電子薄膜技術(shù)ppt課件(已修改)
2025-05-17 02:56 本頁(yè)面
【正文】 緒論 1 電子薄膜技術(shù) 主講教師：徐進(jìn) 辦公室： F410 電話： 83432236 郵箱： 緒論 2 第一堂課主要內(nèi)容 ? 課程情況介紹 ? 課程考核方式 ? 薄膜材料的定義 ? 薄膜技術(shù)的發(fā)展 ? 課程教學(xué)內(nèi)容 緒論 3 課程性質(zhì) : 微電子制造方向?qū)I(yè)課 課程特點(diǎn) : 內(nèi)容豐富 、 概念性記憶性強(qiáng)；理論與實(shí)踐 相結(jié)合 通過對(duì)本課程的學(xué)習(xí) ， 能夠掌握電子薄膜的主要制 備技術(shù)及相關(guān)知識(shí) ， 為從事微電子 、 固體電子薄膜 及相關(guān)領(lǐng)域的研究 、 設(shè)計(jì)和生產(chǎn)打下基礎(chǔ) 。 課 程 簡(jiǎn) 介 緒論 4 總學(xué)時(shí)： 48學(xué)時(shí) 周學(xué)時(shí)： 4學(xué)時(shí) 課時(shí)安排： 112周；周一 56節(jié)、周四 12節(jié) 學(xué) 分： 3學(xué)分 課外學(xué)時(shí)： 12學(xué)時(shí)（ 6次課下作業(yè)） 課 程 概 況 緒論 5 教材： 《 薄膜材料制備原理、技術(shù)及應(yīng)用 》 唐偉忠 著，冶金工業(yè)出版社， 2022 參考書： 1. 《 薄膜技術(shù)與薄膜材料 》 田民波，清華大學(xué)出版社 2. 《 薄膜材料與薄膜技術(shù) 》 鄭偉濤，化學(xué)工業(yè)出版社 3. 《 半導(dǎo)體薄膜技術(shù)與物理 》 葉志鎮(zhèn)等，浙江大學(xué)出版社 4. 《 Material Science of Thin Films－ Deposition amp。 Structure》 M. Ohring，世圖影印版 教材及參考書 緒論 6 第一堂課主要內(nèi)容 ? 課程情況介紹 ? 課程考核方式 ? 薄膜材料的定義 ? 薄膜技術(shù)的發(fā)展 ? 課程教學(xué)內(nèi)容 緒論 7 上課時(shí)必須將手機(jī)關(guān)機(jī)或靜音； 上課不允許講話，不允許做與本課程無關(guān)的事； 有事提前向老師請(qǐng)假（開假條），課上隨機(jī)點(diǎn)名； 上課請(qǐng)杜絕睡覺； 如果出現(xiàn)破壞教學(xué)惡劣的行為立即上報(bào)系或者學(xué)校給予處理； 上課不需要帶電腦！ 請(qǐng)每人準(zhǔn)備一個(gè)作業(yè)本?。üP記） 課堂要求 希望： ?積極思考、踴躍發(fā)言 ?意見要求及時(shí)反饋 緒論 8 類別 考核項(xiàng)目 考核主要內(nèi)容 所占權(quán)重 形成性考核 平時(shí)成績(jī) 日常表現(xiàn)：遲到 、 曠課 、
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