200噸電子級多晶硅項目可行性研究報告(文件)

2025-09-10 12:29 上一頁面

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【正文】 U 形換熱器。 提純設(shè)備見表 。 表 還原設(shè)備 明細(xì) 表 序號 設(shè)備名稱 規(guī)格 負(fù)荷, kW 1 12對棒還原爐 Φ 1400 1000 2 還原電氣 3 進(jìn)出氣換熱器 4 尾氣水冷器 5 H2 一油換熱器 6 三氯氫硅混合罐 7 導(dǎo)熱油加熱爐 8 導(dǎo)熱油水冷器 9 硅芯爐 10 液氬儲槽 11 多功能磨錐機(jī) 12 外園切斷機(jī) 13 硅芯清洗機(jī) 14 純水設(shè)備 15 石墨鍛燒爐 4100 2020 2810 120 16 超聲波清洗機(jī) KWSQ1042 17 烘箱 AH47 AH480 變壓器選型是 ,。 制氮機(jī)組選型為 BGpN29132+NCHa120 變壓吸附制氮機(jī)組。 表 36 各工序電耗核算 表 一、制氮電耗 序號 項目名稱 單位 數(shù)量 1 每分鐘氮耗量 Nm3/min 4 2 負(fù)荷運(yùn)行系數(shù) 3 單位時間實際耗氮量 Nm3/h 192 4 制氮系統(tǒng)制氮單耗 kWh/Nm3 5 單位時間制氮單耗 kW 48 二、制氫電耗 序號 項目名稱 單位 數(shù)量 1 每分鐘氫耗量 Nm3/min 2 負(fù)荷運(yùn)行系數(shù) 1 3 單位時間實際耗氫量 Nm3/h 72 4 制氫系統(tǒng)制氫單耗 kWh/Nm3 5 5 單位時間制氫單耗 kW 360 三、制純水電耗 序號 項目名稱 單位 數(shù)量 1 單位時間純水耗量 Nm3/h 20 2 負(fù)荷運(yùn)行系數(shù) 1 3 單位時間實際耗純水量 Nm3/h 20 4 純水系統(tǒng)制水單耗 kWh/Nm3 2 5 單位時間制氫單耗 kW 40 四、制冷電耗 序號 項目名稱 單位 數(shù)量 1 冷水額定回 水溫度 ℃ 12 2 冷水額定出水溫度 ℃ 7 3 冷水額定流量 kg/h 202000 4 制冷系統(tǒng)供冷量 kJ/h 4181600 5 制冷功率 kWh 6 制冷系數(shù) COP 7 制冷輸入功率 kW 李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。 綜合能耗 核算 能耗 綜合核算 見表 38 。本新增項目采用 改良西門子法, 主要生產(chǎn)工藝包括 三氯氫硅分離提純、 干法尾氣回收、 多晶 硅還原三部 分 和 換熱, 制冷,壓縮空氣,循環(huán)水,變配電 等 輔助生產(chǎn)系統(tǒng)。 購入三氯氫硅原料先后經(jīng)四個精餾塔提純,其中一、二塔為第一組,三、四塔為第二組,物料經(jīng)精餾一二塔連續(xù)提純,控制一定的溫度、壓力、回流比,精餾一塔塔頂出低沸點物料送往低沸點物料貯罐,塔釜出中間產(chǎn)品(如 三氯氫硅 、四氯化硅和部分高沸點雜質(zhì))進(jìn)入精餾二塔,精餾二塔塔頂出三氯氫硅粗餾 產(chǎn)品,送往精餾進(jìn)一步提純,塔釜出高沸物。 該工序能耗主要為導(dǎo)熱油吸收的還原爐余熱和電力。加壓冷凝后的不凝氣體主要是氫氣、氯化氫、二氯二氫硅,采用四氯化硅作為吸收劑,其中大量的氯化氫、二氯二氫硅在加壓低溫條件下被四氯化硅溶解吸收,氫氣分離出來。時間可以通過程序控制,吸附飽和后的活性炭進(jìn)行脫附再生,控制一定的溫度并通氫氣吹趕,被活性炭吸附的氯化氫、氯硅烷等可以脫附出來,從而實現(xiàn)了活性炭吸附器的重復(fù)利用。脫吸后的四氯化硅稱之為貧液,溫度為 144℃,經(jīng)過貧液水冷器、一級貧富液換熱器、二級貧富液換熱器、三級貧富液換熱器、貧液過冷器降溫至 50℃,進(jìn)入吸收塔重新利用。再生過程對吸附飽和的活性炭吸附器加熱、通氫氣吹趕,氯硅烷、氯化氫隨氫氣經(jīng)過過濾器過濾掉炭粉后重新返回鼓泡淋洗塔鼓泡淋洗。反應(yīng)后尾氣經(jīng)過氣 氣換熱器后進(jìn)入干法回收系統(tǒng)。 李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。 因此 在 西門子法工藝的基礎(chǔ)上,通過增加還原尾氣干法回收系統(tǒng)、 SiCl4氫化工藝,實現(xiàn)了閉路循環(huán),于是形成了改良西門子法 —— 閉環(huán)式 SiHCl3氫還原法。 