5光電子能譜分析-文庫吧
2025-01-13 17:32 本頁面
【正文】 發(fā)射源（信號）：二次離子。離子探針對二次離子的收集效率比特征 X射線高，因此分析效率高，可以作包括 H元素的成分分析，而且還可以分析同位素。（ 2） 紫外光電子能譜 （ UPS）激發(fā)源：紫外光發(fā)射源（信號）：價電子（ 3） 俄歇電子能譜（ AES)激發(fā)源：電子、 X射線發(fā)射源（信號）：俄歇電子 （ 4） 光電子能譜（或 X光電子能譜（ XPS）又稱電子能譜化學(xué)分析（ ESCA： Electron Spectroscopy for Chemical Analysis ））激發(fā)源： X射線發(fā)射源（信號）：電子用 X射線作激發(fā)源轟擊出樣品中元素的 內(nèi)層電子 ，并直接測量二次電子的能量，這能量表現(xiàn)為元素內(nèi)層電子的結(jié)合能 Eb。 Eb隨元素而不同，并且有較高的分辨力，它不僅可以得到原子的第一電離能，而且可以得到從價電子到 K殼層的各級電子電離能，有助于了解離子的幾何構(gòu)型和軌道成鍵特征。Xray BeamXray peration depth ~1?m.Electrons can be excited in this entire volume.Xray excitation area ~1x1 cm2. Electrons are emitted from this entire areaElectrons are extracted only from a narrow solid angle.1 mm210 nm2光電子能譜的基本原理光與物質(zhì)的相互作用當具有一定能量 hν的入射光子與 樣 品中的原子相互作用 時 ，單 個光子把全部能量交 給 原子中某殼 層 上的一個受束 縛 的 電 子，這 個 電 子就 獲 得了能量 hν。如果 hν大于 該電 子的 結(jié) 合能 Eb，那么電 子就將脫離原來受束 縛 的能 級 。若 還 有多余的能量可以使 電 子克服功函數(shù) Φs， 則電 子將從原子中 發(fā) 射出去，成 為 自由光 電 子。過 程如下： 當光與物質(zhì)起相互作用時并不總產(chǎn)生光電效應(yīng)，而是有一定的幾率。2. 受激原子的弛豫 去激發(fā) 當入射光子與原子相互作用產(chǎn)生了光電子，這時原子處于受激發(fā)高能量狀態(tài)，有趨于平衡的趨向，以達到低能量狀態(tài)，這稱為 弛豫過程 。去激的方式一般有兩種可能，即發(fā)射特征 X射線：或發(fā)射俄歇電子：Conduction BandValence BandL2,L3L1KFermi
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