液態(tài)感光至抗蝕刻及圖形轉(zhuǎn)移工藝-文庫吧
2025-06-09 04:44 本頁面
【正文】 加了曝光困難．故操作時(shí)務(wù)必仔細(xì)。另外，濕膜中的助劑、溶劑、引發(fā)劑等的揮發(fā)，對(duì)環(huán)境造成污染，尤其是對(duì)操作者有一定傷害。因此，工作場(chǎng)地必須通風(fēng)良好?！ ∧壳?，使用的液態(tài)感光至抗蝕劑，外觀呈粘稠狀，顏色多為藍(lán)色（Blue）。如：臺(tái)灣精化公司產(chǎn)GSP1550、臺(tái)灣緹穎公司產(chǎn)APR700等，此類皆屬于單液油墨，可用簡(jiǎn)單的網(wǎng)印方式涂覆，用稀堿水顯影，用酸性或弱堿性蝕刻液蝕刻?！ ∫簯B(tài)感光至抗蝕劑的使用壽命（Lifespan）：其使用壽命與操作環(huán)境和時(shí)間有關(guān)。一般溫度≤25℃，相對(duì)濕度≤60%，無塵室黃光下操作，使用壽命為3天，最好24hr內(nèi)使用完。二． 液態(tài)感光至抗蝕劑圖形轉(zhuǎn)移 液態(tài)感光至抗蝕劑工藝流程：上道工序 → 前處理 → 涂覆 → 預(yù)烘 → 定位 → 曝光 → 顯影 →干燥 → 檢查修版 → 蝕刻或電鍍 → 去膜 → 交下工序 1．前處理（Precleaning) 前處理的主要目的是去除銅表面的油脂（Grease）、氧化層（Oxidized Layer）、灰塵(Dust)和顆粒(Particle)殘留、水分（Moisture）和化學(xué)物質(zhì)（Chemicals）特別是堿性物質(zhì)（Alkaline）保證銅（Copper）表面清潔度和粗糙度，制造均勻合適的銅表面，提高感光膠與銅箔的結(jié)合力，濕膜與干膜要求有所不同，它更側(cè)重于清潔度。 前處理的方法有：機(jī)械研磨法、化學(xué)前處理法及兩者相結(jié)合之方法?！ ?） 機(jī)械研磨法 磨板條件： 浸酸時(shí)間：6～8s?！ 2SO4: %?！ ∷ ∠? 5ｓ～8ｓ?！ ∧猃埶ⅲ∟ylon Brush):500～800目，大部分采用600目。 磨板速度：～， 間隔3～5cm?！ ∷ 海?～3kg/cm2?！ ?yán)格控制工藝參數(shù)，保證板面烘干效果，從而使磨出的板面無雜質(zhì)、膠跡及氧化現(xiàn)象。磨完板后最好進(jìn)行防氧化處理。 2）化學(xué)前處理法 對(duì)于MLB內(nèi)層板（Inner Layer Board），因基材較薄，不宜采用機(jī)械研磨法而常采用化學(xué)前處理法。 典型的化學(xué)前處理工藝： 去油→清洗→微蝕→清洗→烘干 去油： Na3PO4 40～60g/l Na2CO3 40～60g/l NaOH 10～20g/l 溫度： 40～60℃ 微蝕（Microetehing）： NaS2O8 170～200g/l H2SO4(98%)2%V/V 溫度： 20～40℃ 經(jīng)過化學(xué)處理的銅表面應(yīng)為粉紅色。無論采用機(jī)械研磨法還是化學(xué)前處理法，處理后都應(yīng)立即烘干?！ z查方法：采用水膜試驗(yàn)，水膜破裂試驗(yàn)的原理是基于液相與液相或者液相與固相之間的接口化學(xué)作用。若能保持水膜15～30ｓ不破裂即為清潔干凈?！ ∽⒁猓呵鍧嵦幚砗蟮陌遄討?yīng)戴潔凈手套拿放，并立即涂覆感光膠，以防銅表面再氧化。 2．涂覆（Coating） 涂覆指使銅表面均勻覆蓋一層液態(tài)感光至抗蝕劑。其方法有多種，如離心涂覆、浸涂、網(wǎng)印、簾幕涂覆、滾涂等?！ 〗z網(wǎng)印刷是目前常用的一種涂覆方式，其設(shè)備要求低，操作簡(jiǎn)單容易，成本低。但不易雙面同時(shí)涂覆，生產(chǎn)效率低，膜的均勻一至性不能完全保證。
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