還原爐導(dǎo)熱油冷卻:由于多晶硅生產(chǎn)過程中各種物料要反復(fù)經(jīng)過多次加熱、冷卻過程,如對生產(chǎn)中余熱資源進(jìn)行合理利用,則可以大大降低能耗。 在變壓器選型方面, 選用 S1016000kVA( 110kV),和 S111250kVA( 10kV), 還原爐變壓器選用 單臺配電容量為 2270kVA 多 晶硅專用調(diào)壓變壓器 , 該變壓器能夠合理調(diào)整 多晶硅還原工序隨結(jié)晶過程帶來的電阻變化引起的加熱熱功率變化,保證了結(jié)晶 溫度 , 解決了多晶硅生產(chǎn)中物耗高、能耗高、成本高、污染嚴(yán)重及難實現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)問題 。符合國家節(jié)能要求。 通過采用以上設(shè)備,干法回收系統(tǒng) 達(dá)到了 氫氣回收率 100%、 氯硅烷回收率 100%、 氯化氫回收率 100%,充分回收了尾氣中的氫氣和氯硅烷,并進(jìn)行了重復(fù)利用,同時減少了廢棄的排放,既降低了物耗能耗,用減少了對環(huán)境的污染。 環(huán)冷卻技術(shù)構(gòu)成的系統(tǒng),使多晶硅產(chǎn)品直接電耗由傳統(tǒng)西門子工藝的 450kW h~500kWh/ kg 控制系統(tǒng) 項目采用 DCS全數(shù)字集散控制系統(tǒng)。 絕熱 結(jié)構(gòu) 項目絕熱材料 DN≥ 350 采用復(fù)合硅酸鹽卷氈外包鍍鋅鐵皮, DN≤ 350采用防水型復(fù)合硅酸鹽管殼外包鍍鋅鐵皮 。 以上設(shè)備的選用生產(chǎn)裝置為當(dāng)前先進(jìn)的裝置,具有運(yùn)行效率高,能耗低的優(yōu)點,選型符合節(jié)能要求。 綜合能耗 項目綜合能耗為 噸標(biāo)準(zhǔn)煤。 李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。Si 降 200~250kW h/ kg SiHCl3直接送還原系統(tǒng)生產(chǎn)多晶硅。 分離出的 H HCl、氯硅烷等產(chǎn)品質(zhì)量滿足多晶硅生產(chǎn)要求, 全部返回系統(tǒng)使用, 且系統(tǒng)能夠適應(yīng)多晶硅生產(chǎn)能力的變化。 3)主要耗能單元的能源消耗均設(shè)計量儀表,為企業(yè)的能源管理提供數(shù)據(jù)支持。 7)項目設(shè)備及管道布置時緊湊合理,減少了散熱損失和壓力損失,進(jìn)一步使能耗降低 。 2) 在變壓器選型方面,還原爐變壓器選用 多晶硅專用調(diào)壓變壓器 ,該變壓器能夠合理調(diào)整 電壓 ,保證了結(jié)晶溫度。 5) 針對主要耗能環(huán)節(jié)還原部分,選用 節(jié)能型大還原爐,電力消耗大幅降低。 廢棄物處理和綜合利用 本項目所產(chǎn)生的固體廢物主要是廢吸附劑,送莒縣環(huán)衛(wèi)所進(jìn)行無害化填埋,四氯化硅為 副產(chǎn)品可外賣生產(chǎn)其他產(chǎn)品 。 余熱利用 項目合理利用 導(dǎo)熱油回收節(jié)能型大型還原爐生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的余熱,用于 滿足各用熱負(fù)荷所需熱量 。 第六章 節(jié)能評估結(jié)論 評估結(jié)論 《 中華人民共和國可再生能源法 》 規(guī)定 :“國家將可再生能源開發(fā)利用的科學(xué)技術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展列為科技發(fā)展與高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的優(yōu)先領(lǐng)域,納入國家科技發(fā)展規(guī)劃和高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃,并安排資金支持可再生能源開發(fā)利用的科學(xué)技術(shù)研究、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,促進(jìn)可再生能源開發(fā)利用的技術(shù)進(jìn)步,降低可再生能源產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量。 與多晶硅生產(chǎn)平均電耗( 350kWh/kg)相比,本項目千克多晶硅電耗為 227kWh,較平均水平低 123kWh,按年 產(chǎn) , 年可節(jié)約電能 kWh,折標(biāo)準(zhǔn)煤 (按 )。 李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。有關(guān)專家預(yù)測我國加入世貿(mào)組織以來給包裝行業(yè)將會帶來很大的發(fā)展機(jī)遇。可以說我縣大部分農(nóng)產(chǎn)品和工業(yè)產(chǎn)品仍然停留在“一等產(chǎn)品,二等包裝,三等價格”的落后水平。 當(dāng)務(wù)之急我們首先要做的工作就是改變我們現(xiàn)有農(nóng)產(chǎn)品和工業(yè)產(chǎn)品的落后包裝。經(jīng)調(diào)查全縣有需要包裝的產(chǎn)品數(shù)十種,其中牛肉干及地方風(fēng)味食品全年需要包裝紙箱 150 余萬個,山野菜全年需要 50 萬個包裝箱,飲料和酒類全年需要 30 萬個,水果類如金秋梨、臍橙、密杏全年共需要包裝箱 50 萬個左右,除此之外,還有鞋類、糕點、糖類、茶葉以及外地購進(jìn)的散裝水果等商品,全年需包裝箱估計在 70 萬個。 根據(jù)本縣目前市場對包裝箱的需求,考慮到今后的發(fā)展及打入周邊各縣市的市場,經(jīng)研究論證該項目設(shè)計規(guī)模為年產(chǎn) 230萬個。除本縣外其包裝物還可能輻射到周邊各縣市。經(jīng)分析論證該技改項目需要總投資 1017萬元,其中新增固定資產(chǎn)投資 817 萬元,配套流動 100 萬元,項目竣工投產(chǎn)后正常年份每年可創(chuàng)產(chǎn)值 萬元,利潤 萬元,稅 。 隨著改革開放的不斷深入和市場經(jīng)濟(jì)的水?dāng)嘟ⅰ? 隨著改革開放和市場經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展,包裝行業(yè)在我國近 20多年來發(fā)展迅速,包裝作為一個新興的行業(yè)在一些發(fā)達(dá)地區(qū)和城市正在蓬勃的發(fā)展。 或商品的生產(chǎn)與流通就離不開包裝,據(jù)世界包裝組織提供資料介紹,全球包裝行業(yè)的產(chǎn)值已超過 9500 億美元,年利潤是 6000 億美元,有 10 萬余間公司,從業(yè)人員在 600 萬。 該 項目主要 產(chǎn)品 多晶硅 單位產(chǎn)品綜合能耗為 (當(dāng)量值),電耗為 , 在同行業(yè)中處于 較好 水平。 根據(jù)國家發(fā)改委 《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu) 調(diào)整指導(dǎo)目錄 (2020年本 )》鼓勵類“ 二十四 信息產(chǎn)業(yè) 第 38 條:“ 6 英寸及以上單晶硅、多晶硅及晶片制造” ,該項目產(chǎn)品為直徑 150mm 多晶硅棒,符合產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)發(fā)展要求。 表 51 導(dǎo)熱油余熱回收系統(tǒng)余熱利用效果核算表 序號 項目名稱 單位 數(shù)量 1 導(dǎo)熱油額定流量 kg/h 560000 2 導(dǎo)熱油余熱系統(tǒng)出油溫度 ℃ 180 3 導(dǎo)熱油余熱系統(tǒng)回油溫度 ℃ 160 4 導(dǎo)熱油余熱系統(tǒng)出油比熱 kJ/kg℃ 5 導(dǎo)熱油余熱系統(tǒng)回油比熱 kJ/kg℃ 6 導(dǎo)熱油余熱系統(tǒng)供熱量 kJ/h 35145600 7 供熱功率 kW 8 負(fù)荷系數(shù) 9 實際供熱負(fù)荷 kW 10 年運(yùn)行時間 h 5760 11 年供熱 kWh 44986368 12 折標(biāo)準(zhǔn)煤量 tce 通過表 51 核算,導(dǎo)熱 油余熱利用系統(tǒng)年可節(jié)煤 。 噸多晶硅核算, 年可節(jié)約電能 萬 kWh,折標(biāo)準(zhǔn)煤 噸(按 ) 。 。 4) 循環(huán) 水泵 、循環(huán)油泵、壓縮機(jī)等 安裝變頻器。 李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。 5)項目優(yōu)化裝置設(shè)計,合理選擇工藝參數(shù),減少了過程能耗。 該項目在工藝節(jié)能方面采取了如下措施: 1)項目采用干法還原尾氣回收技術(shù),回收效率高,降低了能耗 。還原尾氣干法回收可使尾氣不接觸任何水份, 將其中的各種成份一一分開,不受污染地返回系統(tǒng)重復(fù)利用。導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù),為開發(fā)大型節(jié)能還原爐創(chuàng)造了條件,進(jìn)而導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)與大型節(jié)能還原爐配套投產(chǎn),使多晶硅產(chǎn)品的能耗大幅度降低。 導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù) : 還原爐中高溫硅棒表面向爐壁輻射的熱, 由還原爐夾套循環(huán)的導(dǎo)熱油帶出來,高溫?zé)嵊徒?jīng)不同途徑釋放熱能后,再回到還原爐夾套,循環(huán)往復(fù),可回收還原過程 50% 以上的副產(chǎn)熱能,保證了硅棒產(chǎn)品直徑誤差不超過數(shù)毫米。 44638 萬元 =(當(dāng)量值) 新增項目 萬元工業(yè) 產(chǎn) 值取水量 : 50000t247。 多晶硅生產(chǎn)耗電 項目 新增用電負(fù)荷為 17250kW,全年生產(chǎn)用電為 ,折合標(biāo)煤 。保溫和保冷材料的選取以及外防護(hù)材料的選取符合節(jié)能要求。 保證了生產(chǎn)裝置的安全操作、平穩(wěn)運(yùn)行,可大大提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量 。Si 以下。 ( 2) 導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù) :還原爐中高溫硅棒表面向爐壁輻射的熱, 由還原爐夾套循環(huán)的導(dǎo)熱油帶出來,高溫?zé)嵊徒?jīng)不 同途徑釋放熱能后,再回到還原爐夾套,循環(huán)往復(fù),可回收還原過程 50%以上的副產(chǎn)熱能,保證了硅棒產(chǎn)品直徑誤差不超過數(shù)毫米。吸收裝置主要有 鼓泡淋洗塔、吸收塔、脫吸塔、活性炭吸附器 、 高效氫氣過濾器 等;換熱裝置主要有 鼓泡氣氣換熱器、鼓泡塔氯硅烷換熱器、壓縮氣吸收氣換熱器、壓縮氣過冷器、貧液水冷器、一級、二級貧富液換熱器、貧液過冷器、脫吸塔頂冷凝器、脫吸塔再沸器、導(dǎo)熱油水換熱器 等;儲存裝置有 還原尾氣緩沖罐、氯硅烷儲罐、富液儲罐、二氯二氫硅儲罐、吸收塔出口緩沖罐、吸附后純氫儲罐 等;輸送設(shè)備有 氯硅烷循環(huán)屏蔽泵 、 富液循環(huán)屏蔽泵 、 冷油循環(huán)屏蔽泵 等。 在無功補(bǔ)償方面, 10kV側(cè)采用還原爐電氣系統(tǒng)配套的無功補(bǔ)償裝置,李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。 設(shè)備能效指標(biāo)核算 供電系統(tǒng) 該項目生產(chǎn)裝置為連續(xù)性生產(chǎn),屬易燃易爆的生產(chǎn)場所,為保證用電安全,用電負(fù)荷為一、二級負(fù)荷,由兩個獨立電源供電,當(dāng)一個電源故障,另一個電源可滿足生產(chǎn)一、二級負(fù)荷的要求。采用改良西門子法,其特點為閉路循環(huán)系統(tǒng),采用節(jié)能型大還原爐、干法回收等技術(shù),產(chǎn)品質(zhì)量高,原輔材料及電李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。 西門子法中還原尾氣采用濕法回收工藝, 由于“濕法回收”中采用水洗來除去氫氣中氯化氫、氯硅烷,在損失氯化氫、 氯硅烷同時,增加了廢水的處理量,并且水分及水中、空氣 中的雜質(zhì)進(jìn)入到氫氣中,污染了氫氣,必須另外采用氫氣純化干燥裝置將其純化干燥后才能重新返回系統(tǒng)利用。熱硅棒經(jīng)冷卻后即多晶硅棒,每爐次 的多晶硅棒經(jīng)過取樣檢測后,按照不同用戶的要求進(jìn)行切割、滾磨、破碎、清洗、烘干等加工處理后,最后進(jìn)行真空包裝。 該工序能耗主要為 導(dǎo)熱油吸收的還原爐余熱和電力。在吸附過程中,活性炭吸附下氫氣中微量的氯硅烷、氯化氫雜質(zhì),通過帶式過濾器過濾掉李蕭蕭的個人主頁 需要文檔請給我留言。
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